一种纸质容器内镀真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纸质容器内镀真空镀膜设备，包括真空腔体、真空腔座与电源，所述真空腔体安装在真空腔座的上端位置，所述真空腔座的中部位于真空腔体内部的位置定位有密封卡座，所述密封卡座内侧定位有纸瓶，所述真空腔座的底部中部定位有绝缘密封座，所述绝缘密封座内壁卡合定位有电极棒，且电极棒位于纸瓶的内部，所述电源与电极棒、真空腔座的位置连接，所述真空腔体与真空腔座之间定位有密封定位器，所述真空腔体的外侧连接有抽气管。本实用新型专利技术所述的一种纸质容器内镀真空镀膜设备，使用纸质容器容易在自然环境中降解，而且成本低廉，提高纸质容器的阻隔性能，使纸质容器得到更广泛的使用。器得到更广泛的使用。器得到更广泛的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种纸质容器内镀真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜设备领域，特别涉及一种纸质容器内镀真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备是一种进行薄膜成型的支撑设备，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，随着科技的不断发展，人们对于真空镀膜设备的制造工艺要求也越来越高。
[0003]现有的真空镀膜设备在使用时存在一定的弊端，现有的很多家化用品都是用塑料制品做容器，这些塑料制品在大自然环境中很难自然降解，造成环境污染，给实际的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种纸质容器内镀真空镀膜设备。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种纸质容器内镀真空镀膜设备，使用纸质容器容易在自然环境中降解，而且成本低廉，提高纸质容器的阻隔性能，使纸质容器得到更广泛的使用，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种纸质容器内镀真空镀膜设备，包括真空腔体、真空腔座与电源，所述真空腔体安装在真空腔座的上端位置，所述真空腔座的中部位于真空腔体内部的位置定位有密封卡座，所述密封卡座内侧定位有纸瓶，所述真空腔座的底部中部定位有绝缘密封座，所述绝缘密封座内壁卡合定位有电极棒，且电极棒位于纸瓶的内部，所述电源与电极棒、真空腔座的位置连接。
[0008]优选的，所述真空腔体与真空腔座之间定位有密封定位器，所述真空腔体的外侧连接有抽气管，所述抽气管的一端安装有抽气真空泵，所述抽气真空泵上连接有气体监测器，所述抽气真空泵的出口处定位有出气管，所述出气管上定位有阀座，所述阀座上活动设置有阀体。
[0009]优选的，所述真空腔座上连接有硅烷进气通道，所述硅烷进气通道连接有进气泵、储气箱与流量监测器，所述流量监测器与硅烷进气通道之间连接有流量监测探头，所述储气箱上定位有进气管。
[0010]优选的，所述真空腔体与真空腔座之间通过密封定位器密封定位，所述真空腔体与抽气真空泵之间通过抽气管连接，所述气体监测器监测抽气真空泵内部气体，所述阀体控制出气管内部流量。
[0011]优选的，所述真空腔座与硅烷进气通道之间贯通连接，所述硅烷进气通道与进气泵、储气箱之间贯通连接，所述流量监测器监测硅烷进气通道内部流量。
[0012]优选的，所述纸瓶通过密封卡座与真空腔座之间卡合定位，所述电极棒通过绝缘密封座与真空腔座之间卡合定位。
[0013]（三）有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种纸质容器内镀真空镀膜设备，具备以下有益效果：该一种纸质容器内镀真空镀膜设备，使用纸质容器容易在自然环境中降解，而且成本低廉，提高纸质容器的阻隔性能，使纸质容器得到更广泛的使用，通过PECVD工艺在纸质容器内壁沉积一层SiO2膜层，可以提高纸质容器的阻隔性能，使纸质容器得到更广泛的使用，本设备由真空腔体、抽真空的真空泵组、纸质容器装夹治具、电极棒、电源、工作气体供应系统、电控系统等部分组成，真空腔体分上下两部分，下部为腔体底座、纸质容器装夹治具、工作气体进气口、电极棒安装座。上部为腔体钟罩，真空泵的抽气口连接在钟罩上，钟罩可采用气缸上下自动升降打开和关闭，真空泵组由高真空+低真空两级组成，高真空采用涡轮分子泵，低真空采用双级直联泵，配真空阀门和金属软管连接，电极棒安装在腔体底座上，配有绝缘密封座让电极棒与真空腔体绝缘，电极棒的一端引出真空腔体外面与电源连接。电极棒的另一端向上伸入纸质容器的内部，整个真空镀膜设备结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。
附图说明
[0015]图1为本技术一种纸质容器内镀真空镀膜设备的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种纸质容器内镀真空镀膜设备中真空腔体的结构示意图。
[0017]图3为本技术一种纸质容器内镀真空镀膜设备中硅烷进气通道的结构示意图。
[0018]图中：1、真空腔体；2、抽气管；3、抽气真空泵；4、流量监测器；5、进气管；6、储气箱；7、进气泵；8、绝缘密封座；9、电源；10、真空腔座；11、密封定位器；12、密封卡座；13、电极棒；14、纸瓶；15、气体监测器；16、阀体；17、出气管；18、阀座；19、流量监测探头；20、硅烷进气通道。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图和具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本技术，而不应视为限制本技术的范围。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]如图1
‑
3所示，一种纸质容器内镀真空镀膜设备，包括真空腔体1、真空腔座10与电源9，真空腔体1安装在真空腔座10的上端位置，真空腔座10的中部位于真空腔体1内部的位置定位有密封卡座12，密封卡座12内侧定位有纸瓶14，真空腔座10的底部中部定位有绝缘密封座8，绝缘密封座8内壁卡合定位有电极棒13，且电极棒13位于纸瓶14的内部，电源9与电极棒13、真空腔座10的位置连接，使用纸质容器容易在自然环境中降解，而且成本低廉，提高纸质容器的阻隔性能，使纸质容器得到更广泛的使用。
[0023]进一步的，真空腔体1与真空腔座10之间定位有密封定位器11，真空腔体1的外侧连接有抽气管2，抽气管2的一端安装有抽气真空泵3，抽气真空泵3上连接有气体监测器15，抽气真空泵3的出口处定位有出气管17，出气管17上定位有阀座18，阀座18上活动设置有阀体16。
[0024]进一步的，真空腔座10上连接有硅烷进气通道20，硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纸质容器内镀真空镀膜设备，包括真空腔体（1）、真空腔座（10）与电源（9），其特征在于：所述真空腔体（1）安装在真空腔座（10）的上端位置，所述真空腔座（10）的中部位于真空腔体（1）内部的位置定位有密封卡座（12），所述密封卡座（12）内侧定位有纸瓶（14），所述真空腔座（10）的底部中部定位有绝缘密封座（8），所述绝缘密封座（8）内壁卡合定位有电极棒（13），且电极棒（13）位于纸瓶（14）的内部，所述电源（9）与电极棒（13）、真空腔座（10）的位置连接。2.根据权利要求1所述的一种纸质容器内镀真空镀膜设备，其特征在于：所述真空腔体（1）与真空腔座（10）之间定位有密封定位器（11），所述真空腔体（1）的外侧连接有抽气管（2），所述抽气管（2）的一端安装有抽气真空泵（3），所述抽气真空泵（3）上连接有气体监测器（15），所述抽气真空泵（3）的出口处定位有出气管（17），所述出气管（17）上定位有阀座（18），所述阀座（18）上活动设置有阀体（16）。3.根据权利要求1所述的一种纸质容器内镀真空镀膜设备，其特征在于：所述真空腔座（10）上连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：成林，
申请(专利权)人：昆山浦元真空技术工程有限公司，
类型：新型
国别省市：