蒸发源喷嘴制造技术

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源喷嘴。该蒸发源喷嘴包括喷嘴本体，所述喷嘴本体包括用于使蒸发材料流通的通道；内套，所述内套和所述通道的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套通过所述转动组件可转动地设置于所述通道内。本申请提供的蒸发源喷嘴的至少部分内套通过转动组件可转动地设置于通道内，如此有利于附着在内套上的冷凝材料蒸发或回落至坩埚，从而降低了蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性，提高了蒸镀的质量。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源喷嘴
本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸发源喷嘴。
技术介绍
在OLED的制备工艺中，其中关键技术便是蒸镀工艺。在蒸镀工艺中，将有机材料放置在坩埚中进行加热，有机材料蒸发，蒸发材料通过喷嘴喷出，最终实现对基材的蒸镀。但是，现有的蒸发源喷嘴容易被冷凝的有机材料堵塞，且堵塞的有机材料不易被清洗，从而造成蒸发源的蒸镀质量下降。因此，目前亟待需要一种蒸发源喷嘴来解决上述问题。
技术实现思路
本申请提供了一种蒸发源喷嘴，以降低蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性，从而提高蒸镀质量。本申请实施例提供了一种蒸发源喷嘴，包括：喷嘴本体，所述喷嘴本体包括用于使蒸发材料流通的通道；内套，所述内套和所述通道的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套通过所述转动组件可转动地设置于所述通道内。在一种可能的设计中，所述通道沿出料方向依次包括第一通道、第二通道和第三通道，所述内套沿出料方向依次包括第一内套、第二内套和第三内套，所述第一内套设置于所述第一通道内，所述第二内套设置于所述第二通道内，所述第三内套设置于所述第三通道内；所述第一通道、所述第二通道和所述第三通道中的至少一者设置有所述转动组件。在一种可能的设计中，所述转动组件包括设置于所述第三通道内的第一转动组件，所述第三通道沿出料方向的直径逐渐减小，所述第一转动组件包括设置于所述第三通道的出料口的第一轴承和设置于所述第三通道的进料口的第二轴承；所述第一轴承和所述第二轴承分别与所述第三内套连接，并能带动所述第三内套转动。在一种可能的设计中，所述转动组件还包括设置于所述第二通道内的第二转动组件，所述第二通道沿出料方向的直径不变，所述第二转动组件包括设置于所述第二通道的出料口的第三轴承和设置于所述第三通道的进料口的第四轴承；所述第三轴承和所述第四轴承分别与所述第二内套连接，并能带动所述第二内套转动。在一种可能的设计中，所述第二通道的内壁设置有球体，所述第二内套能与所述球体接触。在一种可能的设计中，所述第二内套和所述第三内套之间设置有第一密封圈，所述第一内套和所述第二内套之间设置有第二密封圈，所述第一内套和所述第一通道的内壁之间设置有第三密封圈。在一种可能的设计中，所述第一内套、所述第二内套和所述第三内套的横截面为多边形。在一种可能的设计中，所述内套采用导热材料制成。可见，在以上各个方面，本申请提供的蒸发源喷嘴的至少部分内套通过转动组件可转动地设置于通道内，如此有利于附着在内套上的冷凝材料蒸发或回落至坩埚，从而降低了蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性，提高了蒸镀的质量。附图说明图1为本申请实施例提供的蒸发源喷嘴的剖面示意图；图2为图1中第一内套的俯视图。附图标记：1-喷嘴本体；10-通道；101-第一通道；102-第二通道；103-第三通道；2-内套；21-第一内套；22-第二内套；23-第三内套；31-第一轴承；32-第二轴承；33-第三轴承；34-第四轴承；41-第一密封圈；42-第二密封圈；43-第三密封圈；5-球体。此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。具体实施方式以下结合附图及实施例，对本申请进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。在OLED的制备工艺中，其中关键技术便是蒸镀工艺。在蒸镀工艺中，将有机材料放置在坩埚中进行加热，有机材料蒸发，蒸发材料通过喷嘴喷出，最终实现对基材的蒸镀。但是，现有的蒸发源喷嘴容易被冷凝的有机材料堵塞，且堵塞的有机材料不易被清洗，从而造成蒸发源的蒸镀质量下降。为解决上述问题，本申请提供了一种蒸发源喷嘴。如图1所示，其为本申请实施例提供的蒸发源喷嘴的剖面示意图。该蒸发源喷嘴包括喷嘴本体1和内套2，其中：喷嘴本体1包括用于使蒸发材料流通的通道10，内套2和通道10的内壁之间设置有转动组件，至少部分内套2通过转动组件可转动地设置于通道10内，如此有利于附着在内套2上的冷凝材料蒸发或回落至坩埚(图中未示出)，从而降低了蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性，提高了蒸镀的质量。在一些实施方式中，通道10沿出料方向依次包括第一通道101、第二通道102和第三通道103，内套2沿出料方向依次包括第一内套21、第二内套22和第三内套23，第一内套21设置于第一通道101内，第二内套22设置于第二通道102内，第三内套23设置于第三通道103内；第一通道101、第二通道102和第三通道103中的至少一者设置有转动组件。其中，第一通道101和第三通道103均可以为棱台状，第二通道102可以为圆柱状，第一通道101的最小直径与第二通道102的直径相同，第二通道102的直径与第三通道103的最大直径相同，如此设置可以增加蒸发材料的喷出速率。第三通道103的内壁与水平面的夹角可以为30°-60°，如此可通过控制蒸发材料的喷出角度来控制蒸镀到基板上各位置处的膜层的均匀度。在一些实施方式中，转动组件包括设置于第三通道103内的第一转动组件，第三通道103沿出料方向的直径逐渐减小，第一转动组件包括设置于第三通道103的出料口(即直径最小处)的第一轴承31和设置于第三通道103的进料口(即直径最大处)的第二轴承32；第一轴承31和第二轴承32分别与第三内套23连接，并能带动第三内套23转动。可以理解的是，第一轴承31和第二轴承32均可以为微型轴承，以更好地设置于第三通道103内。第一轴承31和第二轴承32均包括外圈、内圈和设置于外圈和内圈之间的滚珠(图中均未示出轴承的具体结构)，外圈固定于第三通道103的侧壁，内圈与第三内套23固定，例如均可采用胶粘或焊接的方式，如此可以实现第三内套23能够相对第三通道103转动。由于通道10的直径越小，蒸发材料在温度过低时越容易冷凝在内套2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源喷嘴，其特征在于，包括：/n喷嘴本体(1)，所述喷嘴本体(1)包括用于使蒸发材料流通的通道(10)；/n内套(2)，所述内套(2)和所述通道(10)的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套(2)通过所述转动组件可转动地设置于所述通道(10)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源喷嘴，其特征在于，包括：
喷嘴本体(1)，所述喷嘴本体(1)包括用于使蒸发材料流通的通道(10)；
内套(2)，所述内套(2)和所述通道(10)的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套(2)通过所述转动组件可转动地设置于所述通道(10)内。


2.根据权利要求1所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述通道(10)沿出料方向依次包括第一通道(101)、第二通道(102)和第三通道(103)，所述内套(2)沿出料方向依次包括第一内套(21)、第二内套(22)和第三内套(23)，所述第一内套(21)设置于所述第一通道(101)内，所述第二内套(22)设置于所述第二通道(102)内，所述第三内套(23)设置于所述第三通道(103)内；
所述第一通道(101)、所述第二通道(102)和所述第三通道(103)中的至少一者设置有所述转动组件。


3.根据权利要求2所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述转动组件包括设置于所述第三通道(103)内的第一转动组件，所述第三通道(103)沿出料方向的直径逐渐减小，所述第一转动组件包括设置于所述第三通道(103)的出料口的第一轴承(31)和设置于所述第三通道(103)的进料口的第二轴承(32)；
所述第一轴承(31)和所述第二轴承(32)分别与所述第三内套(23)连接，并能...

【专利技术属性】
技术研发人员：轩景泉，钱海涛，林文晶，马晓宇，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31