同步移动装置和图像测量设备制造方法及图纸

一种同步移动装置，包括：装置主体；设置在装置主体内以可移动的可移动部分；进给丝杠轴，该进给丝杠轴被支撑在所述装置主体上以便可以转动并且移动所述可移动部分；与所述进给丝杠轴螺纹啮合的螺母元件；将所述可移动部分与所述螺母元件相连接的耦合器；以及电缆固定件，且支撑并导引铺设到所述可移动部分中的电缆，所述耦合器包括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二元件、以及置于第一元件和第二元件之间用于吸收在与所述进给丝杠轴的轴线正交的平面内的所述进给丝杠轴的偏转运动的中间元件；且所述电缆固定件的在将电缆铺设到可移动部分中的一侧上的端部通过连接元件连接到第二元件，并且与所述可移动部分同步移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种同步移动装置以及图像测量设备。
技术介绍
已经知道这样一种图像测量设备，该图像测量设备包括支撑在设备主体上以便可 以移动的滑动件以及安装在所述滑动件中的诸如CCD摄像机的图像捕捉单元，其中，要被 测量的物体的图像被相对于所述物体移动的图像捕捉单元所捕获，使得该物体的形状或尺 寸可以基于所捕获的图像的数据得以测量(例如，见JP-A-2006-266748)。在这种图像测量设备中，需要将电缆铺设到可移动滑动件中，用于向安装在滑动 件内的图像捕捉单元供电以及与图像捕捉单元交换信号(控制信号、图像数据信号等)的 目的。在电缆铺设到这种可移动滑动件(可移动部分)中的情况下，通常使用能够随着可移 动部分的运动而弯曲的电缆固定件，如cableveyor (注册商标)，用来支撑和导引电缆(例 如，见 JP-A-2001-224159)。Cableveyor(注册商标)具有这样的结构，其中一端(固定端)固定到设备主体 上，而另一段(活动端)固定到可移动部分上。于是，Cableveyor伴随其运动的一些状态 (behavior)，如电缆扭曲和反作用力的影响，导致测量精度降低，这是由于Cableveyor的 状态传递到可移动部分侧(图像捕捉单元)。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种同步移动装置，该装置几乎不受电缆固定件伴随其运动 的状态的影响，使得有可能防止测量精度降低，并且提供一种装备有这种同步移动装置的 图像测量设备。根据本专利技术的一个方面，提供另一种同步移动装置，该装置包括装置主体；设置 在装置主体内以可移动的可移动部分；进给丝杠轴，该进给丝杠轴被支撑在所述装置主体 上以便可以转动并且该进给丝杠轴移动所述可移动部分；螺母元件，该螺母元件与所述进 给丝杠轴螺纹啮合；耦合器，该耦合器将所述可移动部分与所述螺母元件相连接；以及电 缆固定件，该电缆固定件支撑并导引铺设到所述可移动部分中的电缆，其中所述耦合器包 括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二元件、以及置于第一元件和 第二元件之间中间元件，该中间元件用于吸收在垂直于所述进给丝杠轴的轴线的平面内的 所述进给丝杠轴的偏转运动；所述电缆固定件的在将电缆铺设到可移动部分中的一侧上的 端部通过连接元件连接到第二元件，并且与所述可移动部分同步移动。在此，用于移动所述可移动部分的进给丝杠机构由进给丝杠轴和螺母元件构成。 滚珠丝杠机构可以作为进给丝杠机构的一个例子。在这个结构中，当进给丝杠轴转动时，通 过与所述进给丝杠轴啮合的螺母元件以及耦合器，所述可移动部分被移动。由于耦合器包 括固定于可移动部分的第一元件、固定到螺母元件的第二元件以及置于第一和第二元件之 间用于吸收进给丝杠轴在与其轴线正交的平面内的偏转运动的中间元件，耦合器的该中间元件吸收了进给丝杠轴转动所带来的偏转运动(偏转)。于是，由于有进给丝杠轴的转动带 来的偏转运动(偏转)没有被传递到可移动部分，可以获得精确进给。由于电缆固定件的可移动端，S卩，电缆固定件在将电缆铺设到可移动部分中一侧 上的端部通过连接元件连接到第二元件，所述电缆固定件的可移动端也随着可移动部分的 运动而运动。即使在这种情况下在电缆固定件伴随其运动的状态传递到第二元件上，中间 元件吸收电缆固定件的这个状态以及偏转运动。于是，进给丝杠轴的偏转运动对可移动部 分的影响以及电缆固定件伴随其运动的状态对可移动部分的影响可以被同时抑制，于是， 可以防止测量精度降低。连接元件可以是引线。根据这种结构，当电缆固定件和第二元件通过引线彼此连 接时，引线的延伸方向可以相对容易改变。于是，电缆固定件和第二元件可以根据可移动部 分和电缆固定件相对于装置主体的位置而彼此连接。另外，与设置带或者链的情况相比，安 装空间可以减小。同步移动装置可以进一步包括导轨，该导轨设置在装置主体上以便与可移动部 分的移动方向平行；以及支撑板，该支撑板被设置成可沿着导轨移动，其中，电缆固定件的 端部固定到所述支撑板上。根据这种结构，电缆固定件的端部的移动方向被支撑板和导轨 所导引，使得电缆固定件的端部可以平滑地滑动，这是由于几乎不会产生电缆的扭曲并且 反作用力的影响很小。根据本专利技术的另一方面，提供了一种图像测量设备，该图像测量设备包括同步移 动装置，其包括装置主体、设置在装置主体内以可移动的可移动部分、进给丝杠轴，该进给 丝杠轴被支撑在所述装置主体上以便可以转动并且该进给丝杠轴移动所述可移动部分、螺 母元件，该螺母元件与所述进给丝杠轴螺纹啮合、耦合器，该耦合器将所述可移动部分与所 述螺母元件相连接、以及电缆固定件，该电缆固定件支撑并导引铺设到所述可移动部分中 的电缆，其中所述耦合器包括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二 元件、以及置于第一元件和第二元件之间中间元件，该中间元件用于吸收在垂直于所述进 给丝杠轴的轴线的平面内的所述进给丝杠轴的偏转运动；且所述电缆固定件的在将电缆铺 设到可移动部分中的一侧上的端部通过连接元件连接到第二元件，并且与所述可移动部分 同步移动；要被测量的物体所放置的平台；图像捕捉单元，该图像捕捉单元设置在所述可 移动部分内，用于捕获所述物体的图像；以及移动机构，该移动机构将所述物体和图像捕捉 单元相对于彼此移动，其中，所述物体的形状或尺寸基于所述图像捕捉单元所捕获的图像 的数据来测量。在这种结构中，当设置在可移动部分内的图像捕捉单元被同步移动装置的 进给丝杠机构所移动时，电缆固定器的端部(可移动端)也随着图像捕捉单元移动。在这 种情况下，由于进给丝杠轴的偏转运动以及电缆固定件伴随其运动的状态没有被耦合器按 照与同步移动装置相同的方式传递到可移动部分，因此可以获得测量精度的改善。附图说明从下面给出的详细描述和附图，将可以更全面理解本专利技术，该附图仅作为图示目 的给出并因此本专利技术并不局限于此，图中图1是根据本专利技术实施方式的图像测量设备的总体透视图；图2是示出根据本实施方式的图像测量设备的移动机构的透视4图3是示出在本实施方式中移动机构内的进给丝杠机构的放大局部透视图；图4是图3中所示的进给丝杠机构的分解图；以及图5是本实施方式中移动机构的可移动部分和进给丝杠机构之间的连接部分的 剖视图。具体实施例方式本专利技术的实施方式是将本专利技术应用于图像测量设备的一个例子。如图1所示，根据本实施方式的图像测量设备1包括底座2、平台3、光学装置4、移 动机构5、电缆支撑机构6和同步机构8。底座2作为设备的主体，平台3设置在底座2的 上表面上以在Y轴方向上可移动。要被测量的物体放置在平台3上。光学装置4作用为图 像捕捉单元，其捕捉所述物体的图像。移动机构5在二维方向(X轴方向和Z轴方向)上移 动所述光学装置4。电缆支撑机构6支撑和导引电缆，通过该电缆向光学装置4供电，且与 光学装置4交换信号(如控制信号、图像数据信号等)。同步机构8互锁地与光学装置4的 移动相同步地在X轴方向上移动所述电缆支撑机构6。虽然没有示出平台3的详细结构，平台3包括主体框架和滑动玻璃31。主体框架 被驱动机构在Y轴方向上驱动。滑动玻璃31固定在主体框架上。要被测量的物体被安装 在滑动玻璃31上。光学装置4由(XD摄像机构成。移动机构5包括一对梁支撑件51、X轴 梁52本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同步移动装置，该装置包括：装置主体；设置在装置主体内以可移动的可移动部分；进给丝杠轴，该进给丝杠轴被支撑在所述装置主体上以便可以转动并且该进给丝杠轴移动所述可移动部分；螺母元件，该螺母元件与所述进给丝杠轴螺纹啮合；耦合器，该耦合器将所述可移动部分与所述螺母元件相连接；以及电缆固定件，该电缆固定件支撑并导引铺设到所述可移动部分中的电缆，其中：所述耦合器包括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二元件、以及置于第一元件和第二元件之间的中间元件，该中间元件用于吸收在与所述进给丝杠轴的轴线正交的平面内的所述进给丝杠轴的偏转运动；且所述电缆固定件的在将电缆铺设到可移动部分中的一侧上的端部通过连接元件连接到第二元件，并且与所述可移动部分同步移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西辻丰，木村义治，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]