一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台，涉及晶圆贴膜台技术领域，支撑部件用于支撑晶圆的边缘接触区，包括：环状部件，环状部件的内周和外周分别设置有第一凸起部和第二凸起部，第一凸起部和第二凸起部分别用于嵌设在晶圆贴膜台的底座内，环状部件的上端从底座的上侧外露，且环状部件的上表面高于底座的上表面；解决现有技术中采用设置在贴膜台上侧的橡胶圈与晶圆的不良区接触，由于晶圆的下侧贴附的

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台


[0001]本技术属于晶圆贴膜台
，更具体地，涉及一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台
。

技术介绍

[0002]在半导体工艺过程中，晶圆加工前，需要将减薄后的晶圆背面贴附一层
UV
膜，
UV
膜作为晶圆切割时贴附于晶圆背面的承载膜，再将
UV
膜边缘贴附于铁环上，起到搬送及划片时承载的作用
。BG
膜是研磨时贴附于晶圆表面的保护膜，由于多数减薄后的晶圆片撕去
BG
膜后进行贴
UV
膜和划片的加工，
UV
膜在贴膜时就需要使用一种非接触式贴膜台，晶圆只是通过圆周边缘不良区接触贴膜台，避免晶圆的电路层面接触整个贴膜台的台面而产生划伤
。
[0003]贴膜台的上表面需要设置凸起的承载部，以用于接触晶圆的不良区，现有的一种贴膜台上的承载部采用设置在贴膜台上侧的橡胶圈，但是由于晶圆的下侧贴附的
UV
膜容易与橡胶圈粘连，在晶圆多次抬起过程中橡胶圈容易发生移位或粘胶老化松动，造成不利影响
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台，解决现有技术中采用设置在贴膜台上侧的橡胶圈与晶圆的不良区接触，由于晶圆的下侧贴附的
UV
膜容易与橡胶圈粘连，在晶圆多次抬起过程中橡胶圈容易发生移位或粘胶老化松动，造成不利影响的问题
。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种晶圆贴膜台的支撑部件，所述支撑部件用于支撑晶圆的边缘接触区，包括：
[0006]环状部件，所述环状部件的内周和外周分别设置有第一凸起部和第二凸起部，所述第一凸起部和所述第二凸起部分别用于嵌设在所述晶圆贴膜台的底座内，所述环状部件的上端从所述底座的上侧外露，且所述环状部件的上表面高于所述底座的上表面
。
[0007]可选地，所述环状部件的截面为矩形，所述第一凸起部和所述第二凸起部的截面均为矩形
。
[0008]可选地，所述第一凸起部和所述第二凸起部分别设置在所述环状部件的内周的下端和所述环状部件的外周的下端
。
[0009]可选地，所述第一凸起部和所述第二凸起部均为环形
。
[0010]可选地，所述第一凸起部和所述第二凸起部与所述环状部件一体成型
。
[0011]可选地，所述晶圆贴膜台的支撑部件的材料为橡胶
。
[0012]本技术还提供一种晶圆贴膜台，包括：
[0013]底座；
[0014]上述的晶圆贴膜台的支撑部件
。
[0015]可选地，所述底座的上部设置有安装槽体，所述安装槽体包括环状部和分别设置在所述环状部内周和外周并与所述环状部连接的第一凹槽和第二凹槽，部分所述环状部件嵌设在所述环状部内且所述第一凸起部和所述第二凸起部分别嵌设在所述第一凹槽和所述第二凹槽内
。
[0016]可选地，所述底座包括底板和设置在所述底板上侧的环形的安装部件，所述底板的中部设置有下沉的凹槽，所述凹槽的槽壁与所述安装部件之间形成所述环状部，所述第一凹槽设置在所述凹槽的槽壁的外侧，所述第二凹槽设置在所述安装部件靠近所述第一凹槽的一侧壁上
。
[0017]可选地，所述凹槽的槽底设置有定位孔和检测孔，所述安装部件与所述底板可拆卸连接
。
[0018]本技术提供一种晶圆贴膜台的支撑部件及晶圆贴膜台，其有益效果在于：该晶圆贴膜台的支撑部件包括环状部件，环状部件的内周和外周分别设置有第一凸起部和第二凸起部，第一凸起部和第二凸起部能够在其安装在晶圆贴膜台的底座时，分别嵌入底座内，形成与底座上的安装槽体的卡接，提高该支撑部件与底座的连接的连接强度和稳定性；并且环状部件的上端从底座的上侧外露，环状部件的上表面凸出于底座，能够与晶圆的边缘接触区接触，进而承载晶圆；这样，无论晶圆上的
UV
膜如何粘连环状部件的上表面，环状部件都不会从底座上移位，能够避免像现有技术中的橡胶圈那样容易移位，造成橡胶圈将晶圆垫起来产生裂片等不良影响
。
[0019]本技术的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明
。
附图说明
[0020]通过结合附图对本技术示例性实施方式进行更详细的描述，本技术的上述以及其它目的
、
特征和优势将变得更加明显，其中，在本技术示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件
。
[0021]图1示出了根据本技术的一个实施例的一种晶圆贴膜台的支撑部件的结构示意图
。
[0022]图2示出了根据本技术的一个实施例的一种晶圆贴膜台的主视结构示意图
。
[0023]图3示出了根据本技术的一个实施例的一种晶圆贴膜台的后视结构示意图
。
[0024]图4示出了根据本技术的一个实施例的一种晶圆贴膜台的俯视结构示意图
。
[0025]图5示出了图4的局部放大结构示意图
。
[0026]附图标记说明：
[0027]1、
环状部件；
2、
第一凸起部；
3、
第二凸起部；
4、
第一凹槽；
5、
第二凹槽；
6、
底板；
7、
安装部件；
8、
定位销；
9、
定位孔；
10、
检测孔；
11、
凹槽
。
具体实施方式
[0028]下面将更详细地描述本技术的优选实施方式
。
虽然以下描述了本技术的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本技术而不应被这里阐述的实施方式所限制
。
相反，提供这些实施方式是为了使本技术更加透彻和完整，并且能够将本技术的范围完整地传达给本领域的技术人员
。
[0029]如图1所示，本技术提供一种晶圆贴膜台的支撑部件，支撑部件用于支撑晶圆的边缘接触区，包括：
[0030]环状部件1，环状部件1的内周和外周分别设置有第一凸起部2和第二凸起部3，第一凸起部2和第二凸起部3分别用于嵌设在晶圆贴膜台的底座内，环状部件1的上端从底座的上侧外露，且环状部件1的上表面高于底座的上表面
。
[0031]具体的，为解决现有技术中采用设置在贴膜台上侧的橡胶圈与晶圆的不良区接触，由于晶圆的下侧贴附的
UV
膜容易与橡胶圈粘连，在晶圆多次抬起过程中橡胶圈容易发生移位或粘胶老化松动，造成不利影响的问题；本技术提供的晶圆贴膜台的支撑部件包括环状部件1，环状部件1的内周和外周分别设置有第一凸起部2和第二凸起部3，第一凸起部2和第二凸起部3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆贴膜台的支撑部件，所述支撑部件用于支撑晶圆的边缘接触区，其特征在于，包括：环状部件，所述环状部件的内周和外周分别设置有第一凸起部和第二凸起部，所述第一凸起部和所述第二凸起部分别用于嵌设在所述晶圆贴膜台的底座内，所述环状部件的上端从所述底座的上侧外露，且所述环状部件的上表面高于所述底座的上表面；所述环状部件的截面为矩形，所述第一凸起部和所述第二凸起部的截面均为矩形；所述第一凸起部和所述第二凸起部分别设置在所述环状部件的内周的下端和所述环状部件的外周的下端
。2.
根据权利要求1所述的晶圆贴膜台的支撑部件，其特征在于，所述第一凸起部和所述第二凸起部均为环形
。3.
根据权利要求1所述的晶圆贴膜台的支撑部件，其特征在于，所述第一凸起部和所述第二凸起部与所述环状部件一体成型
。4.
根据权利要求1所述的晶圆贴膜台的支撑部件，其特征在于，所述晶圆贴膜台的支撑部件的材料为橡胶
。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈金龙，申珅，孟庆勇，
申请(专利权)人：北京唯捷创芯精测科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：