卷对卷真空镀膜机及其所用的压辊装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种卷对卷真空镀膜机及其所用的压辊装置，压辊装置包括压辊和压辊支架，压辊能转动的安装于压辊支架上，压辊圆周外侧表面能紧贴镀膜主辊表面的薄膜料带，压辊轴向两端圆周外侧表面上分别设有螺旋方向相反的第一、二螺旋纹路，卷对卷真空镀膜机包括设备底座、真空腔体、抽真空系统、用于薄膜料带放卷的放卷辊、用于薄膜料带收卷的收卷辊、镀膜主辊、与镀膜主辊正对的磁控溅射靶、给薄膜料带进行清洁的离子源、能改变薄膜料带延伸方向的辅助辊、检测薄膜料带张力的张力传感器辊、压紧进入镀膜主辊表面的压辊装置和控制系统，本实用新型专利技术避免了小于10um厚度的薄膜料带在卷绕过程中因施加大的张力而造成起皱打折的现象。的现象。的现象。

【技术实现步骤摘要】
卷对卷真空镀膜机及其所用的压辊装置


[0001]本技术涉及一种真空镀膜机，特别涉及一种卷对卷真空镀膜机及其所用的压辊装置。

技术介绍

[0002]传统的卷对卷真空镀膜设备主要由真空腔体、抽真空系统和卷绕系统组成，卷绕系统是让要镀膜的薄膜类材料从放卷辊上开始放卷行走，经过若干辊筒后，在收卷辊上再次绕成整卷的过程。普通的卷绕系统由放卷辊、张力传感器辊、镀膜主辊、辅助辊和收卷辊组成。镀膜主辊、放卷辊和收卷辊都配有驱动电机，薄膜材料的行走速度由镀膜主辊控制，薄膜材料的张力由放卷辊和收卷辊两台电机的反向扭矩控制。薄膜材料包裹在镀膜主辊表面，收放卷电机给予薄膜一定的张力，这样薄膜就会靠与镀膜主辊的摩擦力带动向前行走。如果张力不够，薄膜材料就会与镀膜主辊打滑，造成薄膜材料行走速度不稳定，甚至不动，这样卷绕就会失败。如果张力设置大了，10um厚度以下的塑料薄膜就会起皱，收卷后会使薄膜材料跑偏、起皱、打折，造成薄膜材料报废。而且真空镀膜时还会产生大量的热量，薄膜材料张力过大，经过高温镀膜区也会造成薄膜材料变形，影响卷绕品质。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷，本技术提供了一种卷对卷真空镀膜机及其所用的压辊装置，该卷对卷真空镀膜机能够避免厚度在10um以下的薄膜材料进行卷对卷镀膜时产生起皱打折的现象，提高薄膜材料镀膜良品率。
[0004]本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种卷对卷真空镀膜机用压辊装置，包括压辊和压辊支架，所述压辊支架安装于真空镀膜机的真空腔体内，压辊能够转动的安装于压辊支架上，且压辊与真空镀膜机的镀膜主辊平行正对设置，压辊圆周外侧表面能够紧密的贴合于镀膜主辊表面的待镀膜的薄膜料带表面，所述压辊轴向一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第一螺旋纹路，压辊轴向另一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第二螺旋纹路，所述第一螺旋纹路和第二螺旋纹路的螺旋方向相反，且第一螺旋纹路随压辊旋转向压辊一端方向旋，第二螺旋纹路随压辊旋转向压辊另一端方向旋。
[0005]作为本技术的进一步改进，所述压辊圆周外侧表面上设有包胶层，第一螺旋纹路和第二螺旋纹路分别设于所述包胶层表面。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述第一螺旋纹路为开口方向朝向压辊一端方向倾斜的倾斜螺旋槽，第二螺旋纹路为为开口方向朝向压辊另一端方向倾斜的倾斜螺旋槽，且第一螺旋纹路与第二螺旋纹路在压辊表面对称设置。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述压辊两端分别通过轴承安装于压辊支架上。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述压辊支架为一端铰接设于真空腔体内的摆臂结构，压辊安装于压辊支架另一端上。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述压辊位于镀膜主辊正上方或斜上方，压辊在
自重作用下紧密贴合在镀膜主辊正上方或斜上方的待镀膜料带表面。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述压辊支架一端固定设于铜套，所述铜套内穿设有支撑转轴，所述支撑转轴两端分别固定安装于真空腔体内。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述压辊轴向长度大于镀膜主辊圆周外侧表面上的待镀膜的薄膜料带的幅宽，且压辊轴向两端分别伸出镀膜主辊上薄膜料带宽度方向外侧设定距离。
[0012]一种卷对卷真空镀膜机，包括设备底座、真空腔体、抽真空系统、放卷辊、收卷辊、镀膜主辊、磁控溅射靶、离子源、辅助辊、张力传感器辊、压辊装置和控制系统，所述真空腔体固定安装于设备底座上，放卷辊、收卷辊、镀膜主辊和辅助辊分别能够转动的安装于真空腔体内，薄膜料带从放卷辊上引出后绕经压力传感器辊、辅助辊和镀膜主辊表面后缠绕于收卷辊表面上，所述辅助辊分布于镀膜主辊进料侧和出料侧实现薄膜材料延伸方向的改向，两个张力传感器辊分别靠近放卷辊和收卷辊，两个张力传感器分别用于检测进入镀膜主辊前的薄膜料带和镀膜完成后的薄膜料带的张力，两个张力传感器分别与控制系统电性连接通信，离子源和磁控溅射靶沿料带输送方向顺序排列于镀膜主辊外侧并分别对镀膜主辊表面的薄膜料带表面进行离子清洗和磁控镀膜，抽真空系统给真空腔体进行抽真空，控制系统控制放卷辊、收卷辊和镀膜主辊的启停和转速，控制系统还控制离子源、磁控溅射靶和抽真空系统的启停，压辊装置上的压辊与镀膜主辊平行正对设置，待镀膜的薄膜材料紧密夹设于镀膜主辊和压辊装置的压辊圆周外侧表面之间，压辊装置的压辊轴向两端圆周外侧表面的第一螺旋纹路和第二螺旋纹路分别使薄膜材料沿宽度方向向外延展。
[0013]作为本技术的进一步改进，还包括磁控溅射靶支架，所述磁控溅射靶支架为圆弧形结构，磁控溅射靶支架固定安装于真空腔体内，磁控溅射靶支架包覆于镀膜主辊圆周外侧，若干磁控溅射靶均匀间隔的安装于磁控溅射靶支架内，磁控溅射靶支架上设有与磁控溅射靶和镀膜主辊上薄膜料带表面一一正对的磁控溅射通道，磁控溅射靶能够经所述磁控溅射通道向镀膜主辊圆周外侧表面上的薄膜料带表面进行磁溅射镀膜。
[0014]本技术的有益效果是：本技术通过在卷对卷真空镀膜机内设置压辊装置，通过在压辊装置的压辊表面形成双向螺旋纹路，使得压辊在镀膜主辊表面的薄膜料带表面的时候，薄膜料带被受螺旋纹路挤压向宽度方向两侧展平，避免了小于10um厚度的薄膜料带在卷绕过程中因施加大的张力而造成起皱打折的现象，保证了在镀膜主辊上进行镀膜的薄膜料带为展平状态，保证了薄膜材料表面进行全面、均匀的镀膜，镀膜完成的薄膜料带也可以平整的卷绕在收卷辊表面，提高了小于10um厚度的薄膜料带的镀膜质量，提高了镀膜良品率，本技术有效解决了厚度在10um以下的薄膜材料卷对卷真空镀膜的难题，特别适用目前锂电池负极集流体在4umPET薄膜材料上用磁控溅射镀铜的工艺。
附图说明
[0015]图1为本技术的卷对卷真空镀膜机的结构原理示意图；
[0016]图2为本技术的压辊装置结构原理主视图；
[0017]图3位本技术的压结构原理剖面图。
具体实施方式
[0018]实施例：一种卷对卷真空镀膜机用压辊装置，包括压辊81和压辊支架82，所述压辊支架82安装于真空镀膜机的真空腔体1内，压辊81能够转动的安装于压辊支架82上，且压辊81与真空镀膜机的镀膜主辊5平行正对设置，压辊81圆周外侧表面能够紧密的贴合于镀膜主辊5表面的待镀膜的薄膜料带11表面，所述压辊81轴向一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第一螺旋纹路83，压辊81轴向另一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第二螺旋纹路84，所述第一螺旋纹路83和第二螺旋纹路84的螺旋方向相反，且第一螺旋纹路83随压辊81旋转向压辊81一端方向旋，第二螺旋纹路84随压辊81旋转向压辊81另一端方向旋。
[0019]在镀膜主辊5圆周外侧设置压辊装置8，薄膜料带11在进行镀膜前被压辊81和镀膜主辊5夹紧，同时，由于压辊81表面上设置有旋向不同的第一螺旋纹路83和第二螺旋纹路84，压辊81在摩擦力作用下随着镀膜主辊5转动时，第一螺旋纹路83和第二螺旋纹路84分别本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：包括压辊(81)和压辊支架(82)，所述压辊支架安装于真空镀膜机的真空腔体内，压辊能够转动的安装于压辊支架上，且压辊与真空镀膜机的镀膜主辊平行正对设置，压辊圆周外侧表面能够紧密的贴合于镀膜主辊表面的待镀膜的薄膜料带表面，所述压辊轴向一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第一螺旋纹路(83)，压辊轴向另一端圆周外侧表面上设有径向凸起或凹陷的第二螺旋纹路(84)，所述第一螺旋纹路和第二螺旋纹路的螺旋方向相反，且第一螺旋纹路随压辊旋转向压辊一端方向旋，第二螺旋纹路随压辊旋转向压辊另一端方向旋。2.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊圆周外侧表面上设有包胶层(85)，第一螺旋纹路和第二螺旋纹路分别设于所述包胶层表面。3.根据权利要求1或2所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述第一螺旋纹路为开口方向朝向压辊一端方向倾斜的倾斜螺旋槽，第二螺旋纹路为为开口方向朝向压辊另一端方向倾斜的倾斜螺旋槽，且第一螺旋纹路与第二螺旋纹路在压辊表面对称设置。4.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊两端分别通过轴承(86)安装于压辊支架上。5.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊支架为一端铰接设于真空腔体内的摆臂结构，压辊安装于压辊支架另一端上。6.根据权利要求5所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊位于镀膜主辊正上方或斜上方，压辊在自重作用下紧密贴合在镀膜主辊正上方或斜上方的待镀膜料带表面。7.根据权利要求5所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊支架一端固定设于铜套(87)，所述铜套内穿设有支撑转轴(88)，所述支撑转轴两端分别固定安装于真空腔体内。8.根据权利要求1所述的卷对卷真空镀膜机用压辊装置，其特征在于：所述压辊轴向长度大于镀膜主辊圆周外侧表面上的待镀膜的薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：成林，
申请(专利权)人：昆山浦元真空技术工程有限公司，
类型：新型
国别省市：