【技术实现步骤摘要】
本技术实施例涉及自动控制，尤其涉及一种工作台位移系统。
技术介绍
1、随着半导体行业的技术发展更新，越来越多的新型技术开发出现，对光刻机的精度要求也越来越高。现有技术中，光刻机的工作台由电机进行驱动，目前，一般采用向电机传输给定位置信号，电机根据给定位置信号旋转进而带动工作台达到目标位置的方式。此种设置方式下，光刻机工作台的位移控制精度较差，工作台工作过程中实际位置与目标位置的误差较大，既影响工作台位置精度，还会影响光刻机工作台的使用寿命。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例提供了一种工作台位移系统，可适用于光刻机，以提高工作台的位移精度，延长工作台位移系统的使用寿命。
2、工作台位移系统包括工作台、电机、编码器组件和位移控制模块；
3、所述电机与所述工作台传动连接，所述电机转动驱动所述工作台移动；
4、所述编码器组件与所述电机固定，所述编码器组件包括旋转角度信号输出端，所述旋转角度信号输出端与所述位移控制模块电连接；
5、所述位移控制模块包括旋转角度信号接收端以及补偿角度信号输出端，所述旋转角度信号接收端与所述旋转角度信号输出端电连接，所述补偿角度信号输出端与所述电机电连接。
6、本技术实施例提供的工作台位移系统，编码器组件可实时检测电机的当前旋转角度，并将当前旋转角度信号发送至位移控制模块，位移控制模块可根据当前旋转角度信号确定工作台的当前位移量，并在当前位移量与目标位移量不同时，确定工作台的补偿位移量；位移控制
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1.一种工作台位移系统，其特征在于，包括工作台、电机、编码器组件和位移控制模块；
2.根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，所述编码器组件包括电连接的码盘和检测单元，所述码盘与所述电机同步转动，所述检测单元包括所述旋转角度信号输出端；
3.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述码盘与所述电机的主轴固定或与所述电机的外壳固定，以与所述电机同步转动。
4.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述码盘上码道的数量为23～29。
5.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述比较元件包括当前位移量确定单元以及补偿角度确定单元；
6.根据权利要求5所述的工作台位移系统，其特征在于，所述位移控制模块还包括信号放大器，所述信号放大器用于电连接所述工作台控制单元和所述电机。
7.根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，还包括目标位移量获取模块，与所述编码器组件电连接。
8.根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，还包括伺服系统，连接所述位移控制模块和所
9.根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，所述电机的数量和所述编码器组件的数量均为2，两个所述电机控制所述工作台分别在第一方向和第二方向上移动，所述第一方向和所述第二方向垂直；
10.根据权利要求9所述的工作台位移系统，其特征在于，所述位移控制模块的数量为1，所述位移控制模块分别与两个所述包括两个所述旋转角度信号接收端以及两个所述补偿角度信号输出端，所述旋转角度信号接收端与所述编码器组件一一对应电连接，所述补偿角度信号输出端与所述电机一一对应电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种工作台位移系统，其特征在于，包括工作台、电机、编码器组件和位移控制模块；
2.根据权利要求1所述的工作台位移系统，其特征在于，所述编码器组件包括电连接的码盘和检测单元，所述码盘与所述电机同步转动，所述检测单元包括所述旋转角度信号输出端；
3.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述码盘与所述电机的主轴固定或与所述电机的外壳固定，以与所述电机同步转动。
4.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述码盘上码道的数量为23～29。
5.根据权利要求2所述的工作台位移系统，其特征在于，所述比较元件包括当前位移量确定单元以及补偿角度确定单元；
6.根据权利要求5所述的工作台位移系统，其特征在于，所述位移控制模块还包括信号放大器，所述信号放大器用于电连接所述工作台控制单...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏朝腾，李华，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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