【技术实现步骤摘要】
一种分子泵转子内部压力平衡机构
[0001]本专利技术涉及分子泵
,具体为一种分子泵转子内部压力平衡机构
。
技术介绍
[0002]分子泵是一种常用的真空获得设备,其内部成型有腔室,在腔室中安装有高转速马达,工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩,并将压缩的气体获得定向速度至排气口排出,其中分子泵的转子是将气体分子压缩的重要部件
。
[0003]目前,现有的分子泵的转子中部开设有空腔与加工件进行连通,其作用是使得转子的内部与转子的外部压力处于平衡状态,同时将加工件在加工时出于真空状态,一旦分子泵的转子的内部压力小于转子的外部压力时,分子泵的转子在压力作用下在转动的过程中会存在抖动的现象,同时造成转子与转轴之间的碰撞磨损,减小分子泵中转子的使用寿命,但是,由于分子泵的转子空腔连接工件的空腔,使得后续分子泵在工作过程中,转子空腔中的微粒可能会在空气流动下回流至工件的空腔中,影响工件加工的质量,鉴于此,我们提出一种分子泵转子内部压力平衡机构
。
技术实现思路
[0004]本专利技术的主要目的是提供一种分子泵转子内部压力平衡机构,能够解决上述
技术介绍
中所提出的问题
。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提出的分子泵转子内部压力平衡机构,包括泵壳体,所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机,所述电机的输出轴上固定连接有输气装置,所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件,所述输气装置的内部设置有抬升装置,所述防护通气组件包括:
[0006]防护盖,所述 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种分子泵转子内部压力平衡机构,包括泵壳体
(1)
,其特征在于:所述泵壳体
(1)
的内部可拆卸连接有电机
(2)
,所述电机
(2)
的输出轴上固定连接有输气装置
(3)
,所述输气装置
(3)
的顶部固定连接有防护通气组件
(4)
,所述输气装置
(3)
的内部设置有抬升装置
(5)
,所述防护通气组件
(4)
包括:防护盖
(41)
,所述防护盖
(41)
设置在输气装置
(3)
的顶部;环形防尘网
(42)
,所述环形防尘网
(42)
固定连接在防护盖
(41)
的下侧;及限位环
(43)
,所述限位环
(43)
固定连接在环形防尘网
(42)
远离防护盖
(41)
的一侧
。2.
根据权利要求1所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构,其特征在于:所述输气装置
(3)
包括转轴
(31)
,所述转轴
(31)
固定连接在电机
(2)
的输出轴上,所述转轴
(31)
的外壁上设置有密封圈
(32)
,所述转轴
(31)
远离电机
(2)
的输出轴一端可拆卸连接有转子
(33)
,所述转子
(33)
的外壁上固定连接有动叶片
(34)。3.
根据权利要求2所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构,其特征在于:所述转轴
(31)
远离防护盖
(41)
的一端开设有安装孔
(331)
,所述安装孔
(331)
的直径与转轴
(31)
的直径相匹配
。4.
根据权利要求2所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构,其特征在于:所述转子
(33)
的内壁中开设有内槽
(332)
,所述限位环
(43)
滑动连接在内槽
(332)
中,所述内槽
(332)
...
【专利技术属性】
技术研发人员:王占杰,
申请(专利权)人:上海富玖帕精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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