一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉制造技术

本技术公开了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分。本技术提供了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其通过在水泥底座中加胶粘花岗岩破碎石、坩埚传动装置底部安装减震器与底座相连接，当受到外界因素影响发生地面晃动，如轻度地震、周围建筑施工、工厂生产等，可以有效减缓炉体晃动，保持液面平稳，降低断线率；同时减震器使用其中减震弹簧与阻尼器组成，具有复合隔振降噪，固有频率低，隔振效果好的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体加工，具体涉及一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉。

技术介绍

1、单晶硅是许多半导体集成电路的制造基础，主要用于生产和深加工制造电路级、整流器件级、二极管级以及太阳能电池级单晶产品,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域。目前，单晶硅的生产方式主要为坩埚直拉法，使用到的设备为直拉单晶炉。

2、目前使用的直拉单晶炉对震动比较敏感，如受到地震影响或生产场地周围建筑施工、工厂生产等引起的地面震动，易造成直拉单晶炉液面波动和硅棒晃动，进而使拉晶断线，生长被破坏。现有炉底的安装，坩埚的传动装置往往直接与底座焊死连接，而装有硅料的坩埚通过一只石墨埚托与坩埚传动装置直接连接，坩埚全部重量均由埚托承载。这种连接方式会导致底座的所有震动将全部或大部分传递到坩埚，从而使液面产生波动，剧烈时引起拉晶变晶生长，造成所谓的断线。

3、因此目前需要解决的问题是：寻找一种可以有效抗震的直拉单晶炉。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本技术设计了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分；

2.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器与减震底座中间安装一炉座，所述炉座为网格结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述坩埚传动装置周围安装有支撑框架。

4.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器通过螺栓连接坩埚传动装置与炉座。

5.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器安装4-...

【技术特征摘要】

1.一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分；

2.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器与减震底座中间安装一炉座，所述炉座为网格结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底...

【专利技术属性】
技术研发人员：任永生，王正省，马文会，雷云，魏奎先，吕国强，伍继君，李绍元，曾毅，祖钰博，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：新型
国别省市：