【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光刻机，更为具体地说，涉及一种光刻机的光罩版对准控制方法。
技术介绍
1、光刻机的光罩版对准控制指的是在光刻过程中确保光罩版与硅片之间的对准精度，以使得光罩版上的图案与硅片上的图案完全对准，确保在光刻过程中图案的精确转移。
2、光罩版对准控制是一个复杂流程，涉及对准前的准备工作，包括光罩版传控机械手到接版位，光罩版工作台移到接版位，放版，光罩版工作台移到对准工作位，光罩版粗对准，硅片工作台移动fm(fiducial mark：基准标记)到光罩版对准工作位，调焦，光罩版精对准等。
3、为了考虑性能进行高效对准，需要根据流程合理性，来控制电气设备并发操作，从而实现最大化生产。
4、因此，期望提供改进的光刻机的光罩版对准控制方案。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种光刻机的光罩版对准控制方法，其通过基于消息队列驱动的状态机来实现光罩版对准，可对对准流程进行实时中断和恢复，并异步并发地控制电气设备。
2、根据本申请的一方面，提供了一种光刻机的光罩版对准控制方法，包括：在状态机处于初始空闲状态时，接收对准消息进入消息队列；在所述状态机处于系统对准状态时，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列；将用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机用于控制所述电气设备移动；以及接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位
3、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列包括：并行/串行接收用于控制光罩版传控机械手移动到接版位和控制光罩版工作台移动到接版位的消息进入所述消息队列。
4、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，将用于控制所述光刻机的光罩版放版的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机，用于控制所述电气设备移动包括：将控制光罩版传控机械手移动到接版位的消息弹出所述消息队列，以驱动所述状态机进入光罩版传控机械手移动控制状态，用于执行将所述光罩版传控机械手移动到接版位的操作；以及，将控制光罩版工作台移动到接版位的消息弹出所述消息队列，以驱动所述状态机进入光罩版工作台移动控制状态，用于执行所述光罩版工作台移动到接版位的操作。
5、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，所述执行将所述光罩版传控机械手移动到接版位的操作和将控制光罩版工作台移动到接版位的消息弹出所述消息队列同步并发执行。
6、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：在接收到所述光罩版传控机械手的移动到位通知消息进入所述消息队列，并将所述光罩版传控机械手的移动到位通知消息弹出所述消息队列时，所述状态机从光罩版工作台移动控制状态进入光罩版传控机械手移动完成状态，且所述光罩版传控机械手的到位标识标识所述光罩版传控机械手到位。
7、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：基于所述光罩版工作台的到位标识确定所述光罩版工作台是否移动到接版位；响应于所述光罩版工作台移动到接版位，将用于光罩版放版的消息推送入所述消息队列；以及，响应于所述光罩版工作台没有移动到接版位，保持所述消息队列为空。
8、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，响应于所述光罩版工作台没有移动到接版位，保持所述消息队列为空之后进一步包括：响应于接收到所述光罩版工作台的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述光罩版工作台的移动到位通知消息，驱动状态机从光罩版传控机械手移动完成状态进入光罩版工作台移动完成状态。
9、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：在所述光罩版传控机械手的到位标识标识所述光罩版传控机械手到位，且所述光罩版工作台的到位标识标识所述光罩版工作台到位的情况下，接收放版消息进入所述消息队列；将所述放版消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机进入放版状态用于执行放版操作；当放版操作结束时，接收光罩版到位通知消息进入所述消息队列；以及，在从所述消息队列弹出所述光罩版到位通知消息后，确定光罩版放版操作完成。
10、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，进一步包括：接收外部的暂停对准命令或者恢复对准命令，以最高优先级推送进入所述消息队列；以及，在从所述消息队列弹出所述暂停对准命令或者恢复对准命令时，执行所述光罩版对准流程的中断或者恢复操作。
11、在上述光刻机的光罩版对准控制方法中，执行所述光罩版对准流程的中断操作包括：驱动所述状态机保留当前运行状态。
12、本申请实施例提供了一种光刻机的光罩版对准控制方法，其通过基于消息队列驱动的状态机来实现光罩版对准，可对对准流程进行实时中断和恢复，并异步并发地控制电气设备。
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1.一种光刻机的光罩版对准控制方法，包括：
2.如权利要求1所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列包括：
3.如权利要求2所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，将用于控制所述光刻机的光罩版放版的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机，用于控制所述电气设备移动包括：
4.如权利要求3所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，所述执行将所述光罩版传控机械手移动到接版位的操作和将控制光罩版工作台移动到接版位的消息弹出所述消息队列同步并发执行。
5.如权利要求4所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：
6.如权利要求5所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机
7.如权利要求6所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，响应于所述光罩版工作台没有移动到接版位，保持所述消息队列为空之后进一步包括：
8.如权利要求7所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：
9.如权利要求1所述的光刻机的光罩版对准控制方法，进一步包括：
10.如权利要求9所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，执行所述光罩版对准流程的中断操作包括：
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机的光罩版对准控制方法，包括：
2.如权利要求1所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的移动消息进入所述消息队列包括：
3.如权利要求2所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，将用于控制所述光刻机的光罩版放版的电气设备的移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机，用于控制所述电气设备移动包括：
4.如权利要求3所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，所述执行将所述光罩版传控机械手移动到接版位的操作和将控制光罩版工作台移动到接版位的消息弹出所述消息队列同步并发执行。
5.如权利要求4所述的光刻机的光罩版对准控制方法，其中，接收所述电气设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻机的光罩版对准操作包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：张琪，符友银，
申请(专利权)人：新毅东上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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