同心度检测装置制造方法及图纸

本技术属于步进式光刻设备技术领域，公开了同心度检测装置。该同心度检测装置包括放置座、反射板和刻度盘，放置座用于放置激光管，反射板倾斜设置于放置座的一侧，反射板用于反射激光管发出的激光得到反射光线，刻度盘位于反射板的反射路径上，刻度盘用于指示反射光线的偏差值。这种同心度检测装置结构简单，能够对激光管的同心度进行快速检测及筛选，能够快速排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及步进式光刻设备，尤其涉及同心度检测装置。

技术介绍

1、lsa激光步进对准是nikon光刻机对准系统中的一种，一个完整的lsa系统包含lsa激光器、lsa光路、lsa探测器以及工作台干涉计数器和相应的信号处理模块。lsa激光器是一种波长为632.8nm的he-ne激光器作为对准系统的光源，产生的光束决定了对准系统的灵敏度及识别能力，如果射入lsa光路的光束倾斜，最终信号处理模块会接收到异常信号甚至接收不到有用信号，对准系统精度会出现不达标或无法使用的故障。

2、he-ne激光器使用寿命一般在10000小时左右，远低于光刻机的使用寿命，因此需多次进行更换，但he-ne激光器安装到设备上前，外层还会安装圆柱外壳用于连接光刻设备，由于激光器与外壳是用顶丝固定的，松紧顶丝过程难免出现误差导致光束入射倾斜，如果没有有效的方法确认激光管的同心度，将无法保证lsa对准系统的精度。

3、现有技术中通常采用专用设备通过波长等信息进行同心度的检测，但是使用专用设备检测的效率低。

4、因此，需要一种同心度检测装置对激光管的同心度进行初步筛选，排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种同心度检测装置，能够对激光管的同心度进行初步筛选，提升检测效率。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、同心度检测装置，所述同心度检测装置包括：

4、放置座，所述放置座用于放置激光管；</p>

5、反射板，所述反射板倾斜设置于所述放置座的一侧，所述反射板用于反射所述激光管发出的激光得到反射光线；

6、刻度盘，所述刻度盘位于所述反射板的反射路径上，所述刻度盘用于指示所述反射光线的偏差值。

7、作为一种可选的技术方案，所述同心度检测装置还包括底座，所述放置座、所述反射板和所述刻度盘均设置于所述底座。

8、作为一种可选的技术方案，所述放置座具有放置槽，所述放置槽呈v形。

9、作为一种可选的技术方案，所述放置座底部开设有第一螺纹孔，所述底座开设有第一通孔，连接件穿过所述第一通孔后与所述第一螺纹孔螺接，以将所述放置座与所述底座可拆卸连接。

10、作为一种可选的技术方案，所述第一通孔为沉头孔，且所述沉头孔的沉头部位位于所述底座的底面上，所述连接件为第一螺栓，所述沉头部位用于容纳所述第一螺栓的螺头。

11、作为一种可选的技术方案，所述反射板包括连接部和反射部，所述连接部与所述反射部连接，且所述连接部用于连接所述底座，所述反射部与所述放置座的轴线呈角度设置。

12、作为一种可选的技术方案，所述连接部开设第二通孔，所述底座上开设第二螺纹孔，第二螺栓穿过所述第二通孔后与所述第二螺纹孔螺纹连接，以将所述反射板可拆卸连接于所述底座。

13、作为一种可选的技术方案，所述第二通孔为腰型孔，所述第二螺栓能够沿所述腰型孔滑动，通过调节所述第二螺栓沿所述腰型孔滑动，进而调节所述反射板位于所述底座的位置。

14、作为一种可选的技术方案，所述刻度盘为刻蚀在所述底座上的若干刻度线。

15、作为一种可选的技术方案，所述底座两侧设置有把手。

16、本技术的有益效果：

17、本技术公开一种同心度检测装置，该同心度检测装置包括放置座、反射板和刻度盘，放置座用于放置激光管，反射板倾斜设置于放置座的一侧，反射板用于反射激光管发出的激光得到反射光线，刻度盘位于反射板的反射路径上，刻度盘用于指示反射光线的偏差值。这种同心度检测装置结构简单，能够对激光管的同心度进行快速检测及筛选，能够快速排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

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【技术保护点】

1.同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置包括：

2.根据权利要求1所述的同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置还包括底座(40)，所述放置座(10)、所述反射板(20)和所述刻度盘(30)均设置于所述底座(40)。

3.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)具有放置槽(11)，所述放置槽(11)呈V形。

4.根据权利要求3所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)底部开设有第一螺纹孔，所述底座(40)开设有第一通孔(41)，连接件穿过所述第一通孔(41)后与所述第一螺纹孔螺接，以将所述放置座(10)与所述底座(40)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的同心度检测装置，其特征在于，所述第一通孔(41)为沉头孔，且所述沉头孔的沉头部位位于所述底座(40)的底面上，所述连接件为第一螺栓，所述沉头部位用于容纳所述第一螺栓的螺头。

6.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述反射板(20)包括连接部(21)和反射部(22)，所述连接部(21)与所述反射部(22)连接，且所述连接部(21)用于连接所述底座(40)，所述反射部(22)与所述放置座(10)的轴线呈角度设置。

7.根据权利要求6所述的同心度检测装置，其特征在于，所述连接部(21)开设第二通孔(211)，所述底座(40)上开设第二螺纹孔(42)，第二螺栓穿过所述第二通孔(211)后与所述第二螺纹孔(42)螺纹连接，以将所述反射板(20)可拆卸连接于所述底座(40)。

8.根据权利要求7所述的同心度检测装置，其特征在于，所述第二通孔(211)为腰型孔，所述第二螺栓能够沿所述腰型孔滑动，通过调节所述第二螺栓沿所述腰型孔滑动，进而调节所述反射板(20)位于所述底座(40)的位置。

9.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述刻度盘(30)为刻蚀在所述底座(40)上的若干刻度线。

10.根据权利要求2-9任一项所述的同心度检测装置，其特征在于，所述底座(40)两侧设置有把手(43)。

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【技术特征摘要】

1.同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置包括：

2.根据权利要求1所述的同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置还包括底座(40)，所述放置座(10)、所述反射板(20)和所述刻度盘(30)均设置于所述底座(40)。

3.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)具有放置槽(11)，所述放置槽(11)呈v形。

4.根据权利要求3所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)底部开设有第一螺纹孔，所述底座(40)开设有第一通孔(41)，连接件穿过所述第一通孔(41)后与所述第一螺纹孔螺接，以将所述放置座(10)与所述底座(40)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的同心度检测装置，其特征在于，所述第一通孔(41)为沉头孔，且所述沉头孔的沉头部位位于所述底座(40)的底面上，所述连接件为第一螺栓，所述沉头部位用于容纳所述第一螺栓的螺头。

6.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述反射板(20)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峻峰，李华，王晓军，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：