一种匀流装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种匀流装置，该匀流装置包括匀流框架

【技术实现步骤摘要】
一种匀流装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种匀流装置
。

技术介绍

[0002]在半导体设备进行工艺的过程中，需要向反应腔室通入工艺气体，但是在通入工艺气体时，存在工艺气体在整个反应腔室内的分布不均匀的情况，从而影响了工艺的均匀性，为了避免这种情况，通常会在反应腔室的进气位置设置一个匀流装置，现有的匀流装置包括框架结构和设在框架结构内的匀流板，匀流板长度与硅片长度一致，框架结构包括多个可拆卸连接的支撑板，匀流板的四周均设置有支撑板且前后均设有支撑槽杆
。
这种结构的缺陷在于，匀流板的长度需要与框架结构限定出的空间的长度相同，也就是说，该匀流装置不能兼容多种长度的匀流板，且由于匀流板的顶壁和底壁均插入在支撑板的卡槽，相对设置的两个侧壁插入到支撑槽杆内，当匀流板三个侧边都插入到卡槽中，与第四个侧边的支撑板或者支撑槽杆需要一次性把所有的匀流板卡进去，耗费时间长，操作难度较大，且当一个匀流板出现损坏时，需要将顶部的支撑板拆除，然后抽出匀流板，操作较为复杂，且在拆卸支撑板的同时还有可能造成其他匀流板损坏
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种匀流装置，该匀流装置能够兼容多种长度的匀流板，且安装和拆卸匀流板的操作非常便捷
。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种匀流装置，包括：匀流框架，所述匀流框架包括底板和连接在底板两端的支撑板；支撑杆，所述支撑杆的两端可拆卸地连接于两个所述支撑板，所述底板和所述支撑杆中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽；匀流板，所述匀流板插接于所述限位槽
。
[0006]在一些实施例中，所述支撑板设有安装槽，所述安装槽的一端敞开设置形成安装开口，所述支撑杆能够从所述安装开口卡入所述安装槽内
。
[0007]在一些具体的实施例中，所述支撑杆具有止抵平面，所述止抵平面止抵于所述安装槽的底壁和
/
或顶壁上
。
[0008]在一些具体的实施例中，所述安装开口形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且所述安装开口的内壁形成有用于导向所述支撑杆的导向弧面
。
[0009]在一些实施例中，所述支撑板的相对设置的两侧均设有至少一个所述支撑杆
。
[0010]在一些具体的实施例中，所述支撑板两侧分别设有多个沿所述支撑板的高度方向间隔设置的所述支撑杆，且多个所述支撑杆中的至少一个上设有限位槽
。
[0011]在一些实施例中，所述支撑杆包括支撑光杆和
/
或支撑齿杆，所述支撑光杆的外周壁止抵于所述匀流板的侧壁，所述支撑齿杆上设有所述限位槽
。
[0012]在一些实施例中，所述底板的两端设有第一安装部，所述支撑板的两端设有与所
述第一安装部配合的第二安装部
。
[0013]在一些具体的实施例中，所述第一安装部和所述第二安装部均为安装孔，所述底板和所述支撑板通过穿设于所述安装孔的连接件相连；或者：所述第一安装部和所述第二安装部中的一个为插接凸起，所述第一安装部和所述第二安装部中的另一个为与所述插接凸起配合的插接凹槽
。
[0014]在一些实施例中，所述支撑板上设有减重结构
。
[0015]本技术的匀流装置的有益效果：由于匀流框架包括底板和支撑板，整个匀流框架形成为类似凵字型的框架，在实际安装过程中，只需要将匀流框架和支撑杆组装在一起，然后将匀流板从匀流框架的上方插入两个支撑板之间的空间内，并且保证匀流板卡入设在底板和
/
或支撑杆上的限位槽即可，安装较为方便，当某个匀流板出现损坏或者用于工艺需要更换长度不同的匀流板时，直接将其抽出更换即可，操作非常方便
。
由于匀流框架形成为类似凵字型的框架，并且由于支撑杆的存在，即使匀流板的长度大于或者小于匀流框架，支撑杆也能较好地限制匀流板，由此，本实施例的匀流装置就能够兼容多种长度的匀流板，兼容性较好
。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例一的匀流装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例一的匀流装置的局部结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例一的匀流装置的另一个局部结构示意图；
[0020]图4是本技术实施例一的匀流装置的第一种支撑杆的结构；
[0021]图5是本技术实施例一的匀流装置的第二种支撑杆的结构；
[0022]图6是本技术实施例二的匀流装置的结构示意图
。
[0023]附图标记：
[0024]100、
匀流框架；
110、
底板；
120、
支撑板；
121、
安装槽；
122、
安装开口；
123、
导向弧面；
124、
减重结构；
[0025]200、
支撑杆；
201、
止抵平面；
210、
支撑光杆；
220、
支撑齿杆；
[0026]300、
匀流板；
[0027]400、
限位槽
。
具体实施方式
[0028]为使本技术解决的技术问题
、
采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案
。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术
的限制
。
[0030]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分
。
在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上
。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种匀流装置，其特征在于，包括：匀流框架
(100)
，所述匀流框架
(100)
包括底板
(110)
和连接在所述底板
(110)
上两端的支撑板
(120)
；支撑杆
(200)
，所述支撑杆
(200)
的两端可拆卸地连接于两个所述支撑板
(120)
，所述底板
(110)
和所述支撑杆
(200)
中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽
(400)
；匀流板
(300)
，所述匀流板
(300)
插接于所述限位槽
(400)。2.
根据权利要求1所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑板
(120)
设有安装槽
(121)
，所述安装槽
(121)
的一端敞开设置形成安装开口
(122)
，所述支撑杆
(200)
能够从所述安装开口
(122)
卡入所述安装槽
(121)
内
。3.
根据权利要求2所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑杆
(200)
具有止抵平面
(201)
，所述止抵平面
(201)
止抵于所述安装槽
(121)
的底壁和
/
或顶壁上
。4.
根据权利要求2所述的匀流装置，其特征在于，所述安装开口
(122)
形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且所述安装开口
(122)
的内壁形成有用于导向所述支撑杆
(200)
的导向弧面<...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞爱锁，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：