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一种分子泵转子内部压力平衡机构制造技术
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文档序号:39717863
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本发明属于分子泵技术领域,具体涉及一种分子泵转子内部压力平衡机构,包括泵壳体,所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机,所述电机的输出轴上固定连接有输气装置,所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件,所述输气装置的内部设置有抬升装置
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该专利属于上海富玖帕精密设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海富玖帕精密设备有限公司授权不得商用。
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