一种柔性基底制造技术

本发明专利技术提供一种柔性基底

【技术实现步骤摘要】
一种柔性基底ALD沉积氧化铝薄膜的方法及应用


[0001]本专利技术涉及光伏电池制造
，特别是涉及一种柔性基底
ALD
沉积氧化铝薄膜的方法及应用
。

技术介绍

[0002]柔性太阳能电池是一种具有柔性和可弯曲性的太阳能电池，它可以适应各种曲面
、
形状和材料，具有较高的设计灵活性和应用潜力
。
柔性太阳能电池需要使用柔性基底材料和可弯曲的电池材料
。
随着材料科学的进步，研究人员已经成功开发出一系列具有高度柔性的材料，如有机聚合物
、
钙钛矿
、
铜铟镓硒等，使得柔性太阳能电池的制造成为可能
。
[0003]柔性太阳能电池的衬底是太阳能电池具备柔性特性的关键构造之一，可以应用于弯曲表面
、
可穿戴电子设备和其他需要柔性电源的场景
。
柔性太阳能电池的衬底通常由柔性材料制成，例如聚酯薄膜
、
聚酰亚胺薄膜（如
Kapton
）
、
聚酰胺薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种柔性基底
ALD
沉积氧化铝薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤（1）：提供一个
ALD
沉积腔室；所述
ALD
沉积腔室内设有柔性基底旋转载具，所述柔性基底旋转载具包括转轴
、
套接在转轴上的承载筒和用于驱动承载筒转动的驱动装置，所述承载筒的内筒壁设有预热组件；步骤（2）：将
PET
基底沿承载筒的筒壁圆周方向真空吸附在柔性基底旋转载具上，将柔性基底旋转载具安装于
ALD
沉积腔室内，将
ALD
沉积腔室抽真空至
0.05~0.5Torr
，开启预热组件将
PET
基底预热至
40~50℃
；步骤（3）：将
ALD
沉积腔室加热至
70~75℃
，先通入
TMA
，然后通入氮气吹扫，然后通入水蒸汽，最后通入
100~110℃
的氮气吹扫，以此循环，在
PET
基底上沉积氧化铝薄膜；单次循环中，通入
TMA
和水蒸汽时，以
2~5r/min
的转速转动承载筒；采用氮气吹扫过程中均以
10~15r/min
的转速转动承载筒
。2.
根据权利要求1所述的柔性基底
ALD
沉积氧化铝薄膜的方法，其特征在于：所述承载筒位于
ALD
沉积腔室的中心轴处，且沿
ALD
沉积腔室的长度方向贯穿首尾；所述转轴的两端与
ALD
沉积腔室的两端转动连接
。3.
根据权利要求1所述的柔性基底
ALD
沉积氧化铝薄膜的方法，其特征在于：所述承载筒的外筒壁沿圆周方向设有用于吸附柔性基底的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，李丙科，陈加朋，卓倩武，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：