【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光刻机，更为具体地说，涉及一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法。
技术介绍
1、光刻机是半导体制造过程中的重要设备，用于将图形模式投射到硅片上进行芯片制造。在光刻机中，电气设备总线消息控制方法用于实现各个子系统功能，例如主控制器和从电气设备之间的通信和协调操作。其中，在光刻机电气设备总线采用分布式控制架构的情况下，其包括一个主控制器(master controller)和多个从电气设备(slave device)，主控制器负责整体控制和协调各个从电气设备的操作，而从电气设备则执行具体的任务。
2、由此，在电气设备总线上，主控制器和从设备之间需要通过消息进行通信。消息可以是控制命令、状态信息、数据传输等，且通常使用特定的通信协议和消息格式来定义消息的结构和内容。
3、通常，光刻机电气设备总线的消息控制可以包括以下方面：
4、消息传递：主控制器向从设备发送消息，从设备接收并执行相应的操作，消息传递可以是单向的，也可以是双向的，主控制器和从设备之间可以进行双向的通信和数据交换；
5、消息解析：从设备接收到消息后，需要解析消息内容并进行相应的处理，解析过程包括识别消息类型、提取参数和数据等操作；
6、消息处理：从设备根据接收到的消息执行相应的操作，这可能涉及到设备的启动、停止、参数设置、数据传输等操作；
7、消息确认：从设备在完成接收到的消息所要求的操作后，通常会向主控制器发送确认消息，以表示操作已完成；
8、异常处理：在消息传输
9、由于光刻机的控制系统通常对实时性要求较高，要求消息的传输和处理能够在规定的时间内完成，因此，光刻机电气设备总线的消息控制方法需要考虑实时性和响应性能，以确保光刻机的稳定运行和高效生产。
10、因此，期望提供改进的光刻机电气设备总线的消息控制方法。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，其通过将接收到的多个任务请求按其各自的时间戳和延时时间存储到延时队列中，并在延时队列中设置不同的延时时间来进行消息控制，从而实现了总线通信时序的精确控制。
2、根据本申请的一方面，提供了一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，所述光刻机采用主控制器与多个从电气设备之间的ethercat总线通信，且所述方法包括：将接收到的对所述多个从电气设备的多个任务请求按照时间戳和延时时间存储到延时队列中；在所述延时队列中设置基于所述多个任务请求的多个定时任务，且每个定时任务具有相应的延时时间；以及，将所述多个定时任务从所述延时队列发送给所述多个从电气设备。
3、在上述基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法中，进一步包括：在所述延时队列中设置对所述定时任务的任务超时；以及，基于所述定时任务的任务超时确定从电气设备对所述定时任务的反应是否超时。
4、在上述基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法中，进一步包括：响应于从电气设备对所述定时任务的反应是否超时，在再次发送所述定时任务给所述从电气设备时修改所述定时任务的延时时间。
5、在上述基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法中，进一步包括：记录所述延时队列的长度变化；以及，基于所述延时队列的长度变化调整所述定时任务的延时时间。
6、在上述基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法中，所述延时队列实现为时间轮，所述时间轮是包括多个时间槽的环形队列，每个时间槽表示一个时间段，用于存储设置有延迟时间的所述定时任务，且每个时间槽包括基于所述延迟时间的定时器。
7、在上述基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法中，每个所述时间槽存放一个定时任务列表，并且，所述定时任务列表是环形的双向链表，所述链表中的每一项表示封装所述定时任务的定时任务项。
8、本申请实施例提供了一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，通过将接收到的多个任务请求按其各自的时间戳和延时时间存储到延时队列中，并在延时队列中设置不同的延时时间来进行消息控制，可以实现总线通信时序的精确控制。
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1.一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，所述光刻机采用主控制器与多个从电气设备之间的EtherCAT总线通信，且所述方法包括：
2.如权利要求1所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
3.如权利要求2所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
4.如权利要求1所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
5.如权利要求1所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，其中，所述延时队列实现为时间轮，所述时间轮是包括多个时间槽的环形队列，每个时间槽表示一个时间段，用于存储设置有延迟时间的所述定时任务，且每个时间槽包括基于所述延迟时间的定时器。
6.如权利要求5所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，其中，每个所述时间槽存放一个定时任务列表，并且，所述定时任务列表是环形的双向链表，所述链表中的每一项表示封装所述定时任务的定时任务项。
【技术特征摘要】
1.一种基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，所述光刻机采用主控制器与多个从电气设备之间的ethercat总线通信，且所述方法包括：
2.如权利要求1所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
3.如权利要求2所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
4.如权利要求1所述的基于延时队列的光刻机电气设备总线的消息控制方法，进一步包括：
5.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：张琪，符友银，
申请(专利权)人：新毅东上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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