喷淋板制造技术

本实用新型专利技术的实施例提供了一种喷淋板

【技术实现步骤摘要】
喷淋板、均流装置和镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜领域，具体而言，涉及一种喷淋板
、
均流装置和镀膜设备
。

技术介绍

[0002]在工艺薄膜沉积过程中，腔室内部工艺气体流动的均匀性对产品质量有着较大影响
。
[0003]现有技术中针对腔体内工艺气流分布不均匀的问题，目前采用的方法大多是在盖板的下方加装导流件以使得气体从盖板中心流下经过导流器后，会向远离腔室中心的方向流动，以此避免大量气体分布在中心
。
[0004]技术人发现，现有的加装导流器的，还是会存在气体分布不均匀导致膜层厚度不一的问题
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的包括，例如，提供了一种喷淋板
、
均流装置和镀膜设备，其能够改善膜层厚度不一的问题
。
[0006]本技术的实施例可以这样实现：
[0007]第一方面，本技术提供一种喷淋板，包括喷淋板本体；
[0008]所述喷淋板本体具有第一区域
、
第二区域和第三区域，所述第二区域环绕本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种喷淋板，其特征在于，包括喷淋板本体；所述喷淋板本体具有第一区域
、
第二区域和第三区域，所述第二区域环绕在所述第一区域的外侧，所述第三区域区环绕在所述第二区域的外侧；所述第一区域
、
所述第二区域和所述第三区域均设置有若干通孔；在单位面积内，所述第二区域的所述通孔的占比小于所述第一区域的所述通孔占比；在单位面积内，所述第二区域的所述通孔的占比小于所述第三区域的所述通孔的占比
。2.
根据权利要求1所述的喷淋板，其特征在于，在单位面积内，所述第三区域的所述通孔占比小于所述第一区域的所述通孔占比
。3.
根据权利要求2所述的喷淋板，其特征在于，在单位面积内，设置于所述第一区域
、
所述第二区域和所述第三区域的所述通孔的数量相同，且均呈阵列排布；设置于所述第二区域的所述通孔的孔径小于设置于所述第三区域的所述通孔的孔径；设置于所述第二区域的所述通孔的孔径小于设置于所述第一区域的所述通孔的孔径；设置于所述第三区域的所述通孔的孔径小于设置于所述第一区域的所述通孔的孔径
。4.
根据权利要求3所述的喷淋板，其特征在于，设置在所述第二区域的所述通孔的孔径相对于设置在所述第三区域的所述通孔的孔径缩小比值的取值范围的百分比为
10
％
‑
70
％；设置在所述第一区域的所述通孔的孔径相对于设置在所述第三区域的所述通孔的孔径增大比值的取值范围的百分比为
10
％
‑
30
％
。5.
根据权利要求4所述的喷淋板，其特征在于，所述第二区域具有第一环区
、
第二环区
、
第三环区和第四环区；所述第二环区环设在所述第一环区的外侧，所述第三环区环设于所述第二环区的外侧，所述第四环区环设于所述第三环区的外侧，且所述第一环区
、
所述第二环区
、
所述第三环区和所述第四环区均等间隔设置有所述通孔；位于所述第一环区和所述第三环区的所述通孔的孔径相对于设置在所述第三区域的所述通孔的孔径缩小比值的取值范围的百分比为
30
％
‑
50
％；和
/
或，位于所述第二环区的所述通孔的孔径相对于设置在所述第三区域的所述通孔的孔径缩小比值的取值范围的百分比为
50
％
‑
70
％；和
/
或，位于所述第四环区的所述通孔的孔径相对于设置在所述第三区域的所述通孔的孔径缩小比值的取值范围的百分比为
10
％
‑
30
％...

【专利技术属性】
技术研发人员：方成，尹艳超，
申请(专利权)人：拓荆科技，
类型：新型
国别省市：