用于晶圆检测的刚性升降台制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆检测器件领域，具体提供一种用于晶圆检测的刚性升降台，晶圆托板连接在滑框的上端面上，滑台固定与基座连接，滑框套在滑台外侧，滚柱导轨安装在滑台的外棱位置，或者安装在滑框的内棱位置，丝母与丝杆啮合，并设置在滑台内，丝杆的上端固定在固定座内，丝杆的下端与基座连接，丝母的上端与顶块连接，顶块顶在晶圆托板的下表面

【技术实现步骤摘要】
用于晶圆检测的刚性升降台


[0001]本技术涉及晶圆检测器件领域，具体提供一种用于晶圆检测的刚性升降台
。

技术介绍

[0002]晶圆检测是芯片制造过程中的重要环节，而升降台则是实现晶圆检测的关键组件之一
。
升降台通过探针与晶圆上被检测部位接触，以进行精确的测量和检测
。
在升降台的构造中，导向结构在运行方向上起主导作用，并维持极高的行走平行度
。
随着晶圆生产技术的不断提升，晶圆直径逐渐增大，导向结构需要承受的压力也随之增加，为了保持晶圆运动的稳定性，导向结构需要具有较高刚性，导向结构刚性的提升能够减小承受压力时的变形和振动，从而确保高精度的测量结果，并且现有的升降台均是采用进口的高精度直线导轨作为导向结构的主体，经济成本极高
。
[0003]现有技术中主要通过优化材料选择
、
加强支撑
、
加固连接处和采用先进制造工艺等手段，提高导向结构的刚性，保持升降台的行走平行度，从而提高晶圆检测的准确性和可靠性
。
但出于成本考虑，材料选择以及连接工艺等均不算较好的选择
。

技术实现思路

[0004]本技术为解决上述问题，提供了一种用于晶圆检测的刚性升降台，采用空心四棱柱状的滑框和滚柱导轨对晶圆托板的运动进行导向，并通过丝杆和丝母的配合驱动晶圆托板运动，具有结构简单
、
载荷能力强
、
扰动包容性好等特点
。
[0005]本技术提供的用于晶圆检测的刚性升降台，包括：晶圆托板
、
滑框
、
基座
、
滑台
、
滚柱导轨
、
顶块
、
固定座
、
丝杆和丝母；
[0006]滑框为空心四棱柱状，晶圆托板连接在滑框的上端面上；
[0007]滑台固定在基座的上表面，滑框套在滑台外侧；
[0008]滚柱导轨包括直角架和多个滚柱，滚柱水平设置在直角架的两个面的滚柱槽内，滚柱可在滚柱槽内滚动；滚柱导轨安装在滑台的外棱位置，或者安装在滑框的内棱位置；
[0009]基座的中心位置开有通孔，丝杆的下端穿过该通孔，并通过轴承与基座连接；丝杆的上端通过轴承固定在固定座内，固定座与滑台连接；
[0010]丝母与丝杆啮合，并设置在滑台内，丝母的上端与顶块连接，顶块的上表面顶在晶圆托板的下表面，用于通过丝杆转动使丝母和顶块受迫运动，进而带动晶圆托板和滑框运动
。
[0011]优选的，晶圆托板的中心位置开有圆孔，该圆孔位置与丝杆的上端位置对应
。
[0012]优选的，滑框为空心正四棱柱状，晶圆托板通过螺钉连接在滑框的上端面上
。
[0013]优选的，直角架的两个面上的滚柱槽的间距相等
。
[0014]与现有技术相比，本技术能够取得如下有益效果：
[0015]本技术采用刚性滑框与滚柱导轨进行运动导向，保证运动过程中具有足够的刚性支撑，并提高了运动过程中的稳定性；采用滑框与滑台的配合，增强了结构强度，提高
了载荷能力和抗扰动能力；并且利用滚柱导轨代替了进口的高精度直线导轨，极大降低了经济成本
。
附图说明
[0016]图1是根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的截面图；
[0017]图2是根据本技术实施例提供的基座及滑台的结构图；
[0018]图3是根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的正视图；
[0019]图4是根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的俯视图；
[0020]图5是根据本技术实施例提供的滑框的结构图
。
[0021]其中的附图标记包括：
[0022]晶圆托板
1、
滑框
2、
基座
3、
滑台
4、
丝杆
5、
丝母
6、
顶块
7、
固定座
8、
滚柱导轨
9、
滚柱
91、
直角架
92、
上轴承
10、
下轴承
11。
具体实施方式
[0023]在下文中，将参考附图描述本技术的实施例
。
在下面的描述中，相同的模块使用相同的附图标记表示
。
在相同的附图标记的情况下，它们的名称和功能也相同
。
因此，将不重复其详细描述
。
[0024]为了使本技术的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，而不构成对本技术的限制
。
[0025]图1示出了根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的截面结构
。
[0026]图2示出了根据本技术实施例提供的基座及滑台
。
[0027]图3示出了根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的正视结构
。
[0028]图4示出了根据本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台的俯视结构
。
[0029]图5示出了根据本技术实施例提供的滑框
。
[0030]如图1～5所示，本技术实施例提供的用于晶圆检测的刚性升降台，包括：晶圆托板
1、
滑框
2、
基座
3、
滑台
4、
丝杆
5、
丝母
6、
顶块
7、
固定座8和滚柱导轨9，其中，滚柱导轨9包括多个滚柱
91
和直角架
92。
[0031]晶圆托板1的顶面形状为正方形，其中心位置开有一个较大的圆孔，用于容纳丝杆5顶部
。
滑框2为空心四棱柱状，滑框2的内侧面为光滑面，便于与滚柱
91
接触滚动，晶圆托板1通过螺钉连接在滑框2的上端面上
。
[0032]滑台4固定在基座3的上表面，滑台4与滑框2配做，滑框2的尺寸略大于滑台4，滑台4与滑框2之间的缝隙等于滚柱
91
的底面直径，滑框2套在滑台4的外侧，滑台4的内部为空心柱体空间
。
[0033]滑台4的侧面的外棱位置上均安装有滚柱导轨9，滚柱导轨9包括多个滚柱
91
和直角架
92
，直角架
92
由两个长边相连的长方形钢板构成，在两个侧面钢板上开有水平设置的
滚柱槽，滚柱
91
等距均匀设置在滚柱槽内，滚柱
91
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆检测的刚性升降台，其特征在于，包括：晶圆托板
、
滑框
、
基座
、
滑台
、
滚柱导轨
、
顶块
、
固定座
、
丝杆和丝母；所述滑框为空心四棱柱状，所述晶圆托板连接在所述滑框的上端面上；所述滑台固定在所述基座的上表面，所述滑框套在所述滑台外侧；所述滚柱导轨包括直角架和多个滚柱，滚柱水平设置在直角架的两个面的滚柱槽内，滚柱可在滚柱槽内滚动；所述滚柱导轨安装在所述滑台的外棱位置，或者安装在所述滑框的内棱位置；所述基座的中心位置开有通孔，所述丝杆的下端穿过该通孔，并通过轴承与所述基座连接；所述丝杆的上端通过轴承...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘大禹，
申请(专利权)人：长春奥普光电技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：