一种晶圆用夹持旋转工装平台制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括工作台面；旋转部设于工作台面的底部；定位基板可上下移动的设置在旋转部上，并位于工作台面的下方；多个夹持部可转动的从工作台面的上表面穿出，夹持部的底部通过连杆机构与定位基板活动相连；拉伸部的底部设于定位基板上，拉伸部的顶部设于定位基板的上方并与旋转部的周向相连；旋转下压部可转动的设置在定位基板一侧；硬限位组件设置在定位基板的上表面，并位于工作台面的下方；平缓移动组件设于工作台面和定位基板之间；本发明专利技术通过拉伸部和平缓移动组件的配合在定位基板下降和上升时实现多个夹持部的顶部平整缓慢的分散松开和聚拢夹持，夹持的晶圆无损坏，晶圆旋转清洗时无需额外的夹持动力

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用夹持旋转工装平台


[0001]本专利技术涉及一种工装平台，尤其涉及一种用于晶圆的夹持旋转工装平台
。

技术介绍

[0002]晶圆在成型加工中需要经过多步清洗和蚀刻，目前的工作流程如下：夹持机构夹持头打开，上游机械手放入晶圆，夹持机构夹持头缩回夹持好晶圆，旋转机构带动夹持机构进行旋转，药液喷淋机构开始对晶圆表面进行喷淋药液，对晶圆表面进行蚀刻清洗，清洗完成后，根据工艺需要可以对晶圆甩干或不甩干
。
[0003]在实际的应用中发现，现有的夹持头在对晶圆夹持时，很可能会由于速度过快或夹持的力不均匀造成晶圆的损坏，韩国专利
KR1020220061412A
披露了一种铰接式平行作动器夹持器，该铰接式平行作动器夹持器包括夹具主体
、
嵌入夹具主体中的驱动马达
、
螺杆轴
、
沿着螺杆轴提升的提升螺母构件
、
以及弹性支撑提升螺母构件的复位弹簧
、
安装在夹具主体上的导轨
、
安装在导轨上的滑块
、
升降螺母构件和安装在导轨上的滑块以及根据升降螺母构件的高度移动滑块的操作连杆，用于密封导轨和滑块的盖构件，以及用于根据联接到盖构件和滑块上的提升螺母构件的提升和下降提供夹持力的指状组件
。
[0004]专利
KR1020220061412A
主要是通过驱动马达带来的驱动力通过滑块带动指状组件做向内或向外的移动来实现夹持和松开；当提升螺母构件上升时，复位弹簧的膨胀力起作用，并且当提升螺母构件下降时，工作连杆和连接连杆具有像撬棍一样推动第二连杆构件的功能，使得能够始终在防振材料侧提供均匀的压力，从而提供均匀的夹持力
。
[0005]但是该夹持器存在以下缺点：
1.
在对晶圆进行旋转清洗时，该夹持器需要驱动马达全程提供驱动力来确保夹持器对晶圆进行夹持，即驱动马达工作时带动提升螺母构件往上移动，驱动马达一直处于工作状态，这样就导致整个生产过程中的使用成本较高；
2.
其次，该夹持器中当提升螺母构件上升时，复位弹簧通过其被压紧后释放的膨胀力带动提升螺母构件向上推，提升螺母构件带动滑块移动后通过工作连杆和连接连杆带动部件向内移动从而实现均匀的弹性夹持，其主要确保的是对晶圆受力均匀的夹持，但是其夹持时的速度还是不可控，进而可能由于夹持速度快而对晶圆造成损坏
。

技术实现思路

[0006]本专利技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种晶圆用夹持旋转工装平台，晶圆夹持时无损伤无形变，夹持后的平整度高，同时在对晶圆旋转清洗时，无需利用额外的驱动力来保持对晶圆的夹持，使用成本低
。
[0007]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括：工作台面；旋转部，设于所述工作台面的底部，用以带动所述工作台面转动；
定位基板，可上下移动的设置在所述旋转部上，并位于所述工作台面的下方；夹持部，多个所述夹持部可转动的从工作台面的上表面穿出，所述夹持部的底部通过连杆机构与所述定位基板活动相连；拉伸部，所述拉伸部的底部设于所述定位基板上，且，所述拉伸部的顶部设于所述定位基板的上方并与所述旋转部的周向相连；旋转下压部，可转动的设置在所述定位基板一侧，用以转动后驱动所述定位基板下降；硬限位组件，设置在所述定位基板的上表面，并位于所述工作台面的下方，用以对定位基板上移时的位置限位；平缓移动组件，设于所述工作台面和定位基板之间；其中，当所述旋转下压部带动定位基板下降时，所述定位基板经由平缓移动组件带动后通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的分散松开，拉伸部拉伸至第一拉伸位；当所述旋转下压部远离定位基板时，拉伸部从第一拉伸位回位至由所述硬限位组件限位的第二拉伸位，同时拉伸部带动定位基板上移，所述定位基板上移时经由平缓移动组件带动后通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的聚拢夹持
。
[0008]进一步的，所述平缓移动组件包括：丝杆，所述丝杆可转动的设置在所述工作台面和定位基板之间，且所述丝杆的底部贯穿出所述定位基板；固定块，设置在所述丝杆的顶部，用以将所述丝杆的顶部设于所述工作台面内；丝杆螺母，通过钢球与所述丝杆可转动的升降相连，且所述丝杆螺母的外部与所述定位基板相连；其中，当旋转下压部带动定位基板下压时带动所述丝杆螺母下移，所述丝杆螺母通过钢球带动所述丝杆被动旋转，所述丝杆被动旋转后通过丝杆螺母带动所述定位基板平缓下移；当所述拉伸部从第一拉伸位回位至第二拉伸位时，拉伸部带动所述定位基板上移，从而带动所述丝杆螺母上移，所述丝杆螺母通过钢球带动所述丝杆被动旋转，所述丝杆被动旋转后通过丝杆螺母带动所述定位基板平缓上移
。
[0009]进一步的，所述工作台面内设有与丝杆适配的轴套，所述轴套的上下两端内设有位于工作台面内的推力球轴承，两个所述推力球轴承之间设有深沟球轴承
。
[0010]进一步的，所述丝杆螺母下方还设有用以限位丝杆螺母往下移动的限位组件，所述限位组件包括依次套设在丝杆上且位于设于所述丝杆螺母的下方的卡簧
、
限位螺母和第一并紧螺母
。
[0011]进一步的，所述硬限位组件包括硬限位螺母，所述硬限位螺母用于硬限位定位基板上移高度，所述硬限位螺母上设有第二并紧螺母
。
[0012]进一步的，所述连杆机构包括第一连杆
、
第二连杆和第三连杆；所述第一连杆一端与夹持部的底部铰接相连，另一端与定位基板铰接相连；所述第二连杆的两端分别与夹持部的上端铰接相连，另一端与第三连杆铰接相连，且第二连杆与夹持部的铰接点高于第一连杆与夹持部的铰接点；所述第三连杆的另一端与定位基板铰接相连
。
[0013]进一步的，所述拉伸部包括上下设置的上固定件和下固定件，所述上固定件设置
在旋转部上，且位于所述定位基板的上方，所述下固定件设置在所述定位基板的下方；所述上固定件和下固定件之间设有穿过定位基板的拉伸弹簧
。
[0014]进一步的，所述定位基板上还设有若干个贯穿设置在所述定位基板上的缓冲器，所述缓冲器的顶部位于所述工作台面的下方
。
[0015]进一步的，所述夹持部包括夹持本体；所述夹持本体的顶部往上通过贯穿孔从所述工作台面穿出，所述夹持本体的顶部设有可拆卸的夹持头
。
[0016]进一步的，所述工作台面和定位基板的台面分别设有上罩壳和下罩壳；所述上罩壳和下罩壳之间为回形结构相连设置
。
[0017]由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：
1. 本专利技术的夹持旋转工装平台，当旋转下压部带动定位基板下降时，定位基板带动丝杆螺母在丝杆上平缓下移，从而通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的分散松开，拉伸弹簧处于第一拉伸位，此时夹持部处于将晶圆松开的状态，可以对晶圆进行取放动作；当旋转下压部远离定位基板时，拉伸弹簧从第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于，包括：工作台面
(6)
；旋转部
(4)
，设于所述工作台面
(6)
的底部，用以带动所述工作台面
(6)
转动；定位基板
(5)
，可上下移动的设置在所述旋转部
(4)
上，并位于所述工作台面
(6)
的下方；夹持部
(2)
，多个所述夹持部
(2)
可转动的从工作台面
(6)
的上表面穿出，所述夹持部
(2)
的底部通过连杆机构
(7)
与所述定位基板
(5)
活动相连；拉伸部，所述拉伸部的底部设于所述定位基板
(5)
上，且，所述拉伸部的顶部设于所述定位基板
(5)
的上方并与所述旋转部
(4)
的周向相连；旋转下压部，可转动的设置在所述定位基板
(5)
一侧，用以转动后驱动所述定位基板
(5)
下降；硬限位组件，设置在所述定位基板
(5)
的上表面，并位于所述工作台面
(6)
的下方，用以对定位基板
(5)
上移时的位置限位；平缓移动组件
(3)
，设于所述工作台面
(6)
和定位基板
(5)
之间；其中，当所述旋转下压部带动定位基板
(5)
下降时，所述定位基板
(5)
经由平缓移动组件
(3)
带动后通过连杆机构
(7)
带动多个夹持部（2）平整缓慢的分散松开，拉伸部拉伸至第一拉伸位；当所述旋转下压部远离定位基板
(5)
时，拉伸部从第一拉伸位回位至由所述硬限位组件限位的第二拉伸位，同时拉伸部带动定位基板
(5)
上移，所述定位基板
(5)
上移时经由平缓移动组件
(3)
带动后通过连杆机构
(7)
带动多个夹持部
(2)
平整缓慢的聚拢夹持
。2.
如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于，所述平缓移动组件
(3)
包括：丝杆
(31)
，所述丝杆
(31)
可转动的设置在所述工作台面
(6)
和定位基板
(5)
之间，且所述丝杆的底部贯穿出所述定位基板
(5)
；固定块
(30)
，设置在所述丝杆
(31)
的顶部，用以将所述丝杆的顶部设于所述工作台面内；丝杆螺母
(32)
，通过钢球与所述丝杆
(31)
可转动的升降相连，且所述丝杆螺母
(32)
的外部与所述定位基板
(5)
相连；其中，当旋转下压部带动定位基板
(5)
下压时带动所述丝杆螺母
(32)
下移，所述丝杆螺母
(32)
通过钢球带动所述丝杆
(31)
被动旋转，所述丝杆
(31)
被动旋转后通过丝杆螺母
(32)
带动所述定位基板
(5)
平缓下移；当所述拉伸部从第一拉伸位回位至第二拉伸位时，拉伸部带动所述定位基板
(5)
上移，从而带动所述丝杆螺母
(32)
上移，所述丝杆螺母
(32)
通过钢球带动所述丝杆
(31)
被动旋转，所述丝杆
(31)
被动旋转后通过丝杆螺母
(32)
带动所述定位基板
(5)
平缓上移
。3.
如权利要求2所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述工作台面
...

【专利技术属性】
技术研发人员：余涛，徐东波，庞金元，
申请(专利权)人：若名芯半导体科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：