一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置，包括偏压电源，所述偏压电源的负极连接真空绝缘电引入端子，所述真空绝缘电引入端子连接支撑杆，所述支撑杆的上端位置处连接有辅助阳极板，所述支撑杆的下端位置处设置有绝缘座，所述支撑杆的左右两侧位置处分别设置有磁控靶

【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置


[0001]本技术属于卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置相关
，具体涉及一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置
。

技术介绍

[0002]卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置是一种用于辅助阳极电流传输和控制的装置，在卷对卷磁控溅射真空镀膜机中，阳极是一个重要的部件，它通过电流传输来控制溅射过程中的离子轰击和电子释放，辅助阳极装置则可以帮助阳极更好地发挥作用，辅助阳极装置通常由多个电极组成，这些电极可以分别与阳极相连，形成一个电路，辅助阳极装置的主要作用是增强阳极电流的传输和控制，从而提高溅射过程的效率和稳定性，同时，辅助阳极装置还可以帮助减少阳极的热量和电压波动，从而延长阳极的使用寿命
。
[0003]基膜的厚度在十微米以下，当基膜表面镀上金属膜层后就会与设备腔体形成同电位的导体，这样磁控靶产生的有害带电粒子就会跑向基膜，因为基膜的厚度比较薄，就会很容易造成基膜被击穿和断膜现象
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种卷对卷磁控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置，其特征在于，包括偏压电源（5），所述偏压电源（5）的负极连接真空绝缘电引入端子（4），所述真空绝缘电引入端子（4）连接支撑杆（2），所述支撑杆（2）的上端位置处连接有辅助阳极板（1），所述支撑杆（2）的下端位置处设置有绝缘座（3），所述支撑杆（2）的左右两侧位置处分别设置有磁控靶
A
（6）和磁控靶
B
（7）
。2.
根据权利要求1所述的一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置，其特征在于：所述磁控靶
A
（6）和磁控靶
B
（7）为阴极，所述辅助阳极板（1）位于磁控靶
A
（6）和磁控靶
B
（7）的前侧位置处，所述磁控靶
A
（6）布置为
NSN
，所述磁控靶
B
（7）布置为
SNS
，所述磁控靶
A
（6）和磁控靶
B
（7）与辅助阳极板（1）形成一个闭合磁场进而约束磁控产生的有害电子
。3.
根据权利要求2所述的一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置，其特征在于：所述辅助阳极板（1）通过磁场约束和负偏压的作用让磁控靶
A
（6）和磁控靶
B
（7）工作时产生的电子完全跑向辅助阳极板（1）而不跑向基膜对基膜形成保护作用
。4.
根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：成林，
申请(专利权)人：昆山浦元真空技术工程有限公司，
类型：新型
国别省市：