本技术涉及分子泵技术领域，且公开了一种具有导向结构的分子泵，包括底座，所述底座的上端开设有导向槽，所述导向槽设置有导向装置，所述导向装置包括有滚轮、连接板及放置座，所述滚轮在导向槽内滑动连接，所述连接板设置有凹型，所述连接板的下端与滚轮...

本技术涉及半导体分子泵轴承设备技术领域，且公开了一种具有散热结构的保护装置，该具有散热结构的保护装置，包括内轴套，所述内轴套圆周外表面固定连接有内圈，所述内圈圆周外表面中部活动连接有滚珠，所述滚珠外表面设置有外圈，所述内轴套内壁活动连接...

本发明属于分子泵马达保护技术领域，具体涉及一种局域定位结构的分子泵马达保护装置，包括泵壳体，所述泵壳体中的气室外壁上连通有出气口，所述泵壳体中可拆卸连接有输气装置，所述泵壳体中设置有防护套与保护机构。该局域定位结构的分子泵马达保护装置通...

本发明涉及一种磁悬浮分子泵，包括：外壳、马达壳体、转轴、转子、静子和定子，所述外壳内部与静子固定连接，所述转子位于静子内部，所述转子与其内部的转轴固定连接，所述马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，所述马达壳体内部与定子固定连接，...

本实用新型涉及隔离装置技术领域，且公开了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述挤压弹簧固...

本实用新型公开了一种具有灰尘收集结构的吹扫装置，包括底座，所述底座的底面固定连接有支撑腿，所述底座的表面上开设凹槽，所述凹槽的内部固定连接有支撑板，所述支撑板的表面固定连接有安装座，所述底座的表面设置有吹扫装置，所述吹扫装置包括：滑槽，...

本实用新型涉及防尘转子技术领域，且公开了一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，泵体内部设置有套筒，套筒上端设置有磁浮悬电机，泵体内壁设置有过滤网，泵体内部开设有散热孔，泵体内部设置有调节装置，调节装置包括：槽口

本发明属于分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵转子内部压力平衡机构，包括泵壳体，所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有输气装置，所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件，所述输气装置的内部设置有抬升装置

本发明属于分子泵吹扫清洁领域，具体涉及一种避免扬尘的吹扫装置，包括机体，所述机体的内壁上滑动连接有滑动板，所述滑动板的下方设置转动升降装置，所述滑动板的上方设置有卡盘，所述机体的内部设置有吹扫机构，所述机体的外壁上固定安装有过滤箱，所述...

本发明公开了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，涉及分子泵技术领域。本发明包括装置主体，装置主体的右侧设置有管道，还包括防粘附装置、防缠绕装置防堆积装置和防堵装置，防粘附装置设置在装置主体内部，防缠绕装置设置在装置主体底部，防堆积装置设...