一种前驱体温度监控系统技术方案

本发明专利技术公开了一种前驱体温度监控系统，所述前驱体温度监控系统包括：汽化器

【技术实现步骤摘要】
一种前驱体温度监控系统


[0001]本专利技术属于半导体制备领域，尤其涉及一种前驱体温度监控系统
。

技术介绍

[0002]半导体加工工艺中常常会使用到前驱体
。
而前驱体为了进入工艺腔内部，通常为经过汽化器变成气体状态再进入工艺腔中
。
[0003]此时，汽化器与工艺腔间的连接配管中通过设置加热带，以防止气化的前驱体再被液化
。
但是，加热带一旦发生故障，也没有能够检测的方法
。
例如，加热带温度发生偏差等，容易导致前驱体没有完全被气化，从而流向工艺腔内部的气体内则可能会产生颗粒，从而影响工艺腔内半导体的加工质量
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于，为克服现有技术缺陷，提供了一种前驱体温度监控系统，通过本专利技术的前驱体温度监控系统设置，避免了气化后前驱体在传输管体内再液化而无法被监控的问题
。
[0005]本专利技术目的通过下述技术方案来实现：
[0006]一种前驱体温度监控系统，所述前驱体温度监控系统包括：汽化器
、
管体
、
工艺腔
、
第一测温单元和第二测温单元，所述汽化器经管体与工艺腔连通，所述前驱体经汽化器气化后经管体流入工艺腔内，所述管体内布设有加热带，且所述第一测温单元位于管体之上并靠近于所述汽化器设置，所述第二测温单元位于管体之上并靠近于所述工艺腔设置
。
[0007]根据一个优选的实施方式，所述前驱体温度监控系统还包括监控单元，所述监控单元分别与第一测温单元和第二测温单元相连
。
[0008]根据一个优选的实施方式，所述监控单元与第一测温单元和第二测温单元采用有线和
/
或无线的连接方式相连
。
[0009]根据一个优选的实施方式，所述管体的末端还设有联锁装置，所述联锁装置与监控单元相连；当所述第二测温单元侧的温度小于第一测温单元测得温度时，所述联锁装置完成管体的隔断处理
。
[0010]根据一个优选的实施方式，所述联锁装置与监控单元采用有线和
/
或无线的连接方式相连
。
[0011]根据一个优选的实施方式，所述管体中部还设有过滤器
。
[0012]根据一个优选的实施方式，所述第一测温单元为热电偶
。
[0013]根据一个优选的实施方式，所述第二测温单元为热电偶
。
[0014]前述本专利技术主方案及其各进一步选择方案可以自由组合以形成多个方案，均为本专利技术可采用并要求保护的方案
。
本领域技术人员在了解本专利技术方案后根据现有技术和公知常识可明了有多种组合，均为本专利技术所要保护的技术方案，在此不做穷举
。
[0015]本专利技术的有益效果：
[0016]本专利技术系统中通过设置第一测温单元和第二测温单元，实现了对气化后前驱体的温度监控，当第二测温单元测得温度大于等于第一测温单元测得的温度，即表明气化后的前驱体温度没有降低，加热带没有出现故障，也即是气化后的前驱体没有出现再次液化的情况，从而可以通入至工艺腔内
。
[0017]并且，本专利技术通过系统内的监控单元和联锁装置的设置，可以实现本系统的智能化，即是智能化的前驱体温度监控，并在监控出现异常时，关闭管体，避免液化的前驱体流入工艺腔影响晶片制备
。
附图说明
[0018]图1是本专利技术前驱体温度监控系统的结构原理示意图；
[0019]其中，
101
‑
汽化器，
102
‑
管体，
103
‑
工艺腔，
104
‑
过滤器，
105
‑
第一测温单元，
106
‑
第二测温单元，
107
‑
监控单元
。
具体实施方式
[0020]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效
。
本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变
。
需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
[0021]需要说明的是，为使本专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制
。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性
。
[0023]此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜
。
如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜
。
[0024]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义
。
[0025]另外，本专利技术要指出的是，本专利技术中，如未特别写出具体涉及的结构
、
连接关系
、
位置关系
、
动力来源关系等，则本专利技术涉及的结构
、
连接关系
、
位置关系
、
动力来源关系等均为本领域技术人员在现有技术的基础上，可以不经过创造性劳动可以得知的
。
[0026]实施例1：
[0027]参考图1所示，本专利技术公开了一种前驱体温度监控系统，所述前驱体温度监控系统包括：汽化器
101、
管体
102、
工艺腔
103、
第一测温单元
105
和第二测温单元
106。
[0028]汽化器
101
经管体
102
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种前驱体温度监控系统，其特征在于，所述前驱体温度监控系统包括：汽化器
(101)、
管体
(102)、
工艺腔
(103)、
第一测温单元
(105)
和第二测温单元
(106)
，所述汽化器
(101)
经管体
(102)
与工艺腔
(103)
连通，所述前驱体经汽化器
(101)
气化后经管体
(102)
流入工艺腔
(103)
内，所述管体
(102)
内布设有加热带，且所述第一测温单元
(105)
位于管体
(102)
之上并靠近于所述汽化器
(101)
设置，所述第二测温单元
(106)
位于管体
(102)
之上并靠近于所述工艺腔
(103)
设置
。2.
如权利要求1所述的前驱体温度监控系统，其特征在于，所述前驱体温度监控系统还包括监控单元
(107)
，所述监控单元
(107)
分别与第一测温单元
(105)
和第二测温单元
(106)
相连
。3.

【专利技术属性】
技术研发人员：李殷廷，金东盱，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：