一种晶圆辅助压件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆辅助压件，所述辅助压件为两件及两件以上且以晶圆为中心均匀排布，包括与PLC控制线路相连的气缸和位于气缸下部的压座，所述气缸的活塞杆上通过连接套与压杆一端固连，所述压杆另一端与压座上的第一连杆活动相连，远离压座内端的所述压杆端部具有启动气缸时压住晶圆的压头，本晶圆辅助压件主要通过均匀排布两件及两件以上辅助压件，包括与PLC控制线路相连的气缸以及相互配合的压座、压杆、压头，在晶圆边缘均匀排布压头将晶圆压住的方式，在真空吸附可能滑移的情况下采用的辅助手段。以及底面为倾斜面的压头，使得晶圆稳固。使得晶圆稳固。使得晶圆稳固。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆辅助压件


[0001]本技术涉及固定晶圆的
，特别涉及一种晶圆辅助压件。

技术介绍

[0002]目前，芯片晶圆的制程亦不断精进，为了有效保证晶圆产品的良率，晶圆精雕设备中需要对晶圆进行固定，目前普遍采用真空方式，需要将晶圆固定在晶圆吸盘上，从而减小晶圆的移动，提高加工或检测精度，通过真空吸附固定晶圆的方式应用较广泛。
[0003]然而，对加工和检测精度的要求越来越高，也就对晶圆在吸盘上的稳定性提出了更高的要求，通过孔道真空吸附难以稳固地将晶圆紧密固定于基座上，造成晶圆在基座上产生滑落或松脱。
[0004]因此本申请就是针对以上问题提出的。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种晶圆辅助压件。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0007]一种晶圆辅助压件，所述辅助压件为两件及两件以上且以晶圆为中心均匀排布，包括与PLC控制线路相连的气缸和位于气缸下部的压座，所述气缸的活塞杆上通过连接套与压杆一端固连，所述压杆另一端与压座上的第一连杆活动相连，远离压座内端的所述压杆端部具有启动气缸时压住晶圆的压头。
[0008]进一步地，所述压杆中部通过弧形座与压座的第一连杆活动相连，所述气缸的活塞杆拉起压杆使压头压住晶圆。
[0009]进一步地，所述压杆上设有第二连杆，所述压座上设有第三连杆，所述第二连杆与第三连杆之间连接有钩簧。
[0010]进一步地，所述压头为圆柱状，其底面向晶圆中心倾斜，所述底面和压杆被活塞杆拉起与水平面形成的倾斜角相同。
[0011]进一步地，所述压头外套设有弹性护套。
[0012]本技术有益效果：
[0013]本晶圆辅助压件主要通过均匀排布两件及两件以上辅助压件，包括与PLC控制线路相连的气缸以及相互配合的压座、压杆、压头，在晶圆边缘均匀排布压头将晶圆压住的方式，在真空吸附可能滑移的情况下采用的辅助手段。以及底面为倾斜面的压头，使得晶圆稳固。
附图说明
[0014]图1为本技术的主视图；
[0015]图2为本技术的俯视图；
[0016]图3为本技术中压座的结构示意图；
[0017]图4为本技术中压杆的结构示意图；
[0018]图5为本技术中弹性护套的结构示意图；
[0019]图6为本技术中活塞杆的结构示意图。
具体实施方式
[0020]以下所述仅是本技术的优选实施方式，保护范围并不仅局限于该实施例，凡属于本技术思路下的技术方案应当属于本技术的保护范围。同时应当指出，对于本
的普通技术人员而言，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
[0021]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0022]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0023]如图1
‑
6所示的一种晶圆辅助压件，所述辅助压件为两件及两件以上且以晶圆为中心均匀排布，包括与PLC控制线路相连的气缸1和位于气缸1下部的压座2，所述气缸1的活塞杆3上通过连接套与压杆4一端固连，所述压杆4另一端与压座2上的第一连杆5活动相连，远离压座2内端的所述压杆4端部具有启动气缸1时压住晶圆的压头6，通过在晶圆边缘均匀排布压头6将晶圆压住的方式，在真空吸附可能滑移的情况下采用的辅助手段。
[0024]所述压杆4中部通过弧形座7与压座2的第一连杆5活动相连，所述气缸1的活塞杆3拉起压杆4使压头6压住晶圆。
[0025]所述压杆4上设有第二连杆8，所述压座2上设有第三连杆9，所述第二连杆8第三连杆9之间连接有钩簧10，第三连杆9位于第二连杆8上方，第二连杆8与第三连杆9之间的钩簧10为斜拉方式，当压头6不需要下压时钩簧10就回弹复位。
[0026]如图2、5，所述压头6为圆柱状，其底面61向晶圆中心倾斜，所述底面61和压杆4被活塞杆3拉起与水平面形成的倾斜角相同，这样使得压头6对晶圆的固定更加平稳，更加牢固。
[0027]所述压头6外套设有弹性护套62，弹性护套62可以是橡胶，不对造成晶圆造成损伤为宜。
[0028]上述实施例是对本技术的说明，不是对本技术的限定，任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆辅助压件，其特征在于，所述辅助压件为两件及两件以上且以晶圆为中心均匀排布，包括与PLC控制线路相连的气缸(1)和位于气缸(1)下部的压座(2)，所述气缸(1)的活塞杆(3)上通过连接套与压杆(4)一端固连，所述压杆(4)另一端与压座(2)上的第一连杆(5)活动相连，远离压座(2)内端的所述压杆(4)端部具有启动气缸(1)时压住晶圆的压头(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆辅助压件，其特征在于，所述压杆(4)中部通过弧形座(7)与压座(2)的第一连杆(5)活动相连，所述气缸(1)的活塞杆(3)拉起压杆(4)使...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕愉，吴国栋，
申请(专利权)人：绍兴宇力半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：