一种具有防尘结构的隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及防尘转子技术领域，且公开了一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，泵体内部设置有套筒，套筒上端设置有磁浮悬电机，泵体内壁设置有过滤网，泵体内部开设有散热孔，泵体内部设置有调节装置，调节装置包括：槽口

【技术实现步骤摘要】
一种具有防尘结构的隔离装置


[0001]本技术涉及防尘转子
，具体为一种具有防尘结构的隔离装置
。

技术介绍

[0002]半导体制造领域中，需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产，而至少部分加工设备需要利用分子泵，使设备内部形成一个稳定的真空状态，现有的分子泵在运作时，导致内外气压具有一定差值，外界气压会通过散热孔进入分子泵内部，导致灰尘进入分子泵内部，造成分子泵损坏
。
[0003]如公开号
CN219081902U
公开的一种分子泵防尘转子，该装置通过在泵体内部设置有散热孔进行通风并通过设置有过滤网对灰尘进行阻挡，并且通过将底盖安装在安装槽内，从而能够使插杆插在插槽内，然后通过卡块将底盖安装在泵体内，从而能够将过滤网进行拆卸更换
。
[0004]但是该防尘装置在使用时实用性较差，首先该装置虽然是将底盖安装在安装槽内，然后通过卡块将底盖安装在泵体内，但是此时过滤网是滑动连接在泵体内部的，这就导致在后续拆卸时较为麻烦，从而影响该装置进行拆卸维护；鉴于此，我们提出一种具有防尘结构的隔离装置
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有防尘结构的隔离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，所述泵体内部设置有套筒，所述套筒上端设置有磁浮悬电机，所述泵体内壁设置有过滤网，所述泵体内部开设有散热孔，所述泵体内部设置有调节装置，所述调节装置包括：
[0007]槽口，所述槽口开设在过滤网两侧侧壁，所述槽口内壁固定连接支撑弹簧一端，所述支撑弹簧另一端固定连接滑动板，所述滑动板远离支撑弹簧的一端固定连接卡块，所述泵体内壁两侧均开设有卡槽，所述泵体两侧侧壁均固定安装有挤压弹簧一端，所述挤压弹簧另一端内壁固定安装有移动杆，所述移动杆一端贯穿卡槽，所述移动杆另一端固定连接按压板；
[0008]遮挡装置，所述遮挡装置设置在泵体内部
。
[0009]优选的，所述遮挡装置包括滑槽，所述滑槽开设在泵体内壁两侧，所述滑槽上下内壁固定安装有滑动杆，所述滑动杆表面滑动连接有滑动块，所述滑动块侧壁固定安装有连接块一端，所述连接块另一端下侧固定安装有挡板
。
[0010]优选的，所述挡板和散热孔相适配
。
[0011]优选的，所述移动杆位于卡槽内部的一端与卡块表面相接触
。
[0012]优选的，所述卡块长度与槽口深度相适配
。
[0013]优选的，所述挡板与泵体内壁相接触
。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种具有防尘结构的隔离装置，具备以下有益效果：
[0015]1、
该具有防尘结构的隔离装置通过设置了调节装置从而方便做到对过滤网进行拆卸维护，使用者可以通过向内按压按压板使移动杆向泵体内部进行移动，移动杆向内移动对卡块进行挤压使其进入槽口内部从而做到解除卡块和卡槽的卡接，然后使用者将过滤网倾斜拿出即可
。
[0016]2、
该具有防尘结构的隔离装置通过设置了遮挡装置从而方便做到对散热孔进行遮挡，当泵体运作时会导致内外气压具有一定差值，从而能够通过外界气压挤压使挡板向上移动并漏出散热孔从而方便进行散热工作
。
附图说明
[0017]图1为本技术立体结构示意图；
[0018]图2为本技术侧视立体结构示意图；
[0019]图3为本技术侧视结构示意图；
[0020]图4为本技术
A
部分放大结构示意图；
[0021]图5为本技术
B
部分放大结构示意图
。
[0022]图中：
1、
泵体；
2、
套筒；
4、
过滤网；
5、
散热孔；
6、
调节装置；
61、
槽口；
62、
支撑弹簧；
63、
滑动板；
64、
卡块；
65、
卡槽；
66、
挤压弹簧；
67、
移动杆；
68、
按压板；
7、
遮挡装置；
71、
滑槽；
72、
滑动杆；
73、
滑动块；
74、
连接块；
75、
挡板
。
具体实施方式
[0023]如图1‑
图5所示，本技术提供一种技术方案：一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体1，泵体1内部设置有套筒2，套筒2上端设置有磁浮悬电机，泵体1内壁设置有过滤网4，泵体1内部开设有散热孔5，泵体1内部设置有调节装置6，调节装置6包括：槽口
61
，槽口
61
开设在过滤网4两侧侧壁，槽口
61
内壁固定连接支撑弹簧
62
一端，支撑弹簧
62
另一端固定连接滑动板
63
，滑动板
63
远离支撑弹簧
62
的一端固定连接卡块
64
，泵体1内壁两侧均开设有卡槽
65
，泵体1两侧侧壁均固定安装有挤压弹簧
66
一端，挤压弹簧
66
另一端内壁固定安装有移动杆
67
，移动杆
67
一端贯穿卡槽
65
，移动杆
67
另一端固定连接按压板
68
，在泵体1内部设置有遮挡装置
7。
[0024]具体而言，本技术技术方案的调节装置6包括：槽口
61、
支撑弹簧
62、
滑动板
63、
卡块
64、
卡槽
65、
挤压弹簧
66、
移动杆
67、
按压板
68、
遮挡装置
7。
[0025]在本技术的一实施方式中，槽口
61
开设在过滤网4两侧侧壁，槽口
61
内壁固定连接支撑弹簧
62
一端，支撑弹簧
62
另一端固定连接滑动板
63
，滑动板
63
远离支撑弹簧
62
的一端固定连接卡块
64
，泵体1内壁两侧均开设有卡槽
65
，泵体1两侧侧壁均固定安装有挤压弹簧
66
一端，挤压弹簧
66
另一端内壁固定安装有移动杆
67
，移动杆
67
一端贯穿卡槽
65
，移动杆
67...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体
(1)
，所述泵体
(1)
内部设置有套筒
(2)
，所述套筒
(2)
上端设置有磁浮悬电机，所述泵体
(1)
内壁设置有过滤网
(4)
，所述泵体
(1)
内部开设有散热孔
(5)
，其特征在于：所述泵体
(1)
内部设置有调节装置
(6)
，所述调节装置
(6)
包括：槽口
(61)
，所述槽口
(61)
开设在过滤网
(4)
两侧侧壁，所述槽口
(61)
内壁固定连接支撑弹簧
(62)
一端，所述支撑弹簧
(62)
另一端固定连接滑动板
(63)
，所述滑动板
(63)
远离支撑弹簧
(62)
的一端固定连接卡块
(64)
，所述泵体
(1)
内壁两侧均开设有卡槽
(65)
，所述泵体
(1)
两侧侧壁均固定安装有挤压弹簧
(66)
一端，所述挤压弹簧
(66)
另一端内壁固定安装有移动杆
(67)
，所述移动杆
(67)
一端贯穿卡槽
(65)
，所述移动杆
(67)
另一端固定连接按压板
(68)
；遮挡装置
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王占杰，
申请(专利权)人：上海富玖帕精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：