一种PVD工具真空镀膜机制造技术

技术编号:29030623 阅读:15 留言:0更新日期:2021-06-26 05:34
本实用新型专利技术提供一种PVD工具真空镀膜机。所述PVD工具真空镀膜机,包括支架;操作组件;所述操作组件操作组件的底部固定连接于所述支架的顶部;真空组件,所述真空组件的顶部固定连接于所述支架的底部;镀膜组件,所述镀膜组件的底部固定连接于所述操作组件内壁的底部,固定组件,所述固定组件的两侧固定连接于所述操作组件内壁两侧之间。本实用新型专利技术提供的PVD工具真空镀膜机具有操作组件的使用可以有效的提供一个真空的环境,并且可以通过玻璃观察窗及时看到内部镀膜状况,然后通过固定组件的使用可以稳定的固定住需要镀膜的工具,提高了装置的实用性,通过镀膜组件的使用可以均匀将工具的表面镀膜,组件相互配合使用提高了生产的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD工具真空镀膜机
本技术涉及镀膜领域,尤其涉及一种PVD工具真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。在生产制造业中,我们经常会用到真空镀膜机对零件的表面进行镀膜,大部分的镀膜机都是将物品放置于中,在镀膜过程中可能会被蒸发的气体吹倒,导致物件镀膜效果不好,残次品较多,使得生产效率较低。因此,有必要提供一种PVD工具真空镀膜机解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种PVD工具真空镀膜机,解决了工具无法固定导致残次品较多的问题。为解决上述技术问题,本技术提供的一种PVD工具真空镀膜机,包括支架;操作组件;所述操作组件操作组件的底部固定连接于所述支架的顶部;真空组件,所述真空组件的顶部固定连接于所述支架的底部;镀膜组件,所述镀膜组件的底部固定连接于所述操作组件内壁的底部,所述镀膜组件包括调节电压箱,所述调节电压箱的底部与操作组件内壁的底部固定连接,所述调节电压箱的顶部固定连接有液体存放箱,所述液体存放箱内壁的底部设置有电压发射器;固定组件,所述固定组件的两侧固定连接于所述操作组件内壁两侧之间。优选的,所述操作组件包括操作框,所述操作框的底部与支架的顶部固定连接,所述操作框的正面设置有硅胶垫,所述操作框的设置有箱门,所述箱门的正面设置有玻璃观察窗。优选的,所述真空组件包括真空框,所述真空框的顶部与支架的底部固定连接,所述真空框内壁的底部固定连接有真空泵,所述真空泵的抽气口设置有双通管,所述双通管的两侧均设置有抽气管,两个所述抽气管均贯穿真空框内壁的两侧,两个所述抽气管的顶部均设置有抽气底座。优选的,所述液体存放箱内壁的顶部固定连接有有收集框,所述收集框的顶部转动连接有伸缩气管,所述液体存放箱的右侧固定连接第一电机座,所述第一电机座的顶部固定连接有转动电机,所述转动电机的输出轴固定连接有动力锥形齿轮。优选的,所述液体存放箱的顶部滑动连接有滑动块,所述滑动块的顶部设置有喷口,所述液体存放箱相对一侧之间转动连接有第一螺纹杆,且第一螺纹杆的右侧贯穿液体存放箱的左侧,所述第一螺纹杆的右侧固定连接有辅助锥形齿轮。优选的,所述固定组件包括固定杆,所述固定杆的两侧与操作组件内壁的两侧固定连接,所述固定杆内壁的两侧之间转动连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆表面的两侧设置有固定块,两个所述固定块的底部均固定连接有固定架。优选的,所述第二螺纹杆的右侧的表面固定连接有从动轮,所述固定杆的底部固定连接有第二电机座,所述第二电机座的右侧固定连接有移动电机,所述移动电机的输出轴固定连接有动力轮。与相关技术相比较,本技术提供的PVD工具真空镀膜机具有如下有益效果:本技术提供一种PVD工具真空镀膜机,操作组件的使用可以有效的提供一个真空的环境,并且可以通过玻璃观察窗及时看到内部镀膜状况,然后通过固定组件的使用可以稳定的固定住需要镀膜的工具,提高了装置的实用性,通过镀膜组件的使用可以均匀将工具的表面镀膜,组件相互配合使用提高了生产的效率。附图说明图1为本技术提供的PVD工具真空镀膜机的一种较佳实施例的结构示意图;图2为图1所示正视的结构示意图;图3为图1所示A的结构示意图。图中标号:1、支架,2、操作组件,21、操作框,22、硅胶垫,23、箱门,24、玻璃观察窗,3、真空组件,31、真空框,32、真空泵,33、双通管,34、抽气管,35、抽气底座,4、镀膜组件,41、调节电压箱,42、液体存放箱,43、电压发射器,44、收集框,45、伸缩气管,46、第一电机座,47、转动电机,48、动力锥形齿轮,49、滑动块,410、喷口,411、第一螺纹杆,412、辅助锥形齿轮,5、固定组件,51、固定杆,52、第二螺纹杆,53、固定块,54、固定架,55、从动轮,56、第二电机座,57、移动电机,58、动力轮。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。请结合参阅图1、图2和图3,其中,图1为本技术提供的PVD工具真空镀膜机的一种较佳实施例的结构示意图;图2为图1所示正视的结构示意图;图3为图1所示A的结构示意图。PVD工具真空镀膜机包括支架1;操作组件2;操作组件2操作组件2的底部固定连接于支架1的顶部;真空组件3,真空组件3的顶部固定连接于支架1的底部;镀膜组件4,镀膜组件4的底部固定连接于操作组件2内壁的底部,镀膜组件4包括调节电压箱41,调节电压箱41外接电源,调节电压箱41的底部与操作组件2内壁的底部固定连接,调节电压箱41的顶部固定连接有液体存放箱42,液体存放箱42内壁的底部设置有电压发射器43;固定组件5,固定组件5的两侧固定连接于操作组件2内壁两侧之间。操作组件2包括操作框21,操作框21的底部与支架的顶部固定连接,操作框21的正面设置有硅胶垫22,操作框21的设置有箱门23,箱门23的正面设置有玻璃观察窗24。真空组件3包括真空框31,真空框31的顶部与支架1的底部固定连接,真空框31内壁的底部固定连接有真空泵32,真空泵32外接电源,真空泵32的抽气口设置有双通管33,双通管33的两侧均设置有抽气管34,两个抽气管34均贯穿真空框31内壁的两侧,两个抽气管34的顶部均设置有抽气底座35,两个抽气底座35均设置于操作框21内壁底部的两侧。液体存放箱42内壁的顶部固定连接有有收集框44,收集框44的顶部转动连接有伸缩气管45,液体存放箱42的右侧固定连接第一电机座46,第一电机座46的顶部固定连接有转动电机47,转动电机47外接电源为三相异步电机,转动电机47的输出轴固定连接有动力锥形齿轮48。液体存放箱42的顶部滑动连接有滑动块49,滑动块49的顶部设置有喷口410,液体存放箱42相对一侧之间转动连接有第一螺纹杆411,第一螺纹杆411的表面与滑动块49的正面螺纹连接,且第一螺纹杆411的右侧贯穿液体存放箱42的左侧,第一螺纹杆411的右侧固定连接有辅助锥形齿轮412。固定组件5包括固定杆51,固定杆51的两侧与操作组件2内壁的两侧固定连接,固定杆51内壁的两侧之间转动连接有第二螺纹杆52,第二螺纹杆52表面的两侧设置有固定块53,两个固定块53的底部均固定连接有固定架54。第二螺纹杆52的右侧的表面固定连接有从动轮55,从动轮55和动力轮58的表面由皮带连接,固定杆51的底部固定连接有第二电机座56,第二电机座56的右侧固定连接有移动电机57,移动电机57外接电源为三相异步电机,移动电机57的输出轴固定连接有动力轮58。本技术提供的PVD工具真空镀膜机的工作原理如下:打开箱门23然后将需要的镀膜工具放置在固定架54之间,然后启动移动电机57,然后通过移动电机5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD工具真空镀膜机,其特征在于:包括支架(1);/n操作组件(2);所述操作组件(2)的底部固定连接于所述支架(1)的顶部;/n真空组件(3),所述真空组件(3)的顶部固定连接于所述支架(1)的底部;/n镀膜组件(4),所述镀膜组件(4)的底部固定连接于所述操作组件(2)内壁的底部,所述镀膜组件(4)包括调节电压箱(41),所述调节电压箱(41)的底部与操作组件(2)内壁的底部固定连接,所述调节电压箱(41)的顶部固定连接有液体存放箱(42),所述液体存放箱(42)内壁的底部设置有电压发射器(43);/n固定组件(5),所述固定组件(5)的两侧固定连接于所述操作组件(2)内壁两侧之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种PVD工具真空镀膜机,其特征在于:包括支架(1);
操作组件(2);所述操作组件(2)的底部固定连接于所述支架(1)的顶部;
真空组件(3),所述真空组件(3)的顶部固定连接于所述支架(1)的底部;
镀膜组件(4),所述镀膜组件(4)的底部固定连接于所述操作组件(2)内壁的底部,所述镀膜组件(4)包括调节电压箱(41),所述调节电压箱(41)的底部与操作组件(2)内壁的底部固定连接,所述调节电压箱(41)的顶部固定连接有液体存放箱(42),所述液体存放箱(42)内壁的底部设置有电压发射器(43);
固定组件(5),所述固定组件(5)的两侧固定连接于所述操作组件(2)内壁两侧之间。


2.根据权利要求1所述的PVD工具真空镀膜机,其特征在于,所述操作组件(2)包括操作框(21),所述操作框(21)的底部与支架的顶部固定连接,所述操作框(21)的正面设置有硅胶垫(22),所述操作框(21)设置有箱门(23),所述箱门(23)的正面设置有玻璃观察窗(24)。


3.根据权利要求1所述的PVD工具真空镀膜机,其特征在于,所述真空组件(3)包括真空框(31),所述真空框(31)的顶部与支架(1)的底部固定连接,所述真空框(31)内壁的底部固定连接有真空泵(32),所述真空泵(32)的抽气口设置有双通管(33),所述双通管(33)的两侧均设置有抽气管(34),两个所述抽气管(34)均贯穿真空框(31)内壁的两侧,两个所述抽气管(34)的顶部均设置有抽气底座(35)。

【专利技术属性】
技术研发人员:邵永杰曾道敏朱永凯
申请(专利权)人:杭州道亦杰合智创科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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