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本发明一种排气嵌件助力退出方法,步骤包括:1)设置助力推出工装,助力推出工装包括助推部;2)助推部插入基准环,对接尾气插入件;3)基准环上包括尾气插入件槽,且对应尾气插入件槽的上下侧分别设置螺纹孔;4)助力推出工装包括对应螺纹孔设置的助推板...该专利属于中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明一种排气嵌件助力退出方法,步骤包括:1)设置助力推出工装,助力推出工装包括助推部;2)助推部插入基准环,对接尾气插入件;3)基准环上包括尾气插入件槽,且对应尾气插入件槽的上下侧分别设置螺纹孔;4)助力推出工装包括对应螺纹孔设置的助推板...