一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台技术方案

本实用新型专利技术提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，包括：温度传感器组，位于光源灯室内，所述温度传感器组包括阳极温度传感器

【技术实现步骤摘要】
一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台


[0001]本技术涉及半导体
，特别是涉及一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台
。

技术介绍

[0002]半导体机台光源可以应用于晶圆加工的场景中
。
由于光源在工作时会产生一定的温度，导致光源自身温度升高
。
当光源的温度达到一定的程度后，半导体机台的测试数据会产生异常，无法继续对晶圆进行加工
。
当温度过高时，也可能会出现爆灯的情况，半导体机台的加工环境被污染，晶圆表面受到影响，导致晶圆报废
。
此时工作人员会手动调节冷却管道的调节阀，进而调节冷却介质的流量，以对光源进行降温
。
采用这种方式对光源的温度进行调节，在一定程度上会影响晶圆的加工效率
。
因此，存在待改进之处
。

技术实现思路

[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，能够实时调节光源的温度
。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种半导体机台灯源的温度调节系统，包括：
[0005]温度传感器组，位于光源灯室内，所述温度传感器组包括阳极温度传感器
、
阴极温度传感器以及灯室温度传感器；
[0006]处理器，其输入端电连接于所述温度传感器组的输出端；
[0007]控制器，其输入端电连接于所述处理器的输出端，所述控制器通过电机组与调节阀组相连，所述调节阀组设于冷却管道组上，所述冷却管道组与所述光源灯室相通；以及
[0008]电源，分别电连接所述温度传感器组
、
所述处理器以及所述控制器
。
[0009]在本技术一实施例中，还包括信号放大器，所述信号放大器电连接于所述温度传感器组与所述处理器之间
。
[0010]在本技术一实施例中，所述阳极温度传感器位于光源的阳极部分上，所述阴极温度传感器位于所述光源的阴极部分上，所述灯室温度传感器位于所述光源灯室内
。
[0011]在本技术一实施例中，所述阳极温度传感器
、
阴极温度传感器以及灯室温度传感器分别通过所述信号放大器电连接所述处理器的输入端
。
[0012]在本技术一实施例中，所述电机组包括阳极电机与阴极电机，所述调节阀组包括阳极调节阀与阴极调节阀，所述冷却管道组包括阳极管道与阴极管道，所述阳极电机的输出端与所述阳极调节阀相连，所述阳极调节阀位于所述阳极管道上，所述阳极管道与光源的阳极部分连通，所述阴极电机的输出端与所述阴极调节阀相连，所述阴极调节阀位于所述阴极管道上，所述阴极管道与所述光源的阴极部分连通
。
[0013]在本技术一实施例中，所述控制器包括：
[0014]阳极交流接触器，电连接于所述处理器与阳极电机之间；以及
[0015]阴极交流接触器，电连接于所述处理器与阴极电机之间
。
[0016]在本技术一实施例中，所述阳极电机与所述阴极电机分别通过熔断器电连接所述电源
。
[0017]在本技术一实施例中，还包括控制开关，所述控制开关电连接于所述处理器与光源之间
。
[0018]在本技术一实施例中，所述控制开关包括：开关与中间继电器，所述处理器的输出端分别与所述开关与所述中间继电器的一端并联，所述开关的另一端电连接光源的一端，所述光源的另一端与所述中间继电器的一端并联后电连接所述处理器
。
[0019]本技术还提供一种半导体机台，包括所述的半导体机台灯源的温度调节系统
。
[0020]如上所述，本技术提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，通过实时对光源的温度进行监控，意想不到的效果是能够有效控制光源的温度，防止温度过高对光源造成损伤，进而能够在一定程度上提升晶圆的加工效率
。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0022]图1显示为本技术的一种半导体机台灯源的温度调节系统的示意图；
[0023]图2显示为本技术的一种半导体机台灯源的温度调节系统的电路图
。
[0024]元件标号说明：
[0025]100、
电源；
200、
温度传感器组；
210、
阳极温度传感器；
220、
阴极温度传感器；
230、
灯室温度传感器；
300、
信号放大器；
400、
处理器；
500、
控制器；
510、
阳极交流接触器；
520、
阴极交流接触器；
600、
控制开关；
610、
开关；
620、
中间继电器；
700、
电机组；
710、
阳极电机；
720、
阴极电机；
730、
熔断器；
800、
光源；
900、
调节阀组
。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0027]本技术提供了一种半导体机台，其可用于对晶圆进行加工，半导体机台可以包括机台主体
、
光源灯室
、
冷却管道组
、
调节阀组
900、
电机组
700
以及半导体机台灯源的温度调节系统
。
其中，光源灯室可设于机台主体内，以对晶圆进行加工
。
冷却管道组可以设于机台主体上，且与光源灯室连通，可以通过冷却管道组向光源灯室中通入冷却介质，以实现对光源灯室中光源的降温
。
光源可以为氙气灯
、
卤素强光灯等
。
调节阀组
900
可以分别设于冷却管道组上，以控制冷却管道组中冷却介质的流量
。
电机组
700
可以分别与调节阀组
900
相连，可通过电机组带动调节阀组
900
转动
。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，包括：温度传感器组，位于光源灯室内，所述温度传感器组包括阳极温度传感器
、
阴极温度传感器以及灯室温度传感器；处理器，其输入端电连接于所述温度传感器组的输出端；控制器，其输入端电连接于所述处理器的输出端，所述控制器通过电机组与调节阀组相连，所述调节阀组设于冷却管道组上，所述冷却管道组与所述光源灯室相通；以及电源，分别电连接所述温度传感器组
、
所述处理器以及所述控制器
。2.
根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，还包括信号放大器，所述信号放大器电连接于所述温度传感器组与所述处理器之间
。3.
根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述阳极温度传感器位于光源的阳极部分上，所述阴极温度传感器位于所述光源的阴极部分上，所述灯室温度传感器位于所述光源灯室内
。4.
根据权利要求2所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述阳极温度传感器
、
阴极温度传感器以及灯室温度传感器分别通过所述信号放大器电连接所述处理器的输入端
。5.
根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述电机组包括阳极电机与阴极电机，所述调节阀组包括阳...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭志勇，程长青，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：