一种铝镜真空溅射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于铝镜生产技术领域，公开了一种铝镜真空溅射装置，该装置包括充气阀；内板机构，其位于所述充气阀的下方，用于对气流进行初步缓冲与疏散；外板机构，其位于所述内板机构的下方，用于对气流进行二次限位以及缓冲疏散；进风口，其位于所述充气阀的内部，用于输送气流

【技术实现步骤摘要】
一种铝镜真空溅射装置


[0001]本技术涉及铝镜生产
，具体为一种铝镜真空溅射装置
。

技术介绍

[0002]磁控溅射铝镜生产线生产过程中，其前
、
后真空室在每个生产节拍均需抽真空1次
、
破真空恢复大气压1次，玻璃板才能进
、
出真空镀膜室，完成连续生产，为提高产量，缩短生产节拍的时间，充气阀的口径一般做得较大，目前，气流采用直接进入真空室的方式经充气阀充入真空室，遇气流速度高
、
冲击力大的情况出现，极易造成玻璃板破碎的事故出现，此时整条生产线就要停机，打开真空室，将碎玻璃彻底清理干净后才能恢复生产，上述事故的发生一方面造成生产过程的中断，影响产量和产品的质量，并造成原材料的浪费和生产成本的上升；
[0003]例如申请号“CN201320482005.3”公开了一种磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置，包括充气阀
、
内分流槽
、
内分流槽端板
、
外分流槽以及外分流槽端板，其中充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大；内分流槽两侧及底面的除正对充气口位置之外的位置上钻有若干小孔，小孔的总面积大于充气阀的过流口面积；外分流槽两侧及底面钻有若干小孔，小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积；内
、
外分流槽焊接在充气口上，其端板分别焊在内
、
外分流槽的两端并分别钻有小孔；内
、
外分流槽的小孔互相错开，本技术的磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置可有效降低真空室内进气的流速，避免破真空在充气时形成过激烈的冲击导致玻璃板破碎，进而导致停机事故的发生，但是该充气装置还是存在以下问题：
[0004]该充气装置通过设置多个出气口而进行分流工作，但是出气口之间没有任何缓冲结构，单纯依靠出气口缓冲效果有限，且会优先对中心区域的出气口进行出气，而两侧的出气口的出气效果有限，使得出气不均匀
。
[0005]针对上述问题，在原有的溅射装置的基础上进行创新设计
。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种铝镜真空溅射装置，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的溅射装置在进行充气时出气不均匀，缓冲效果有限问题
。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种铝镜真空溅射装置，包括：
[0008]充气阀；
[0009]内板机构，其位于所述充气阀的下方，用于对气流进行初步缓冲与疏散；
[0010]外板机构，其位于所述内板机构的下方，用于对气流进行二次限位以及缓冲疏散；
[0011]进风口，其位于所述充气阀的内部，用于输送气流；
[0012]所述内板机构还包括：
[0013]第一内板，其位于所述进风口的下方，所述第一内板的中心点与所述进风口的中心点重合；
[0014]倾斜板，其位于所述第一内板的内侧，所述倾斜板对称分布在所述第一内板的中心线两侧，所述倾斜板三个为一组，所述倾斜板从中心朝向两侧逐渐延长；
[0015]第一出风口，其位于所述第一内板的下方，所述第一出风口均匀等距分布在所述第一内板的下方
。
[0016]优选的，所述第一内板的内侧还连接有固定板，所述固定板的两侧还设置有活动板，所述活动板的下方连接有转动杆，所述第一内板的中心点与所述固定板的中心点重合，所述活动板通过所述转动杆与所述第一内板构成转动结构，所述转动杆的两侧连接有扭簧
。
[0017]优选的，所述外板机构还包括：
[0018]第二内板，其位于所述第一内板的外侧，所述第二内板为所述第一内板的等比例放大；
[0019]第二出风口，其位于所述第二内板的下方，所述第二出风口均匀等距分布在所述第二内板的下方，所述第二出风口呈长方形结构
。
[0020]优选的，所述第二内板的上方还连接有真空室，所述第二内板与所述真空室呈一体化安装，所述真空室与所述第一内板呈一体化安装
。
[0021]优选的，所述第二出风口的内侧还连接有密封橡胶，所述密封橡胶的内侧连接有移动管，所述移动管的两侧连接有连接杆，所述移动管通过所述连接杆与所述第二出风口构成转动结构，所述连接杆的两侧连接有扭簧
。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0023]1、
通过在充气阀的下方设置有内板机构，利用固定板进行初步的气流缓冲，且在固定板的两侧设置有活动板，活动板会受到气流速度的影响对中心区域的第一出气口进行限位，气流冲击速度越大第一出气口的出气量越少，保证中心区域的第一出气口与四周区域的第二出气口一致，且对气流进行缓冲工作；
[0024]2、
通过在内板机构的外侧设置有外板机构，在第二内板的底部均匀等距设置有多个移动管，移动管同样受到气流冲击力的影响，气流冲击力越大中心的移动管就会朝向两侧进行转动，从而保证中心区域的铝镜受到的气流冲击与四周的气流冲击一致，提高溅射效率
。
附图说明
[0025]图1为本技术整体正视结构示意图；
[0026]图2为本技术第一内板俯视结构示意图；
[0027]图3为本技术第二内板俯视结构示意图；
[0028]图4为本技术移动管俯视结构示意图；
[0029]图5为本技术图1中
A
处放大结构示意图
。
[0030]图中：
1、
充气阀；
2、
内板机构；
201、
第一内板；
202、
倾斜板；
203、
第一出风口；
204、
固定板；
205、
活动板；
206、
转动杆；
3、
外板机构；
301、
第二内板；
302、
移动管；
303、
连接杆；
304、
密封橡胶；
305、
第二出风口；
4、
进风口；
5、
真空室
。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0032]请参阅图1‑5，一种铝镜真空溅射装置，包括：
[0033]充气阀1；
[0034]内板机构2，其位于充气阀1的下方，用于对气流进行初步缓冲与疏散；
[0035]外板机构3，其位于内板机构2的下方，用于对气流进行二次限位以及缓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种铝镜真空溅射装置，其特征在于，包括：充气阀（1）；内板机构（2），其位于所述充气阀（1）的下方，用于对气流进行初步缓冲与疏散；外板机构（3），其位于所述内板机构（2）的下方，用于对气流进行二次限位以及缓冲疏散；进风口（4），其位于所述充气阀（1）的内部，用于输送气流；所述内板机构（2）还包括：第一内板（
201
），其位于所述进风口（4）的下方，所述第一内板（
201
）的中心点与所述进风口（4）的中心点重合；倾斜板（
202
），其位于所述第一内板（
201
）的内侧，所述倾斜板（
202
）对称分布在所述第一内板（
201
）的中心线两侧，所述倾斜板（
202
）三个为一组，所述倾斜板（
202
）从中心朝向两侧逐渐延长；第一出风口（
203
），其位于所述第一内板（
201
）的下方，所述第一出风口（
203
）均匀等距分布在所述第一内板（
201
）的下方
。2.
根据权利要求1所述的一种铝镜真空溅射装置，其特征在于：所述第一内板（
201
）的内侧还连接有固定板（
204
），所述固定板（
204
）的两侧还设置有活动板（
205
），所述活动板（
205
）的下方连接有转动杆（
206
），所述第一内板（
201
）的中心点与所述固定板（
204
）的中心点重合，所述活动板（
205
）通过所述转动杆（
206
）与所述第一内板（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵金华，
申请(专利权)人：潍坊福莱英玻璃科技有限公司，
类型：新型
国别省市：