一种具有稳定支撑结构的隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及隔离装置技术领域，且公开了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述挤压弹簧固定安装在螺纹板的外壁上，所述弧形板的外壁与挤压弹簧的端部固定连接，所述弧形板与轴承座的内壁滑动连接，所述弧形板设置为弧形状，所述弧形板的内部滚动连接有滚珠，所述弧形板的外壁与支杆的一端铰接

【技术实现步骤摘要】
一种具有稳定支撑结构的隔离装置


[0001]本技术涉及隔离装置
，具体为一种具有稳定支撑结构的隔离装置
。

技术介绍

[0002]半导体制造领域中，需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产，而至少部分加工设备需要利用分子泵，使设备内部形成一个稳定的真空状态
。
[0003]半导体在加工过程中需要使用分子泵，现有的分子泵在使用的过程中内部转轴一般只是通过套接在轴承座的内部，在高速运转的过程中可能会出现偏心的状况导致不稳定；鉴于此，我们需要一种具有稳定支撑结构的隔离装置
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有稳定支撑结构的隔离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述支撑机构包括有：
[0006]挤压弹簧，所述挤压弹簧固定安装在螺纹板的外壁上；
[0007]弧形板，所述弧形板的外壁与挤压弹簧的端部固定连接，所述弧形板与轴承座的内壁滑动连接
。
[0008]优选的，所述弧形板设置为弧形状，所述弧形板的内部滚动连接有滚珠
。
[0009]优选的，所述弧形板的外壁与支杆的一端铰接，所述支杆的另一端与滑块铰接
。
[0010]优选的，所述滑块与螺纹板的外壁滑动连接，所述滑块的外壁上固定安装有连接杆
。
[0011]优选的，所述连接杆的端部固定安装有限位尺，所述限位尺共设置有两组，且两组限位尺以轴承座竖直方向上的中心线为对称轴对称设置
。
[0012]优选的，所述轴承座的内壁上固定安装有卡尺，所述卡尺位于限位尺的外侧
。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，具备以下有益效果：
[0014]1、
该具有稳定支撑结构的隔离装置通过支撑机构内部两弧形板带动滚珠对中间的转轴进行挤压支撑，通过滚珠能够进行转动，使转轴被支撑的同时不被影响运转
。
[0015]2、
该具有稳定支撑结构的隔离装置在进行夹持的过程中通过挤压力使弧形板对支杆的端部进行挤压，最后通过内部传动使限位尺与卡尺之间卡接，进而使两弧形板不再继续对中间的转轴进行夹持，防止转轴被过度夹持影响运转
。
附图说明
[0016]图1为本技术整体正视结构示意图；
[0017]图2为本技术整体剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中
A
结构放大示意图
。
[0019]图中：
1、
机体；
2、
轴承座；
3、
螺纹板；
4、
双向螺纹杆；
5、
支撑机构；
51、
挤压弹簧；
52、
弧形板；
53、
滚珠；
54、
支杆；
55、
滑块；
56、
连接杆；
57、
限位尺；
58、
卡尺
。
具体实施方式
[0020]如图1‑3所示，本技术提供一种技术方案：一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体1，机体1的内壁上固定安装有轴承座2，轴承座2的内壁上滑动连接有螺纹板3，螺纹板3的内部螺纹连接有双向螺纹杆4，通过拧动双向螺纹杆4进行转动，使两螺纹板3带动两弧形板
52
对中间的转轴进行夹持，轴承座2的内部设置有支撑机构
5。
[0021]本实施例中，轴承座2的内部设置有支撑机构5，通过支撑机构5内部两弧形板
52
带动滚珠
53
对中间的转轴进行挤压支撑，通过滚珠
53
能够进行转动，使转轴被支撑的同时不被影响运转，同时在进行夹持的过程中通过挤压力使弧形板
52
对支杆
54
的端部进行挤压，最后通过内部传动使限位尺
57
与卡尺
58
之间卡接，进而使两弧形板
52
不再继续对中间的转轴进行夹持，防止转轴被过度夹持影响运转
。
[0022]上述支撑机构5包括有挤压弹簧
51
，挤压弹簧
51
的一端与螺纹板3的外壁固定连接，挤压弹簧
51
的另一端与弧形板
52
的外壁固定连接，弧形板
52
与轴承座2的内壁滑动连接，弧形板
52
设置为弧形状，弧形板
52
的内部滚动连接有滚珠
53
，通过滚珠
53
能够进行转动，使转轴被支撑的同时不被影响运转，弧形板
52
的外壁与支杆
54
的一端铰接，通过挤压力使弧形板
52
对支杆
54
的端部进行挤压，支杆
54
的另一端与滑块
55
铰接，滑块
55
与螺纹板3的外壁滑动连接，通过支杆
54
与滑块
55
之间的铰接，使滑块
55
在螺纹板3上滑动，滑块
55
的外壁上固定安装有连接杆
56
，连接杆
56
的端部固定安装有限位尺
57
，滑块
55
带动连接杆
56
端部固定连接有的限位尺
57
向卡尺
58
的方向运动，限位尺
57
共设置有两组，且两组限位尺
57
以轴承座2竖直方向上的中心线为对称轴对称设置，轴承座2的内壁上固定安装有卡尺
58
，卡尺
58
位于限位尺
57
的外侧，通过限位尺
57
与卡尺
58
之间的卡接，防止两弧形板
52
继续对中间的转轴进行夹持，导致转轴被过度夹持影响运转
。
[0023]工作时
(
或使用时
)
，通过将转轴插接在两弧形板
52
中间，进而通过拧动双向螺纹杆4进行转动，进而通过双向螺纹杆4与螺纹板3之间的螺纹连接，使两螺纹板3带动两弧形板
52
对中间的转轴进行夹持，在夹持的过程中通过反作用力使螺纹板3相对弧形板
52
方向运动，进而使弧形板
52
对支杆
54
的端部进行挤压，进而通过支杆
54
与滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体
(1)
，所述机体
(1)
的内壁上固定安装有轴承座
(2)
，其特征在于：所述轴承座
(2)
的内壁上滑动连接有螺纹板
(3)
，所述螺纹板
(3)
的内部螺纹连接有双向螺纹杆
(4)
，所述轴承座
(2)
的内部设置有支撑机构
(5)
，所述支撑机构
(5)
包括有：挤压弹簧
(51)
，所述挤压弹簧
(51)
固定安装在螺纹板
(3)
的外壁上；弧形板
(52)
，所述弧形板
(52)
的外壁与挤压弹簧
(51)
的端部固定连接，所述弧形板
(52)
与轴承座
(2)
的内壁滑动连接
。2.
根据权利要求1所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述弧形板
(52)
设置为弧形状，所述弧形板
(52)
的内部滚动连接有滚珠
(53)。3.
根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王占杰，
申请(专利权)人：上海富玖帕精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：