【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及分子泵领域，尤其是一种预警分子泵。
技术介绍
1、分子真空泵(分子泵)因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。
2、在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。这些应用中，分子泵经常需要抽除腐蚀性气体，腐蚀性气体会与马达壳体内的灌封胶反应。当灌封胶被腐蚀穿透后，腐蚀性气体会与灌封胶内的部件接触，造成部件(尤其是各个部件的金属线圈)被腐蚀损坏。当上述部件损坏后，正在高转速转动的转子突然过度位移或突然停止动力输入，造成转子等损坏(即炸机)，使分子泵造成不可修复的损伤。
3、由于分子泵的外壳的阻挡，用户不能直接观察灌封胶的腐蚀情况，只能定期拆开分子泵查看，提高了维修成本。
4、同时，由于转子和转轴的转速极高，会造成灌封胶受热较多，长时间使用后会造成灌封胶内壁向内膨胀，影响转轴的转动。隐藏需要工作人员定期将灌封胶内壁车削掉部分灌封胶，以扩大内径到
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种预警分子泵，其特征在于，包括：马达壳体(1)、灌封胶(3)、外壳(5)、转轴(6)、线圈(8)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)、上径向传感器(17)、静叶片(51)和转子(61)，所述外壳(5)内部与静叶片(51)固定连接，所述转子(61)位于外壳(5)内部，所述转子(61)与其内部的转轴(6)固定连接，所述马达壳体(1)位于转轴(6)和转子(61)之间并与外壳(5)位置固定，所述灌封胶(3)位于马达壳体(1)内部并将马达壳体(1)内部的电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴...
【技术特征摘要】
1.一种预警分子泵，其特征在于，包括：马达壳体(1)、灌封胶(3)、外壳(5)、转轴(6)、线圈(8)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)、上径向传感器(17)、静叶片(51)和转子(61)，所述外壳(5)内部与静叶片(51)固定连接，所述转子(61)位于外壳(5)内部，所述转子(61)与其内部的转轴(6)固定连接，所述马达壳体(1)位于转轴(6)和转子(61)之间并与外壳(5)位置固定，所述灌封胶(3)位于马达壳体(1)内部并将马达壳体(1)内部的电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)和上径向传感器(17)包裹，两个线圈(8)分别位于灌封胶(3)的上下两端，所述线圈(8)与用于发出预警信息的预警装置和电源电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种预警分子泵，其特征在于：所述线圈(8)为平面涡旋的线圈。
3.根据权利要求1所述的一种预警分子泵，其特征在于：所述预警装置为发光元件、发声装置和/或电学表头。
4.根据权利要求1所述的一种预警分子泵，其特征在于：所述预警装置为传感器，所述传感器与控制装置电性连接，所述控制装置与计算机和/或声光报警设备电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种预警分子泵，其特征在于：所述线圈(8)为金属导线或石墨烯导线。
6.根据权利要求5所述的一种预警分子泵，其特征在于：还包括圆筒(2)，所述圆筒(2)位于灌封胶(3)内部并与灌封胶(3)固定连接，所述转轴(6)穿过圆筒(2)内部，所述圆筒(2)的材质为聚四氟乙烯；所述圆筒(2)外侧形成有多个凸起(22)，所述凸起(22)嵌入灌封胶(3)中。
7.根据权利要求1所述的一种预警分子泵，其特征在于：所述上径向传感器(17)、上径向磁轴承(16)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)和下径向传感器(13)从上到下沿直线排布，所述上径向传感器(17)、上径向磁轴承(16)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)和下径向传感器(13)中相邻的两个部件...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉宽，王占杰，
申请(专利权)人：上海富玖帕精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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