一种喷淋装置制造方法及图纸

本申请涉及一种喷淋装置

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋装置、处理设备及处理设备的喷淋工艺


[0001]本申请涉及喷淋设备
，具体涉及一种喷淋装置
、
处理设备及处理设备的喷淋工艺
。

技术介绍

[0002]通过喷淋装置将工艺气体通入载具的反应腔室内，并在反应腔室内的基片表面成膜，在成膜过程中，为使膜层更加均一，可将待成膜的基片以一定速度均匀旋转，但是此种方式适用于基片数量较少
、
旋转速度较小的情况，随着生产的批量化，产能增加，载具变得庞大，基片载量增多，使基片旋转的方式会增加结构的复杂程度，同时对基片及载具来说损坏的风险也较大
。
[0003]因此，如何提高基片成膜均一性，并且适用于基片数量较多的情况，同时不会对基片和载具造成损坏，是本领域技术人员亟需解决的技术问题
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种喷淋装置
、
处理设备及处理设备的喷淋工艺，能够提高基片成膜均一性，并且适用于基片数量较多的情况，同时不会对基片和载具造成损坏
。
[0005]为解决上述技术问题，本申请提供一种喷淋装置，包括基板
、
分配部和至少一个管组；所述分配部设有至少一个腔室，所述管组包括多根喷淋管，各所述喷淋管沿所述分配部的周向均匀间隔布置，所述喷淋管的一端与所述分配部固定并与所述腔室连通，所述喷淋管的另一端封堵，所述喷淋管背向所述基板的一侧沿轴向间隔设置有多个喷淋孔；所述分配部可转动地连接于所述基板，所述基板设有与所述腔室连通的进气管<br/>。
[0006]可选地，所述腔室的数量为两个，两个所述腔室分别为第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室沿所述分配部的轴向间隔设置；所述第一腔室位于靠近所述基板的一侧，所述第二腔室位于远离所述基板的一侧；所述管组的数量为两个，两个所述管组的所述喷淋管沿所述分配部的轴向间隔设置，并分别与所述第一腔室及所述第二腔室对应连通
。
[0007]可选地，所述基板朝向出气侧的表面设有环形挡板，所述分配部朝向基板的一侧设有凹槽，所述环形挡板和所述凹槽的槽壁能够通过插接连接并围合形成所述第一腔室
。
[0008]可选地，所述环形挡板和所述凹槽的槽壁之间，沿周向还夹设有第一密封条
。
[0009]可选地，所述凹槽的槽底壁的开口端端面和所述基板之间还夹设有第一润滑垫
。
[0010]可选地，所述基板还设有至少一个第一进气管，所述第一进气管穿过所述基板并与所述第一腔室连通
。
[0011]可选地，所述基板还贯穿设有第二进气管，所述第二进气管穿过所述第一腔室并与所述第二腔室连通固定，所述第二进气管与所述分配部同轴设置
。
[0012]可选地，所述基板的进气侧还固设有连接筒，所述第二进气管的第二端部穿过所述连接筒并被封堵；所述第二进气管的外壁和所述连接筒的内壁之间，沿周向夹设有第二
密封条和第三密封条，并在所述第二密封条和所述第三密封条之间形成进气腔；所述连接筒的侧壁开设有与所述进气腔连通的进气口，所述第二进气管的侧壁开设有与所述进气腔连通的进气孔
。
[0013]可选地，所述第二端部伸出所述连接筒外，所述连接筒的内壁沿周向设有台阶结构，且所述连接筒还螺纹连接有调节环；所述调节环和所述台阶结构的台阶面之间还安装有所述第三密封条和隔圈，所述隔圈与所述调节环抵接；所述第二端部的外壁沿周向还设有卡槽，所述卡槽内安装有卡簧，所述卡簧用于限制所述调节环与所述第二端部脱离
。
[0014]可选地，所述卡簧和所述调节环的端部之间还设有第二润滑垫
。
[0015]可选地，还包括驱动部，所述驱动部与所述第二端部传动连接，并通过所述第二进气管驱动所述分配部相对于所述基板转动
。
[0016]可选地，相邻两个所述喷淋孔之间的间距，由朝向所述分配部的一侧向远离所述分配部的一侧逐渐减小
。
[0017]可选地，所述基板沿厚度方向还贯穿设有吹气孔
。
[0018]本申请还提供了一种处理设备，包括载具以及如上所述的喷淋装置，所述载具包括反应腔室，所述喷淋装置设于所述反应腔室的进气口侧，并用于向所述反应腔室内喷气
。
[0019]可选地，还包括筒状腔室，所述载具位于所述筒状腔室内，且所述筒状腔室的内壁设有加热装置
。
[0020]可选地，所述载具包括壳体，所述壳体的轴向两端开口；所述处理设备还包括导流罩，所述导流罩包括一体成型或固定连通的第一段和第二段，所述第一段的端部与所述基板贴合，所述第二段的端部与所述载具的壳体端部贴合
。
[0021]可选地，所述反应腔室与所述筒状腔室连通；所述处理设备还包括遮挡罩，所述遮挡罩的一端与所述基板的出气侧贴合，所述遮挡罩的另一端与所述筒状腔室的侧壁贴合
。
[0022]可选地，还包括设于所述反应腔室进气口侧的匀流片
。
[0023]可选地，还包括加热盘，所述加热盘固设于所述喷淋装置的基板的出气侧，所述加热盘能够用于加热所述喷淋装置的喷淋管
。
[0024]可选地，所述加热盘与所述基板之间能够围合形成加热气腔，所述基板设有与所述加热气腔连通的吹气孔，所述加热盘设有与所述加热气腔连通的通气孔
。
[0025]本申请还提供了一种处理设备的喷淋工艺，基于如上所述的处理设备，所述处理设备的喷淋工艺包括如下步骤：
S1
：加热盘以第一温度加热，向反应腔室内通入惰性气体；
S2
：加热盘以第二温度加热，分配部以第二转速转动，并通过喷淋管向反应腔室内通入第一工艺气体；
S3
：加热盘以第二温度加热，向反应腔室内通入吹扫气体；
S4
：加热盘以第二温度加热，分配部以第二转速转动，并通过喷淋管向反应腔室内通入第二工艺气体；
S5
：加热盘以第二温度加热，向反应腔室内通入吹扫气体
。
[0026]可选地，步骤
S1
中，加热盘以第一温度加热，分配部以第一转速转动，并通过喷淋管向反应腔室内通入惰性气体；步骤
S3
中，加热盘以第二温度加热，分配部以第二转速转动，并通过喷淋管向反应
腔室内通入吹扫气体；步骤
S5
中，加热盘以第二温度加热，分配部以第二转速转动，并通过喷淋管向反应腔室内通入吹扫气体
。
[0027]本申请所提供的喷淋装置
、
处理设备及处理设备的喷淋工艺，相较于现有技术，具有如下技术效果：分配部相对于基板转动时，能够带动各管组的喷淋管一同转动，喷淋管在转动过程中，通过喷淋孔向反应腔室内喷入工艺气体，如此一来，能够增加工艺气体的气流扰动，改善气流的均一性，使得工艺气体均匀地弥散在反应腔室内部，进而保证在基片表面成膜的均一性
。
[0028]通过分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种喷淋装置，其特征在于，包括基板
、
分配部和至少一个管组；所述分配部设有至少一个腔室，所述管组包括多根喷淋管，各所述喷淋管沿所述分配部的周向均匀间隔布置，所述喷淋管的一端与所述分配部固定并与所述腔室连通，所述喷淋管的另一端封堵，所述喷淋管背向所述基板的一侧沿轴向间隔设置有多个喷淋孔；所述分配部可转动地连接于所述基板，所述基板设有与所述腔室连通的进气管
。2.
根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述腔室的数量为两个，两个所述腔室分别为第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室沿所述分配部的轴向间隔设置；所述第一腔室位于靠近所述基板的一侧，所述第二腔室位于远离所述基板的一侧；所述管组的数量为两个，两个所述管组的所述喷淋管沿所述分配部的轴向间隔设置，并分别与所述第一腔室及所述第二腔室对应连通
。3.
根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板朝向出气侧的表面设有环形挡板，所述分配部朝向基板的一侧设有凹槽，所述环形挡板和所述凹槽的槽壁能够通过插接连接并围合形成所述第一腔室
。4.
根据权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，所述环形挡板和所述凹槽的槽壁之间，沿周向还夹设有第一密封条
。5.
根据权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，所述凹槽的槽壁的开口端端面和所述基板之间还夹设有第一润滑垫
。6.
根据权利要求2‑5任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板还设有至少一个第一进气管，所述第一进气管穿过所述基板并与所述第一腔室连通
。7.
根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板还贯穿设有第二进气管，所述第二进气管穿过所述第一腔室并与所述第二腔室连通固定，所述第二进气管与所述分配部同轴设置
。8.
根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板的进气侧还固设有连接筒，所述第二进气管的第二端部穿过所述连接筒并被封堵；所述第二进气管的外壁和所述连接筒的内壁之间，沿周向夹设有第二密封条和第三密封条，并在所述第二密封条和所述第三密封条之间形成进气腔；所述连接筒的侧壁开设有与所述进气腔连通的进气口，所述第二进气管的侧壁开设有与所述进气腔连通的进气孔
。9.
根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述第二端部伸出所述连接筒外，所述连接筒的内壁沿周向设有台阶结构，且所述连接筒还螺纹连接有调节环；所述调节环和所述台阶结构的台阶面之间还安装有所述第三密封条和隔圈，所述隔圈与所述调节环抵接；所述第二端部的外壁沿周向还设有卡槽，所述卡槽内安装有卡簧，所述卡簧用于限制所述调节环与所述第二端部脱离
。10.
根据权利要求9所述的喷淋装置，其特征在于，所述卡簧和所述调节环的端部之间还设有第二润滑垫
。11.
根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，还包括驱动部，所述驱动部与所述第二端部传动连接，并通过所述第二进气管驱动所述分配部相对于所述基板转动
。
12.
根据权利要求1‑5任一项所述的喷淋装置，其特征在于，相邻两个所述喷淋孔之间的间距，由朝向所述分配部的一侧向远离所述分配部的一侧逐渐减小
。13.
...

【专利技术属性】
技术研发人员：施述鹏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：