【技术实现步骤摘要】
一种金属有机气相沉积装置
[0001]本技术属于气相沉积
，尤其涉及一种金属有机气相沉积装置
。
技术介绍
[0002]气相沉积技术是利用气相中发生的物理
、
化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属
、
非金属或化合物涂层；气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积
、
物理气相沉积和等离子体气相沉积；现有技术中，公开了一种有机金属化学气相沉积装置，申请号为
201720487244.6
，包括依次连接的载气供应单元
、
有机金属罐
、
双管式加热炉和尾气处理单元；该装置通过进气管路和反应器结构设计，能够大大提高有机金属化合物的沉积效率，降低薄膜沉积成本
。
[0003]但是，上述结构中还存在不足之处，该化学气相沉积装置直接将反应气体通向内管上的基体，在进行沉积时气体与基体的接触面积有限，因此沉积效率低，且反应气体来不及扩散均匀就开始反应，导致在基体表面沉积的薄膜均匀性较差，故有待改进
。
[0004]因此，有必要提供新的一种金属有机气相沉积装置解决上述技术问题
。
技术实现思路
[0005]本技术解决的技术问题是提供通过设置旋转机构，方便带动衬底机构进行旋转，旋转的衬底机构不但可搅动反应箱内部气体，促进其反应，同时可加大气体与基体的反应面积，使基体的表面均匀的反应形成薄膜，以此来提高反应效率
。
[0006]为解决上述技术问题，本技...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种金属有机气相沉积装置，其特征在于，包括配电箱：所述配电箱的表面设置有控制器，所述配电箱的顶部固定安装有反应箱，所述反应箱的顶部固定安装有透明储气筒，所述透明储气筒的表面连通有加气管，所述透明储气筒内设置有充入机构，所述反应箱底部的内壁设置有加热器，所述反应箱内固定安装有安装板，所述安装板的表面开设有多个散热口，所述安装板的顶部固定安装有方盒，所述方盒内转动安装有转轴，所述转轴的顶端延伸出方盒外，所述反应箱内设置有衬底机构，所述反应箱内设置有旋转机构，所述反应箱的顶部固定安装有沉淀箱，所述反应箱的顶部固定安装有气泵，所述气泵的进气端与反应箱相连通；所述旋转机构包括有电机
、
连接杆
、
第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述电机固定安装在反应箱一侧的表面，所述连接杆转动安装在反应箱内，所述连接杆与电机的输出端固定连接，所述第一锥形齿轮设置在方盒内，所述连接杆的一端延伸至方盒内并与第一锥形齿轮固定连接，所述第二锥形齿轮固定安装在转轴的表面，所述第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合
。2.
根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾道敏，高少波，王德标，郑浣莲，
申请(专利权)人：杭州道亦杰合智创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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