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本发明涉及一种分子泵，外壳内部与静叶片固定连接，转子位于外壳内部，转子与其内部的转轴固定连接，马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，灌封胶位于马达壳体内部并将马达壳体内部的电机定子、下径向磁轴承、下径向传感器、上径向磁轴承和上径向传感...
该专利属于上海富玖帕精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海富玖帕精密设备有限公司授权不得商用。

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