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本发明公开了一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括工作台面；旋转部设于工作台面的底部；定位基板可上下移动的设置在旋转部上，并位于工作台面的下方；多个夹持部可转动的从工作台面的上表面穿出，夹持部的底部通过连杆机构与定位基板活动相连；拉伸部的底部设于...
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