工作台位移系统技术方案

本发明专利技术公开了一种工作台位移系统

【技术实现步骤摘要】
工作台位移系统、位移控制方法、电子设备及存储介质


[0001]本专利技术实施例涉及自动控制
，尤其涉及一种工作台位移系统
、
位移控制方法
、
电子设备及存储介质
。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的技术发展更新，越来越多的新型技术开发出现，对光刻机的精度要求也越来越高
。
现有技术中，光刻机的工作台由电机进行驱动，目前，一般采用向电机传输给定位置信号，电机根据给定位置信号旋转进而带动工作台达到目标位置的方式
。
此种设置方式下，光刻机工作台的位移控制精度较差，工作台工作过程中实际位置与目标位置的误差较大，既影响工作台位置精度，还会影响光刻机工作台的使用寿命
。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种工作台位移系统
、
位移控制方法
、
电子设备及存储介质，可适用于光刻机，以提高工作台的位移精度，延长工作台位移系统的使用寿命
。
[0004]第一方面，本专利技术实施例提供了一种工作台位移系统，包括工作台
、
电机
、
编码器组件和位移控制模块；
[0005]所述电机与所述工作台传动连接，所述电机转动驱动所述工作台移动；
[0006]所述编码器组件与所述电机固定，所述编码器组件用于实时检测所述电机的当前旋转角度并生成当前旋转角度信号；
[0007]所述位移控制模块分别与所述编码器组件和所述电机电连接，所述位移控制模块用于根据所述当前旋转角度信号确定所述工作台的当前位移量，并在所述当前位移量与目标位移量不同时，确定所述工作台的补偿位移量；所述位移控制模块还用于根据所述补偿位移量确定所述电机的补偿角度，并将补偿角度信号发送至所述电机；
[0008]所述电机按照所述补偿角度信号工作，直至所述工作台的所述当前位移量等于所述目标位移量
。
[0009]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种工作台位移系统的位移控制方法，适用于本专利技术任意实施例提供的工作台位移系统，所述位移控制方法包括：
[0010]编码器组件实时检测所述电机的当前旋转角度，并将当前旋转角度信号发送至所述位移控制模块；
[0011]所述位移控制模块根据所述当前旋转角度信号确定所述工作台的当前位移量，并在所述当前位移量与目标位移量不同时，确定所述工作台的补偿位移量；所述位移控制模块还根据所述补偿位移量确定所述电机的补偿角度，并将补偿角度信号发送至所述电机；
[0012]所述电机按照所述补偿角度信号工作，直至所述工作台的所述当前位移量等于所述目标位移量
。
[0013]第三方面，本专利技术实施例还提供了一种电子设备，包括：
[0014]一个或多个处理器；
[0015]存储装置，用于存储一个或多个程序；
[0016]所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现本专利技术实施例提供的工作台位移系统的位移控制方法
。
[0017]第四方面，本专利技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本专利技术实施例提供的工作台位移系统的位移控制方法
。
[0018]本专利技术实施例提供的工作台位移系统，包括工作台
、
电机
、
编码器组件和位移控制模块；电机与工作台传动连接，电机转动驱动工作台移动；编码器组件与电机固定，用于实时检测电机的当前旋转角度，并将当前旋转角度信号发送至位移控制模块；位移控制模块分别与编码器组件和电机电连接，位移控制模块用于根据当前旋转角度信号确定工作台的当前位移量，并在当前位移量与目标位移量不同时，确定工作台的补偿位移量；位移控制模块还用于根据补偿位移量确定电机的补偿角度，并将补偿角度信号发送至电机；电机按照补偿角度信号工作，直至工作台的当前位移量等于目标位移量
。
本方案中，通过实际位移量与目标位移量的偏差值来调整系统的控制动作，可使实际位移量与目标位移量尽可能接近，以补偿工作台移动过程中产生的误差，从而提高工作台的移动精度，延长工作台位移系统的使用寿命
。
附图说明
[0019]图1为本专利技术实施例提供的一种工作台位移系统的电路结构示意图；
[0020]图2为本专利技术实施例提供的一种工作台的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术实施例提供的另一种工作台位移系统的电路结构示意图；
[0022]图4为本专利技术实施例提供的一种码盘的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术实施例提供的又一种工作台位移系统的电路结构示意图；
[0024]图6为本专利技术实施例提供的一种工作台位移系统的位移控制方法的流程图
。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明
。
可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定
。
另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构
。
[0026]在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法
。
虽然流程图将各项操作
(
或步骤
)
描述成顺序的处理，但是其中的许多操作可以被并行地
、
并发地或者同时实施
。
此外，各项操作的顺序可以被重新安排
。
当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤
。
所述处理可以对应于方法
、
函数
、
规程
、
子例程
、
子程序等等
。
此外，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
[0027]本专利技术使用的术语“包括”及其变形是开放性包括，即“包括但不限于”。
术语“基于”是“至少部分地基于”。
术语“一个实施例”表示“至少一个实施例”。
[0028]需要注意，本专利技术中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对相应内容进行区分，并非用于限定顺序或者相互依存关系
。
[0029]需要注意，本专利技术中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域
技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。
[0030]基于
技术介绍
中提到的现有技术的缺陷，本专利技术实施例提供了一种工作台位移系统，该工作台位移系统可适用于光刻机中，用于控制光刻机的工作台
。
图1为本专利技术实施例提供的一种工作台位移系统的电路结构示意图，图2为本专利技术实施例提供的一种工作台的结构示意图，可结合参考图1和图2，本专利技术实施例提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种工作台位移系统，其特征在于，包括工作台
、
电机
、
编码器组件和位移控制模块；所述电机与所述工作台传动连接，所述电机转动驱动所述工作台移动；所述编码器组件与所述电机固定，所述编码器组件用于实时检测所述电机的当前旋转角度并生成当前旋转角度信号；所述位移控制模块分别与所述编码器组件和所述电机电连接，所述位移控制模块用于根据所述当前旋转角度信号确定所述工作台的当前位移量，并在所述当前位移量与目标位移量不同时，确定所述工作台的补偿位移量；所述位移控制模块还用于根据所述补偿位移量确定所述电机的补偿角度，并将补偿角度信号发送至所述电机；所述电机按照所述补偿角度信号工作，直至所述工作台的所述当前位移量等于所述目标位移量
。2.
根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，所述编码器组件包括电连接的码盘和检测单元，所述码盘与所述电机同步转动；所述位移控制模块包括电连接的比较元件和工作台控制单元，所述比较元件与所述检测单元电连接，所述工作台控制单元与所述电机电连接；所述检测单元用于获取所述码盘的当前转动角度，根据所述当前转动角度确定所述电机的所述当前旋转角度，并生成所述当前旋转角度信号；其中，所述码盘的转动角度与所述电机的旋转角度一一对应；所述比较元件用于接收所述当前旋转角度信号，并根据所述当前旋转角度信号确定所述工作台的所述当前位移量；所述比较元件还用于在所述当前位移量与目标位移量不同时，确定所述工作台的补偿位移量，根据所述补偿位移量确定所述电机的所述补偿角度，并生成所述补偿角度信号；所述工作台控制单元用于接受所述补偿角度信号，并将所述补偿角度信号发送至所述电机
。3.
根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述比较元件还用于根据公式
(1)
和公式
(2)
确定所述工作台的所述当前位移量；
S1＝
θ1*P/360
°ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(1)S2＝
(
θ2/
θ1)*S1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(2)
其中，
θ1为所述码盘转动的单位分辨角度，
θ1＝
360
°
/2
n
，
n
为所述码盘上码道的数量，
n
为整数，且
23≤n≤29
；
S1为所述单位分辨角度对应的所述工作台的单位位移量，
P
为所述电机转动一周时所述电机的丝杠导程；
S2为所述工作台的所述当前位移量，
θ2为所述电机的所述当前旋转角度；所述比较元件还用于根据公式
(3)
确定所述补偿位移量，根据公式
(4)
确定所述补偿角度；
S
＝
S3‑
S2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏朝腾，李华，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：