【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制备技术及使用设备，具体的，是一种排气嵌件助力退出方法。
技术介绍
1、外延机台在生产过程中，副产物会经由尾气插入件进入尾气处理机台，这种副产物极具粘连性，在经过尾气插入件时，由于尾气座块和尾气插入件配合存在间隙，间隙内极易发生堆集；在经过长时间的使用后，尾气插入件与基座环间生成了大量的副产物，将两者粘连住；常规的方法如使用酒精腐蚀，以及非常规的方法使用锤子敲击，都会使尾气插入件因受力不均匀发生破损，无法将尾气插入件完整退出。
2、因此，有必要提供一种排气嵌件助力退出方法来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种排气嵌件助力退出方法。
2、技术方案如下：
3、一种排气嵌件助力退出方法，步骤包括：
4、1)设置助力推出工装，助力推出工装包括助推部；
5、2)助推部插入基准环，对接尾气插入件；
6、3)基准环上包括尾气插入件槽，且对应尾气插入件槽的上下侧分别设置螺纹孔；
7、4)助力推出工装包括对应螺纹孔设置的助推板；
8、5)于助推板上设置匹配螺纹孔的螺栓用做助推体；
9、6)通过若干助推体上均匀的进行助推板的螺旋压入，形成的助推部对应将尾气插入件推出的快速排气嵌件助力退出方法。
10、进一步的，助推部为仿尾气插入件端部形状，保证步骤3)中，助推部插入后，助推部和尾气插入件均匀接触。
11、进一步的，螺纹孔数量为四
12、进一步的，螺纹孔为尾气插入件槽的上下侧均设置两个。
13、进一步的，采用双对角助推板体旋入方式：其中一个对角上的螺栓同步旋入余量a，后进行另一对角的螺栓同步旋入同样的余量，交替进行，至尾气插入件退出。
14、与现有技术相比，本专利技术能够快速进行尾气插入件的退出，保证设备运维的高效进行。
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1.一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：助推部为仿尾气插入件端部形状，保证步骤3)中，助推部插入后，助推部和尾气插入件均匀接触。
3.根据权利要求1所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：螺纹孔数量为四个。
4.根据权利要求1所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：螺纹孔为尾气插入件槽的上下侧均设置两个。
5.根据权利要求4所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：采用双对角助推板体旋入方式：其中一个对角上的螺栓同步旋入余量A，后进行另一对角的螺栓同步旋入同样的余量，交替进行，至尾气插入件退出。
【技术特征摘要】
1.一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：助推部为仿尾气插入件端部形状，保证步骤3)中，助推部插入后，助推部和尾气插入件均匀接触。
3.根据权利要求1所述的一种排气嵌件助力退出方法，其特征在于：螺纹孔数量为四个。
...【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭玮，龚赛，郑岳亮，王超，蒋杰，陆波，沈宇晨，杜金生，杨振域，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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