【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻机，尤其涉及一种传片装置及光刻机。
技术介绍
1、光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，现有的新型光刻机采用高自由度的传片机械手传片，能够实现在三维空间中的多种运动方式，这种传片机械手虽然性能好，但是造价也高，无法大面积投入使用。如图1所示，老型光刻机通过电机轴转动带动齿轮200转动，通过安装在齿轮200上的皮带300带动传片手臂100往复运动，这种驱动传片手臂100运动的方式虽然造价低，但是皮带300和电机经过长时间的运行后容易发生一定程度的损坏，需要定期维护和更换，由于老型光刻机的内部结构设计比较紧凑，导致有些皮带损坏后很难快速更换。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提出一种传片装置及光刻机，以实现不仅造价低，而且不易损坏，易于维护的目的。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、传片装置，其包括：
4、传片手臂，用于取放硅片；
5、导轨，沿所述导轨的长度方向设置有第一气腔，所述导轨的导向面上间隔设置有多个气孔，多个所述气孔均与所述第一气腔连通，所述传片手臂滑设于所述导轨上，且与所述导向面配合；
6、气动系统，包括气源、控制组件和气缸，所述气源用于向所述气缸内输送压缩气体，所述气缸与所述第一气腔连通，所述控制组件用于控制所述压缩气体的压力、流量、方向和行程，所述压缩气体经所述气孔流出，在所述传片手臂与所述导向面之间产生气膜，所述气膜驱动所述传片手臂在所述导轨上往复移动。
7、作为传片装
8、作为传片装置的一个可选方案，所述控制组件还包括行程控制阀；所述行程控制阀设置有两个，两个所述行程控制阀中，其中一个所述行程控制阀与所述第一腔连通，另一个所述行程控制阀与所述第二腔连通。
9、作为传片装置的一个可选方案，所述传片手臂包括底座，所述底座设置为u形，u形的所述底座的底部与所述导向面配合；所述导轨与所述导向面相邻的两侧壁均设置有滑槽，u形的所述底座的两侧壁的内侧均设置有滑块，所述滑块与所述滑槽配合。
10、作为传片装置的一个可选方案，所述传片手臂还包括手臂本体，所述手臂本体的一端固定于所述底座，另一端连接有真空吸盘，所述真空吸盘用于取放硅片。
11、作为传片装置的一个可选方案，所述气动系统还包括辅助组件，所述辅助组件包括真空发生器，所述真空发生器设于所述气源和所述控制组件之间，用于为所述第一气腔提供真空环境。
12、作为传片装置的一个可选方案，所述手臂本体和所述底座上设置有用于连通所述气孔和所述真空吸盘的第二气腔，所述第一气腔通过所述气孔能与所述第二气腔连通，以使所述真空发生器通过所述第一气腔向所述第二气腔抽真空，以使所述真空吸盘吸附硅片。
13、作为传片装置的一个可选方案，所述辅助组件还包括油雾器，所述油雾器设于所述压力控制阀和所述方向控制阀之间。
14、作为传片装置的一个可选方案，所述辅助组件还包括消音器，所述消音器设于所述油雾器和所述方向控制阀之间。
15、光刻机，其包括如以上任一方案所述的传片装置。
16、本技术的有益效果：
17、本技术提供的传片装置，包括传片手臂、气动系统和导轨，传片手臂滑设于导轨上，沿导轨的长度方向设置第一气腔，导轨的导向面上间隔设置有多个气孔，多个气孔均与第一气腔连通，气动系统包括气源、控制组件和行程阀，气源向第一气腔提供压缩空气，压缩空气经控制组件控制压力、流量和方向后进入第一气腔，第一气腔内的气体经气孔流出，在传片手臂与导向面之间产生气膜，气膜驱动传片手臂在导轨上往复移动，并能控制传片手臂的运动方向和行程。该传片装置，利用气膜驱动传片手臂沿导轨往复运动，不仅造价低、运动精度高、清洁无污染；而且不会产生严重的机械磨损，延长了传片装置的使用寿命，同时便于维护。
18、本技术提供的光刻机，包括上述的传片装置，传片装置应用光刻机本身自带的气动系统，无需额外配置，大大降低了光刻机的造价成本，而且该传片装置不会发生机械磨损，延长了使用寿命，而且便于维护。
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1.传片装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传片装置，其特征在于，所述控制组件(22)包括压力控制阀(221)、方向控制阀(222)和流量控制阀(223)，所述压力控制阀(221)、所述方向控制阀(222)和所述流量控制阀(223)依次设置于所述气源(21)和所述气缸(24)之间，所述压力控制阀(221)用于控制所述压缩气体的压力，所述方向控制阀(222)用于控制所述压缩气体的方向，所述方向控制阀(222)与所述气缸(24)之间并联设置有两个所述流量控制阀(223)，所述气缸(24)包括第一腔和第二腔，两个所述流量控制阀(223)中，其中一个所述流量控制阀(223)与所述第一腔连通，另一个所述流量控制阀(223)与所述第二腔连通，所述第二腔与所述第一气腔连通。
3.根据权利要求2所述的传片装置，其特征在于，所述控制组件(22)还包括行程控制阀(224)；所述行程控制阀(224)设置有两个，两个所述行程控制阀(224)中，其中一个所述行程控制阀(224)与所述第一腔连通，另一个所述行程控制阀(224)与所述第二腔连通。
4.根据权利
5.根据权利要求4所述的传片装置，其特征在于，所述传片手臂(100)还包括手臂本体(102)，所述手臂本体(102)的一端固定于所述底座(101)，另一端连接有真空吸盘，所述真空吸盘用于取放硅片。
6.根据权利要求5所述的传片装置，其特征在于，所述气动系统(2)还包括辅助组件(23)，所述辅助组件(23)包括真空发生器(231)，所述真空发生器(231)设于所述气源(21)和所述控制组件(22)之间，用于为所述第一气腔提供真空环境。
7.根据权利要求6所述的传片装置，其特征在于，所述手臂本体(102)和所述底座(101)上设置有用于连通所述气孔(111)和所述真空吸盘的第二气腔，所述第一气腔通过所述气孔(111)能与所述第二气腔连通，所述真空发生器(231)通过所述第一气腔向所述第二气腔抽真空，以使所述真空吸盘吸附硅片。
8.根据权利要求6所述的传片装置，其特征在于，所述辅助组件(23)还包括油雾器(232)，所述油雾器(232)设于所述压力控制阀(221)和所述方向控制阀(222)之间。
9.根据权利要求8所述的传片装置，其特征在于，所述辅助组件(23)还包括消音器(233)，所述消音器(233)设于所述油雾器(232)和所述方向控制阀(222)之间。
10.光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的传片装置。
...【技术特征摘要】
1.传片装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传片装置，其特征在于，所述控制组件(22)包括压力控制阀(221)、方向控制阀(222)和流量控制阀(223)，所述压力控制阀(221)、所述方向控制阀(222)和所述流量控制阀(223)依次设置于所述气源(21)和所述气缸(24)之间，所述压力控制阀(221)用于控制所述压缩气体的压力，所述方向控制阀(222)用于控制所述压缩气体的方向，所述方向控制阀(222)与所述气缸(24)之间并联设置有两个所述流量控制阀(223)，所述气缸(24)包括第一腔和第二腔，两个所述流量控制阀(223)中，其中一个所述流量控制阀(223)与所述第一腔连通，另一个所述流量控制阀(223)与所述第二腔连通，所述第二腔与所述第一气腔连通。
3.根据权利要求2所述的传片装置，其特征在于，所述控制组件(22)还包括行程控制阀(224)；所述行程控制阀(224)设置有两个，两个所述行程控制阀(224)中，其中一个所述行程控制阀(224)与所述第一腔连通，另一个所述行程控制阀(224)与所述第二腔连通。
4.根据权利要求2所述的传片装置，其特征在于，所述传片手臂(100)包括底座(101)，所述底座(101)设置为u形，u形的所述底座(101)的底部与所述导向面(11)配合；所述导轨(1)与所述导向面(11)相邻的两侧壁均设置有滑槽(12)，u形的所述底座(101)的两侧壁的内侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：向宇飞，李华，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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