一种光刻机载片台观察结构制造技术

本实用新型专利技术涉及载片台观察技术领域，具体为一种光刻机载片台观察结构，包括载片台、光刻机构与圆板，所述载片台的侧面通过螺栓连接有可拆卸的固定板，所述固定板的一侧固定连接有连接组件，所述连接组件的一侧通过转轴连接有高度调节组件。该光刻机载片台观察结构，通过连接组件与观察组件之间的配合，能够使该机构在使用期间的位置调节更加便捷，且并不经常性的使用该结构也能便于拆卸，通过连接组件进行位置调节后使观察组件的位置变化，从而根据使用人的情况，通过观察组件对载片台的工作情况进行观察，该观察方式，能够减缓直面观察对人体有所伤害，且用相机记录载片台工作的时候该结构也能提供的帮助使拍摄更加便捷。该结构也能提供的帮助使拍摄更加便捷。该结构也能提供的帮助使拍摄更加便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机载片台观察结构


[0001]本技术涉及载片台观察
，具体为一种光刻机载片台观察结构。

技术介绍

[0002]光刻机，又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备，载片台是光刻机中的必要结构，且为了观察在载片台的情况下，需要一种辅助设备来完成操作，避免出现对人体的损害。
[0003]中国专利公告号CN212749519U公开了一种光刻机的取片装置，涉及光刻机
，包括支撑架板、光刻机定位台和顶壳，所述支撑架板后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一，有益效果在于：在需要取片时，可按下启闭开关，从而可启动电动滑台，通过调速器可调节电动滑台的滑动速度，调节完毕后，电动滑台可带动连接块向前滑动，从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动，拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片，并将基片拨动至支撑架板上，防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦，达到防滑的效果，从而完成取片，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题；该结构有效的针对光刻机的取片方向进行优化，但是针对载片台工作记录方向并未提出创新，因此在需要观察载片台工作情况，以及拍摄工作流程进行制作宣传方向的时候并不能够提供帮助。
[0004]鉴于以上，提出一种光刻机载片台观察结构来解决以上问题，能够对光刻机载片台的工作进行观察，且在使用中能够灵活多方向进行调整，在观察的时候也能够起到一定的防护效果，为日常工作台观察以及宣传拍摄的时候提供便捷。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种光刻机载片台观察结构，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种光刻机载片台观察结构，包括载片台、光刻机构与圆板，所述载片台的侧面通过螺栓连接有可拆卸的固定板，所述固定板的一侧固定连接有连接组件，所述连接组件的一侧通过转轴连接有高度调节组件，所述圆板表面的中部固定安装有防紫外玻璃透明板，所述圆板的表面设置有观察组件。
[0009]可选的，所述光刻机构位于载片台的正上方工作，所述载片台的底部固定连接有操作台，所述固定板上的螺栓贯穿固定板内壁的一端与载片台的左侧面螺纹连接。
[0010]可选的，所述连接组件包括内板、外板、旋转板和调节板，所述内板的一侧与固定板的右侧面固定连接，所述内板的另一侧与外板的内壁插接，使所述内板可在外板内壁移动调节，所述旋转板通过转轴连接在外板远离内板的一侧，所述调节板通过转轴连接在旋
转板远离外板的一侧。
[0011]可选的，所述高度调节组件包括圆框、螺纹杆和连接轴块，所述圆框的底部通过转轴连接在调节板远离旋转板的一侧，所述螺纹杆的底部与圆框的内壁螺纹连接，所述连接轴块的底部与螺纹杆的顶部套接，使螺纹杆的顶部可在连接轴块的内部旋转，所述连接轴块的顶部与圆板的底部固定连接。
[0012]可选的，所述观察组件包括连接支杆和近距离望远放大镜，所述连接支杆的一侧与圆板的表面固定连接，所述支连接支杆的另一侧通过铰链与近距离望远放大镜连接，使所述近距离望远放大镜位于圆板正前放可轻微进行调节近距离望远放大镜。
[0013]可选的，所述连接支杆的数量为两个，且两个连接支杆对称设置在圆板的两侧。
[0014]可选的，所述圆板的两侧通过转轴连接有可旋转的侧板，所述侧板的数量为两个，且两个侧板对称连接在圆板的两侧。
[0015](三)有益效果
[0016]本技术提供了一种光刻机载片台观察结构，具备以下有益效果：
[0017]1、该光刻机载片台观察结构，通过连接组件与观察组件之间的配合，能够使该机构在使用期间的位置调节更加便捷，且并不经常性的使用该结构也能便于拆卸，通过连接组件进行位置调节后使观察组件的位置变化，从而根据使用人的情况，通过观察组件对载片台的工作情况进行观察，该观察方式，能够减缓直面观察对人体有所伤害，且用相机记录载片台工作的时候该结构也能提供的帮助使拍摄更加便捷。
附图说明
[0018]图1为本技术结构示意图；
[0019]图2为本技术连接组件结构示意图；
[0020]图3为本技术观察组件结构示意图；
[0021]图4为本技术高度调节组件结构示意图。
[0022]图中：1、载片台；2、光刻机构；3、圆板；4、固定板；5、连接组件；501、内板；502、外板；503、旋转板；504、调节板；6、高度调节组件；601、圆框；602、螺纹杆；603、连接轴块；7、防紫外玻璃透明板；8、观察组件；801、连接支杆；802、近距离望远放大镜；9、操作台；10、侧板。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1，在操作台9上固定安装有载片台1，在位于载片台1正上方的位置处用于工作，在载片台1的侧面位置使用螺栓的方式连接固定板4，在固定板4的一侧连接有连接组件5，通过连接组件5来改变高度调节组件6位于载片台1正前面的距离，从而使连接在高度调节组件6顶部的圆板3的位置发生改变，在圆板3的中间位置设有防紫外玻璃透明板7，通过将防紫外玻璃透明板7的设置能够使后方位置上设置的观察组件8透过防紫外玻璃透明板7来观察载片台1的工作流程，通过以上结构之间的配合组成，能够使该结构完成观察载片台工作的效果，在观察的过程中也能够有效的进行防护，该结构也适用于通过相机记
录载片台上的整体工作流程，将相机固定安装在位于观察组件8上即可，也能够在对相机实现防护的情况下进行录像记录，可后期做成宣传片用于宣传工作；
[0025]请参阅图2，固定板4通过螺栓固定连接在载片台1的左侧位置，可将螺栓拆卸实现拆装整体观察结构，该载片台1侧面与外板502的背面是通过滑道连接，因此外板502会有支撑力附在载片台1上，从而能够加大结构上连接圆板3的支撑力，在拆卸的时候将螺栓取出，外板502沿滑道进行移动，经外板502全部移出滑道就可将固定板4与外板502全部拆除，从而使该观察支撑结构等全部拆除；
[0026]请参阅图2，连接组件5能够改变控制调节圆板3的位置，且在收纳的时候也能进行叠合收纳，连接组件5中的内板501一侧与固定板4连接，一侧套接外板502，随外板502在载片台1上移动的时候所露出的内板501也就会随之变化，调节外板502使圆板3距离到载片台1之间的距离合适，之后再对旋转板503调节使连接在旋转板503一侧的调节板504位置发生改变，从而改变圆板3的高度进行变化，在调节之后进行观察的时候，可通过拉动调节板504使圆板3与载片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机载片台观察结构，包括载片台(1)、光刻机构(2)与圆板(3)，其特征在于：所述载片台(1)的侧面通过螺栓连接有可拆卸的固定板(4)，所述固定板(4)的一侧固定连接有连接组件(5)，所述连接组件(5)的一侧通过转轴连接有高度调节组件(6)，所述圆板(3)表面的中部固定安装有防紫外玻璃透明板(7)，所述圆板(3)的表面设置有观察组件(8)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机载片台观察结构，其特征在于：所述光刻机构(2)位于载片台(1)的正上方工作，所述载片台(1)的底部固定连接有操作台(9)，所述固定板(4)上的螺栓贯穿固定板(4)内壁的一端与载片台(1)的左侧面螺纹连接。3.根据权利要求1所述的一种光刻机载片台观察结构，其特征在于：所述连接组件(5)包括内板(501)、外板(502)、旋转板(503)和调节板(504)，所述内板(501)的一侧与固定板(4)的右侧面固定连接，所述内板(501)的另一侧与外板(502)的内壁插接，使所述内板(501)可在外板(502)内壁移动调节，所述旋转板(503)通过转轴连接在外板(502)远离内板(501)的一侧，所述调节板(504)通过转轴连接在旋转板(503)远离外板(502)的一侧。4.根据权利要求3所述的一种光刻机载片台观察结构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓军，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：