本实用新型专利技术公开了一种芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻箱本体、开设在蚀刻箱本体内的清理槽以及固定在蚀刻箱本体底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件，还包括固定在蚀刻箱本体上储水箱以及固定在清理槽内的喷头，储水箱的内壁上固定有抽水泵且其与喷头通过管道连接，清理槽内旋转设置有旋转块，清理槽的内壁上固定有主电机且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块转动，旋转旋转块以使旋转块驱动工件转动，转动中的工件可通过喷头将水传输到工件上对其进行清理，清理槽与储存箱通过管道连接，可以对芯片进行自动清洗。可以对芯片进行自动清洗。可以对芯片进行自动清洗。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工用蚀刻装置
[0001]
[0002]本技术涉及芯片加工设备的
，特别是涉及一种芯片加工用蚀刻装置。
[0003]
技术介绍
[0004]芯片组（英语：Chipset）是一组共同工作的集成电路“芯片”，并作为一个产品销售。它负责将计算机的核心——微处理器和机器的其它部分相连接，是决定主板级别的重要部件。以往，芯片组由多颗芯片组成，慢慢的简化为两颗芯片。
[0005]一般芯片在加工的过程过程中都需要利用蚀刻装置对芯片进行蚀刻，但是现有的蚀刻装置对芯片加工完成后，需要人员将芯片取出并对芯片进行清洗，由于芯片在加工过程中一般是通过酸对芯片进行蚀刻，从而当人员后续出去芯片时不慎接触到酸时，会导致人员受到损伤。
[0006]
技术实现思路
[0007]本技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种芯片加工用蚀刻装置，可以对芯片进行自动清洗。
[0008]为实现上述目的，本技术提出了一种芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻箱本体、开设在蚀刻箱本体内的清理槽以及固定在蚀刻箱本体底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件，还包括固定在蚀刻箱本体上储水箱以及固定在清理槽内的喷头，所述储水箱的内壁上固定有抽水泵且其与喷头通过管道连接，所述清理槽内旋转设置有旋转块，所述清理槽的内壁上固定有主电机且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块转动，旋转所述旋转块以使旋转块驱动工件转动，转动中的工件可通过所述喷头将水传输到工件上对其进行清理，所述清理槽与储存箱通过管道连接。
[0009]作为优选，所述蚀刻箱本体内滑动设置有支撑板，所述支撑板的底部设置有夹持机械手，所述夹持机械手经与电动推杆连接滑动设置在支撑板底部，伸缩所述电动推杆输出轴以使夹持机械手移动到一定位置对工件进行夹持。
[0010]作为优选，所述蚀刻箱本体上设置有丝杠，所述丝杠经与次电机连接旋转设置在蚀刻箱本体的内壁上，旋转所述次电机输出轴以使支撑板在丝杠上移动。
[0011]作为优选，所述蚀刻件包括开设在蚀刻箱本体上的蚀刻槽以及固定在蚀刻箱本体底部的储存箱，所述储存箱内固定有抽液泵且其与蚀刻槽通过管道连接，所述抽液泵可传输储存箱液体进入到蚀刻槽内，所述蚀刻槽与储存箱通过输出管连接，所述输出管可传输蚀刻槽内液体进入到储存箱内，所述输出管的侧壁上固定有电磁阀。
[0012]作为优选，所述蚀刻箱本体的侧壁上固定有控制面板。
[0013]作为优选，所述蚀刻箱本体的底部固定有支脚。
[0014]【附图说明】
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术另一视角的结构示意图；
[0017]图中：1、蚀刻箱本体；2、清理槽；3、蚀刻件；4、储水箱；5、喷头；6、抽水泵；7、旋转
块；8、主电机；9、支撑板；10、夹持机械手；11、电动推杆；12、丝杠；13、次电机；14、蚀刻槽；15、储存箱；16、抽液泵；17、输出管；18、电磁阀；19、控制面板；20、支脚。
[0018]【具体实施方式】
[0019]参阅图1至图2，一种芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻箱本体1、开设在蚀刻箱本体1内的清理槽2以及固定在蚀刻箱本体1底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件3，还包括固定在蚀刻箱本体1上储水箱4以及固定在清理槽2内的喷头5，所述储水箱4的内壁上固定有抽水泵6且其与喷头5通过管道连接，所述清理槽2内旋转设置有旋转块7，所述清理槽2的内壁上固定有主电机8且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块7转动，旋转所述旋转块7以使旋转块7驱动工件转动，转动中的工件可通过所述喷头5将水传输到工件上对其进行清理，所述清理槽2与储存箱15通过管道连接。
[0020]所述蚀刻箱本体1内滑动设置有支撑板9，所述支撑板9的底部设置有夹持机械手10，所述夹持机械手10经与电动推杆11连接滑动设置在支撑板9底部，伸缩所述电动推杆11输出轴以使夹持机械手10移动到一定位置对工件进行夹持。
[0021]所述蚀刻箱本体1上设置有丝杠12，所述丝杠12经与次电机13连接旋转设置在蚀刻箱本体1的内壁上，旋转所述次电机13输出轴以使支撑板9在丝杠12上移动。
[0022]所述蚀刻件3包括开设在蚀刻箱本体1上的蚀刻槽14以及固定在蚀刻箱本体1底部的储存箱15，所述储存箱15内固定有抽液泵16且其与蚀刻槽14通过管道连接，所述抽液泵16可传输储存箱15液体进入到蚀刻槽14内，所述蚀刻槽14与储存箱15通过输出管17连接，所述输出管17可传输蚀刻槽14内液体进入到储存箱15内，所述输出管17的侧壁上固定有电磁阀18，所述蚀刻箱本体1的侧壁上固定有控制面板19，所述蚀刻箱本体1的底部固定有支脚20。
[0023]为了对工件进行蚀刻，人员可将工件放置到蚀刻箱本体1上，夹持机械手10启动，夹持机械手10可对工件进行夹持，工件夹持完成后，次电机13可驱动丝杠12将支撑板9移动到需要的位置，在通过利用电动推杆11推动夹持机械手10移动到蚀刻槽14内，达到夹持机械手10带动工件移动到蚀刻槽14内，当工件移动到蚀刻槽14内时，夹持机械手10松开，通过利用抽液泵16将储存箱15内的酸液传输到蚀刻槽14内，达到酸液对工件进行蚀刻，当酸液对工件蚀刻完成后，电磁阀18打开，酸液通过输出管17进入到储存箱15内，实现储存箱15内酸液的循环，当工件蚀刻完成后，夹持机械手10再次对工件进行夹持，当工件夹持完成后，丝杠12再次驱动内支撑板9移动到需要的位置，电动推杆11启动，电动推杆11将夹持机械手10移动到清理槽2内，夹持机械手10松开，主电机8启动，主电机8驱动旋转块7转动，旋转块7在转动过程中可驱动工件转动，同时，抽水泵6启动，抽水泵6抽取储存箱15内的水进入到喷头5上，水可通过喷头5对工件进行清理，当水对工件清理完成后，水通过管道回到储存箱15内，实现水的循环。
[0024]上述实施例是对本技术的说明，不是对本技术的限定，任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻箱本体(1)、开设在蚀刻箱本体(1)内的清理槽(2)以及固定在蚀刻箱本体(1)底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件(3)，其特征在于：还包括固定在蚀刻箱本体(1)上储水箱(4)以及固定在清理槽(2)内的喷头(5)，所述储水箱(4)的内壁上固定有抽水泵(6)且其与喷头(5)通过管道连接，所述清理槽(2)内旋转设置有旋转块(7)，所述清理槽(2)的内壁上固定有主电机(8)且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块(7)转动，旋转所述旋转块(7)以使旋转块(7)驱动工件转动，转动中的工件可通过所述喷头(5)将水传输到工件上对其进行清理，所述清理槽(2)与储存箱(15)通过管道连接。2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻箱本体(1)内滑动设置有支撑板(9)，所述支撑板(9)的底部设置有夹持机械手(10)，所述夹持机械手(10)经与电动推杆(11)连接滑动设置在支撑板(9)底部，伸缩所述电动推杆(11)输出轴以使夹持机械手(10)移动到一定位置对工件进行夹持。3.根据权利要求1所述的一种芯片加...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡天武，
申请(专利权)人：绍兴宇力半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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