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本实用新型涉及晶圆检测器件领域，具体提供一种用于晶圆检测的刚性升降台，晶圆托板连接在滑框的上端面上，滑台固定与基座连接，滑框套在滑台外侧，滚柱导轨安装在滑台的外棱位置，或者安装在滑框的内棱位置，丝母与丝杆啮合，并设置在滑台内，丝杆的上端固定...
该专利属于长春奥普光电技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春奥普光电技术股份有限公司授权不得商用。

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