下载一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置的技术资料

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本实用新型公开了一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置,包括偏压电源,所述偏压电源的负极连接真空绝缘电引入端子,所述真空绝缘电引入端子连接支撑杆,所述支撑杆的上端位置处连接有辅助阳极板,所述支撑杆的下端位置处设置有绝缘座,所述支撑杆的左...
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