腔室定心工装制造技术

本实用新型专利技术提供一种种腔室定心工装，包括腔室卡件

【技术实现步骤摘要】
腔室定心工装


[0001]本技术涉及半导体设备
，更为具体地，涉及一种腔室定心工装
。

技术介绍

[0002]半导体
CVD(Chemical Vapor Deposition,
化学气相沉积
)
设备中，需要将圆形的加热器与圆筒形的腔室中心轴对齐并组装在一起，晶圆置于腔室内，加热器对其进行加热，腔室的上部设有喷淋头往腔室内喷入处理气体，对晶圆进行蚀刻处理等
。
[0003]腔室与加热器的中心对齐，现有技术中采用半径固定的定心工装卡置在腔室的上口边缘，然后将定心工装的中心与加热器的中心通过穿轴对齐，定心工装与腔室边缘的接触端，加工成与腔室边缘可卡固的结构
。
但是，若需要更换不同规格的腔室，必须采用与腔室半径
、
边缘相配合的定心工装才能完成中心对齐，每个腔室需专门配置一个定心工装，增加了设备的成本
。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种腔室定心工装，适用于不同规格的腔室与加热器中心对齐
、
平行安装
。
[0005]本技术提供的一种腔室定心工装，包括腔室卡件
、
加热器卡件和定位销，其中，
[0006]所述腔室卡件包括第一中心板和均匀设置在所述第一中心板的外周的第一翼板，在所述第一中心板的中央设置有通孔，所述第一翼板的中心线处于同一个圆的半径上，在所述第一翼板上沿所述中心线设置有与所述第一中心板距离可调的第一卡块；/>[0007]所述加热器卡件包括与所述第一中心板同轴的第二中心板，和均匀设置在所述第二中心板的外周的第二翼板，在所述第二中心板的中央设置有定位孔，在所述第二翼板远离所述第二中心板的一端设置有第二卡块；
[0008]所述定位销穿过所述通孔插入所述定位孔中
。
[0009]在所述第一翼板上沿所述中心线的位置设置有长孔，所述第一卡块与所述长孔可拆卸连接
。
[0010]所述第一卡块包括圆柱块体，在所述圆柱块体的上部中央设置有螺纹孔，所述圆柱块体通过穿过所述长孔和所述螺纹孔的螺栓紧固在所述第一翼板的下侧
。
[0011]所述第一中间板的下表面低于所述第一翼板的下表面，将所述圆柱块体与所述第一中心板相对的侧面均设置为平面，所述平面均垂直于所述中心线；
[0012]在所述圆柱块体的上部设置有限位柱，所述限位柱和所述螺纹孔的中心连线垂直于所述圆柱块体上的平面；
[0013]所述限位柱的外径与所述长孔的宽度相适配
。
[0014]在所述第一翼板的上表面设置有刻度尺，所述刻度尺与所述长孔平行
。
[0015]在所述第一翼板的上部和所述螺栓之间设置有量尺板，在所述量尺板的中部设置
有用于穿过所述螺栓的穿孔，在所述量尺板上设置有长条形的观察孔
。
[0016]在所述第一翼板上沿所述中心线的位置设置有至少两个安装孔，所述第一卡块通过螺栓安装在所述安装孔的下方，所述第一卡块朝向所述腔室的内壁的一侧为弧面
。
[0017]所述第一翼板和所述第二翼板的数量均为3个
。
[0018]所述第一翼板为长方形板，将所述长方形板远离所述第一中心板的端部设置为等腰三角形，在所述等腰三角形的尖端下方设置有凸块；
[0019]所述第二卡块朝向所述加热器的一侧为与所述加热器的外壁相贴合的弧面
。
[0020]还包括定位销座，所述定位销座包括底座和设置在所述底座的上方中央的销柱，在所述底座和所述销柱的中央均设置有中孔，所述底座通过螺栓固定在所述第一中心板的上方中央
。
[0021]从上面的描述可知，本技术提供的腔室定心工装，包括卡在腔室上开口的腔室卡件和卡在加热器边缘的加热器卡件，在两个卡件的中部穿插定位销，将腔室和加热器中心对齐
、
保持平行，为了适应不同规格的腔室，将腔室卡件上与腔室上开口接触的第一卡块设置为可调节形式，根据上开口的半径调节第一卡块的位置
。
本技术实现了工装的通用性，无需为每个腔室配置专用的工装，降低了设备的成本
。
附图说明
[0022]通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容，并且随着对本技术的更全面理解，本技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解
。
[0023]在附图中：
[0024]图1为根据本技术实施例1的腔室定心工装的结构示意图；
[0025]图2为图1的
A
‑
A
剖视图；
[0026]图3为根据本技术实施例1的腔室卡件的结构示意图；
[0027]图4为根据本技术实施例1的腔室卡件的俯视图；
[0028]图5为图4中
B
的放大图；
[0029]图6为根据本技术实施例1的腔室卡件的仰视图；
[0030]图7为根据本技术实施例1的第一卡块的结构示意图；
[0031]图8为根据本技术实施例1的第一卡块的俯视图；
[0032]图9为图8的
C
‑
C
剖视图；
[0033]图
10
为根据本技术实施例1的定位销座的结构示意图；
[0034]图
11
为根据本技术实施例1的加热器卡件的结构示意图；
[0035]图
12
为根据本技术实施例2的第一翼板的结构示意图；
[0036]图
13
为根据本技术实施例2的量尺板的结构示意图；
[0037]图
14
为根据本技术实施例3的第一翼板的结构示意图；
[0038]其中，1‑
腔室卡件
、11
‑
第一中心板
、12
‑
第一翼板
、13
‑
通孔
、14
‑
第一卡块
、15
‑
长孔
、16
‑
圆柱块体
、17
‑
螺纹孔
、18
‑
螺栓
、19
‑
限位柱
、110
‑
刻度尺
、111
‑
量尺板
、112
‑
穿孔
、113
‑
观察孔
、114
‑
安装孔
、115
‑
凸块；
[0039]2‑
加热器卡件
、21
‑
第二中心板
、22
‑
第二翼板
、23
‑
定位孔
、24
‑
第二卡块；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种腔室定心工装，其特征在于，包括腔室卡件
、
加热器卡件和定位销，其中，所述腔室卡件包括第一中心板和均匀设置在所述第一中心板的外周的第一翼板，在所述第一中心板的中央设置有通孔，所述第一翼板的中心线处于同一个圆的半径上，在所述第一翼板上沿所述中心线设置有与所述第一中心板距离可调的第一卡块；所述加热器卡件包括与所述第一中心板同轴的第二中心板，和均匀设置在所述第二中心板的外周的第二翼板，在所述第二中心板的中央设置有定位孔，在所述第二翼板远离所述第二中心板的一端设置有第二卡块；所述定位销穿过所述通孔插入所述定位孔中
。2.
如权利要求1所述的腔室定心工装，其特征在于，在所述第一翼板上沿所述中心线的位置设置有长孔，所述第一卡块与所述长孔可拆卸连接
。3.
如权利要求2所述的腔室定心工装，其特征在于，所述第一卡块包括圆柱块体，在所述圆柱块体的上部中央设置有螺纹孔，所述圆柱块体通过穿过所述长孔和所述螺纹孔的螺栓紧固在所述第一翼板的下侧
。4.
如权利要求3所述的腔室定心工装，其特征在于，所述第一中心板的下表面低于所述第一翼板的下表面，将所述圆柱块体与所述第一中心板相对的侧面均设置为平面，所述平面均垂直于所述中心线；在所述圆柱块体的上部设置有限位柱，所述限位柱和所述螺纹孔的中心连线垂直于所述圆柱块体上的平面；所述限位柱的...

【专利技术属性】
技术研发人员：车世旭，金秀宪，郑盈箕，吴泰润，李踵荣，朴哲官，柳相晩，尹仁相，金在勋，李吉荣，崔煐来，吉炯昱，沈常圭，罗正钦，玄暻，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：