一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构，涉及薄膜制备技术领域，包括安装轴

【技术实现步骤摘要】
一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备


[0001]本技术涉及薄膜制备
，更具体的说，本技术涉及一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备
。

技术介绍

[0002]目前柔性导电材料在电子
、
屏蔽
、
电容
、
汽车
、
新能源
、
航天行业得到广泛应用，磁控溅射拥有镀层纯度
、
致密性
、
均匀性
、
牢固度更好的优点
。
[0003]但是，现有生产工艺中，由于靶材轴头不会转动，护罩也不会转动，这样的话，当磁控溅射时，因为护罩不会转动，那护罩朝向溅射腔体内的一个固定的地方，会始终被溅射金属，并且金属层会越来越多，越来越厚，最终导致金属层将第一绝缘环部分覆盖，使护罩与轴头导通，进而导致阴极靶材与阳极腔板导通，导致短路
、
膜面孔洞
。
[0004]因此需要一种新的方案，来解决此问题
。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术的不足，本技术提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备
。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种靶材环形卡扣保护罩结构，其改进之处在于：包括安装轴
、
两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣
、
护罩<br/>、
第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；
[0007]两个第一绝缘环分别套设于两个轴头上，护罩固定于卡扣上，对卡扣
、
第一绝缘环和第一轴承进行覆盖，第一轴承设于第一绝缘环和护罩之间，使护罩和第一绝缘环相对转动
。
[0008]在上述结构中，所述的护罩向远离安装轴的方向延伸，使护罩可以覆盖轴头
。
[0009]在上述结构中，所述的护罩的远安装轴的端部的内径，由近安装轴至远安装轴的方向逐渐增大，形成喇叭口，护罩的远安装轴的端部的内部形成斜边
。
[0010]在上述结构中，所述的轴头与安装轴之间设有第二轴承，使安装轴和轴头相对转动
。
[0011]在上述结构中，所述的轴头通过卡环固定于真空腔体的腔板上，卡环形成对轴头的支撑
。
[0012]在上述结构中，所述的轴头与第二轴承之间，设有第二绝缘环
。
[0013]在上述结构中，所述的安装轴的一端安装有驱动机构，该驱动机构驱动安装轴转动
。
[0014]在上述结构中，所述的卡扣包括两个拼接连接的半圆环的卡扣部
。
[0015]在上述结构中，所述的护罩包括两个拼接连接的半圆环的护罩部
。
[0016]本技术还提供了一种磁控溅射真空镀膜设备，包括所述的靶材环形卡扣保护罩结构，该靶材环形卡扣保护罩结构设于真空腔体内
。
[0017]本技术的有益效果是：使护罩和第一绝缘环可以相对转动，实现了溅射镀膜过程中，当靶材转动时，护罩可以跟随卡扣与靶材一起转动，避免了溅射出去的金属靶材将第一绝缘环的部分覆盖而导致护罩与轴头导通
。
附图说明
[0018]附图1为本技术的一种靶材环形卡扣保护罩结构的整体结构示意图
。
[0019]附图2为本技术的一种靶材环形卡扣保护罩结构中将护罩和第一轴承进行爆炸后的爆炸结构示意图
。
[0020]附图3为图2中爆炸后的保护模块的放大图示意图
。
[0021]附图4为本技术的一种靶材环形卡扣保护罩结构的剖视图结构示意图
。
[0022]附图5为图4中的保护模块的放大图示意图
。
[0023]附图6为轴头与第二轴承和第二绝缘环的结构图示意图
。
[0024]其中，
1、
安装轴；
2、
轴头；
3、
保护模块；
4、
卡扣；
5、
护罩；
6、
第一绝缘环；
7、
第一轴承；
8、
斜边；
9、
第二轴承；
10、
第二绝缘环
。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明
。
[0026]以下将结合实施例和附图对本技术的构思
、
具体结构及产生的技术效果进行清楚
、
完整地描述，以充分地理解本技术的目的
、
特征和效果
。
显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围
。
另外，专利中涉及到的所有联接
/
连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构
。
本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合
。
[0027]结合图1和图4所示，本技术提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构，包括安装轴
1、
两个轴头2和两个相同的保护模块3，靶材套设于安装轴1上，轴头2设于安装轴1的左右两端，两个保护模块3分别设于安装轴1的两端，例如可以设于靶材与轴头2之间，保护模块3包括卡扣
4、
护罩
5、
第一绝缘环6和第一轴承7，结合图
1、
图
2、
图
3、
图4和图5所示，两个卡扣4固定套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴1上的位置固定
(
本实施例中的靶材是中空圆柱形靶材
)
；两个第一绝缘环6分别固定套设于两个轴头2上，护罩5固定于卡扣4上，对卡扣
4、
第一绝缘环6和第一轴承7进行覆盖，并且第一绝缘环6可以避免护罩5与轴头2导通，第一轴承7设于第一绝缘环6和护罩5之间，使护罩5和第一绝缘环6可以相对转动，这样的话，溅射镀膜时，当靶材转动，护罩5可以跟随卡扣4与靶材一起转动，避免溅射出去的金属靶材将第一绝缘环6的部分覆盖而导致护罩5与轴头2导通，从而避免阴极靶材与阳极腔板导通导致的短路
、
膜面孔洞
。
[0028]轴头2可以是圆形的
。
[0029]镀膜时，靶材与安装轴1导通，安装轴1与卡扣4导通，卡扣4与护罩5导通，轴头2与
腔板导通
。
如果护罩5与轴头2导通了，那本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：包括安装轴
、
两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣
、
护罩
、
第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；两个第一绝缘环分别套设于两个轴头上，护罩固定于卡扣上，对卡扣
、
第一绝缘环和第一轴承进行覆盖，第一轴承设于第一绝缘环和护罩之间，使护罩和第一绝缘环相对转动
。2.
如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的护罩向远离安装轴的方向延伸，使护罩可以覆盖轴头
。3.
如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的护罩的远安装轴的端部的内径，由近安装轴至远安装轴的方向逐渐增大，形成喇叭口，护罩的远安装轴的端部的内部形成斜边
。4.
如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧伟，
申请(专利权)人：深圳市镭煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：