一种分子泵制造技术

本发明专利技术涉及一种分子泵，外壳内部与静叶片固定连接，转子位于外壳内部，转子与其内部的转轴固定连接，马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，灌封胶位于马达壳体内部并将马达壳体内部的电机定子、下径向磁轴承、下径向传感器、上径向磁轴承和上径向传感器包裹，圆筒位于灌封胶内部并与灌封胶固定连接，转轴穿过圆筒内部。本发明专利技术通过将聚四氟乙烯制成的圆筒设置在灌封胶内壁，避免腐蚀性气体直接与灌封胶内壁接触，减少了腐蚀性气体对灌封胶的腐蚀；圆筒与灌封胶粘接固定并通过凸起嵌入灌封胶中，提高了灌封胶和圆筒结合的紧密性，避免了圆筒和灌封胶发生转动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及分子泵领域，尤其是一种分子泵。

技术介绍

1、分子真空泵(分子泵)因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。

2、在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。这些应用中，分子泵经常需要抽除腐蚀性气体，腐蚀性气体会与马达壳体内的灌封胶反应。当灌封胶被腐蚀穿透后，腐蚀性气体会与灌封胶内的部件接触，造成部件(尤其是各个部件的金属线圈)被腐蚀损坏。当上述部件损坏后，正在高转速转动的转子突然过度位移或突然停止动力输入，造成转子等损坏(即炸机)，使分子泵造成不可修复的损伤。

3、同时，由于转子和转轴的转速极高，会造成灌封胶受热较多，长时间使用后会造成灌封胶内壁向内膨胀，影响转轴的转动。隐藏需要工作人员定期将灌封胶内壁车削掉部分灌封胶，以扩大内径到原有水平。

4、灌封胶在灌封时，轴承等部件内需要插入圆棒来限制灌封胶的内径，在灌封胶凝固后，圆棒和灌封胶的分离较为困难。

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【技术保护点】

1.一种分子泵，其特征在于，包括：马达壳体(1)、圆筒(2)、灌封胶(3)、外壳(5)、转轴(6)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)、上径向传感器(17)、静叶片(51)和转子(61)，所述外壳(5)内部与静叶片(51)固定连接，所述转子(61)位于外壳(5)内部，所述转子(61)与其内部的转轴(6)固定连接，所述马达壳体(1)位于转轴(6)和转子(61)之间并与外壳(5)位置固定，所述灌封胶(3)位于马达壳体(1)内部并将马达壳体(1)内部的电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)和上径向传感器...

【技术特征摘要】

1.一种分子泵，其特征在于，包括：马达壳体(1)、圆筒(2)、灌封胶(3)、外壳(5)、转轴(6)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)、上径向传感器(17)、静叶片(51)和转子(61)，所述外壳(5)内部与静叶片(51)固定连接，所述转子(61)位于外壳(5)内部，所述转子(61)与其内部的转轴(6)固定连接，所述马达壳体(1)位于转轴(6)和转子(61)之间并与外壳(5)位置固定，所述灌封胶(3)位于马达壳体(1)内部并将马达壳体(1)内部的电机定子(11)、下径向磁轴承(12)、下径向传感器(13)、上径向磁轴承(16)和上径向传感器(17)包裹，所述圆筒(2)位于灌封胶(3)内部并与灌封胶(3)固定连接，所述转轴(6)穿过圆筒(2)内部。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于：所述圆筒(2)的材质为聚四氟乙烯。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于：所述圆筒(2)外侧形成有多个凸起(22)，所述凸起(22)嵌入灌封胶(3)中。

4.根据权利要求3所述的一种分子泵，其特征在于：所述凸起(22)为球面凸起；所述凸起(22)做点阵排布。

5.根据权利要求3所述的一种分子泵，其特征在于：所述凸起(22)为板状凸起，所述凸起(22)做圆周均匀排布。

6.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于：所述圆筒(2)上下分别形成有法兰环(21)。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于：所述上径向传感器(17)、上径向磁轴承(16)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)和下径向传感器(13)从上到下沿直线排布，所述上径向传感器(17)、上径向磁轴承(16)、电机定子(11)、下径向磁轴承(12)和下径向传感器(13)中相邻的两个部件之间设置有支架(14)，所述上径向传感器(17)、上径向磁轴承(16)、电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉宽，王占杰，
申请(专利权)人：上海富玖帕精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：