用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法技术

本文描述的实施方式有关于一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)。蒸发设备包括用于材料的容器(105)以及加热组件(110)，加热组件包括至少部分地设置在容器周围的外部加热单元(115)以及位于容器内的网状结构(120)。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法
本公开内容是有关于蒸发源、源材料的沉积以及用于沉积材料(例如有机材料)的系统、设备和方法。本专利技术的实施方式有关于一种用于产生蒸气流的设备，且特别是适于在真空沉积系统中产生有机发光二极管(OLED)装置的有机材料蒸气流。特别地，本专利技术有关用于蒸发有机材料的蒸发源，例如用于制造装置的沉积系统，特别是其中包含有机材料的装置。
技术介绍
在基板上进行层沉积的技术包括例如热蒸发、物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。被涂布的基板可用于多种应用和多种
例如，被涂布基板可以用于有机发光二极管(OLED)装置的领域。有机发光二极管可用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置及用于显示信息的类似装置。有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。有机发光二极管是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管用于制造电视屏幕、计算机监视器，移动电话和用于显示信息的其他手持装置。有机发光二极管也可用于一般空间照明。有机发光二极管显示器能够实现的颜色、亮度和视角的范围比传统液晶显示器(LCD)大，因为有机发光二极管像素直接发光而不需要背光。因此，有机发光二极管显示器的能耗大大低于传统的液晶显示器。此外，有机发光二极管可以被制造在柔性基板上，以获得进一步的应用。有机发光二极管装置，诸如有机发光二极管显示器，可包括位于沉积在基板上的两个电极之间的一层或多层有机材料。有机发光二极管显示器例如可以包括沉积在基板上的层，使得形成具有单独可激励像素的矩阵显示面板。有机发光二极管通常放置在两个玻璃面板之间，并且玻璃面板的边缘被密封以将有机发光二极管封装在其中。在有机发光二极管显示装置的制造中遇到许多挑战。有机发光二极管显示器或有机发光二极管照明应用包括多种材料的堆叠，这些材料例如在真空系统中蒸发。通常以由掩模限定的预定图案来沉积有机材料。为了高效率地制造有机发光二极管，两种或更多种材料例如主体和掺杂剂的共沉积或共蒸发形成混合/掺杂层是有益的。此外，还必须考虑到非常敏感的有机材料在蒸发时的几种处理条件。为了蒸发待沉积的材料，可以使用坩埚。为坩埚提供热能以加热坩埚中的材料并蒸发固体形式的材料，例如粉末。但是，使用坩埚有几个缺点。例如，难以确保有机材料的适当蒸发，特别是在长时间内确保有机材料的适当蒸发。在处理期间，基板可以被支撑在载体上，载体用于保持基板并与掩模对准。来自蒸气产生器的蒸气或源的蒸气通过掩模被引导向基板，以在基板上形成图案化的膜。通过一个或多个掩模将一种或多种材料沉积到基板上，以形成几乎不可见的像素，这些像素被个别定位以形成诸如全色显示器的功能装置。鉴于以上所述，待沉积材料的蒸发的改善将有利于确保蒸发材料的高质量沉积，特别是在有机发光二极管装置的制造中。
技术实现思路
根据一个方面，提供了一种用于蒸发材料的蒸发设备。蒸发设备包括用于材料的容器以及加热组件。加热组件包括至少部分地布置在容器周围的外部加热单元以及位于容器内的网状结构。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。根据一个方面，提供了一种用于蒸发材料的蒸发设备。蒸发设备包括容器和加热组件。加热组件包括至少部分地布置在容器周围的外部加热单元以及位于容器内的网状结构。蒸发设备可更进一步包括耦接至网状结构的施力单元。根据一个方面，提供了一种用于蒸发材料的蒸发设备。蒸发设备包括用于储存待蒸发的固体材料的容器、位于容器内并布置在固体材料下方的网状结构及位于网状结构下方的蒸气引导导管。根据一个方面，提供了一种沉积设备，以在真空腔室内的基板上沉积材料。沉积设备包括真空腔室、布置在真空腔室中的根据本文描述的实施方式的蒸发设备、以及与蒸发设备流体连通以将蒸发的材料引导向基板的分配组件。根据一个方面，提供了一种利用蒸发设备蒸发材料的方法。方法包括在容器内提供温度梯度，容器包括至少部分地布置在容器周围的加热组件，加热组件包括外部加热单元以及位于容器内的网状结构。根据一个方面，提供了一种利用蒸发设备蒸发材料的方法。方法包括通过容器内的网状结构加热待蒸发的材料，以及在网状结构和材料之间相对于彼此提供力。实施方式还针对用于执行所公开方法的设备，并且包括用于执行每个所描述的方法的设备组件。这些方法可以通过硬件部件、通过适当软件编程的计算机、通过两者的任意组合或以任何其他方式来执行。此外，根据本专利技术的实施方式更针对用于操作所描述的设备的方法。包括用于执行设备的每个功能的方法方面。附图说明为了对本公开内容的上述特征有更详细的了解，可参考实施方式来获得简要概述于上的本公开内容的更具体的描述。所附附图涉及本公开内容的实施方式并说明如下：图1绘示根据本文描述的实施方式的蒸发设备。图2绘示根据本文描述的实施方式的蒸发设备的局部放大图。图3绘示根据本文描述的实施方式的蒸发设备。图4绘示根据本文描述的实施方式的沉积组件。图5绘示根据本文描述的实施方式的沉积设备。图6绘示根据本文描述的实施方式的方法的流程图。图7绘示根据本文描述的实施方式的沉积设备。具体实施方式现在将详细参照本公开内容的各种实施方式，在附图中绘示一个或多个示例。在以下的附图描述中，相同的附图标记指的是相同的部件。仅描述关于各个实施方式的差异。每个示例用于解释本专利技术，并非意味着对本专利技术的限制。此外，作为一个实施方式的一部分所绘示或描述的特征可以使用在其他实施方式上或与其他实施方式结合以产生另一实施方式。本说明书意欲包括这样的修改和变化。蒸发设备可为蒸发坩埚。传统的蒸发坩埚包括用于加热的装置，其布置在蒸发坩埚的外部，并且为蒸发坩埚和其中所含的材料提供高温。这些蒸发坩埚仅允许开始和维持蒸发的(固体)材料颗粒所需要的热能的较差传导。如果材料颗粒与加热壁不相邻，则可能导致蒸发不完全。为了确保(例如待制造的有机发光二极管装置的)被涂布的基板的高质量尤其是长寿命，沉积的有机层不含污染物且不含热分解产物是有用的。当待蒸发的有机材料暴露于高温或长时间暴露于其他可接受的温度下时，会产生分解产物。为了实现此目的，传统的蒸气产生系统已经使用了具有足够小体积的有机材料的坩埚，其设计成使得有机材料在发生显著的热分解之前被消耗。然而，在实践中，会频繁地中断沉积处理以交换坩埚，导致随后的生产率损失和操作成本增加。因此，有利的是提供一种蒸气产生系统，其中与传统的蒸气产生系统相比，有机材料在蒸气产生设备中暴露于较低的温度并且在较短的时间内暴露于高温。减少的热暴露可让敏感的有机材料的热分解减少，并使有机发光二极管装置的制造效率得以提高，尤其是使用寿命得以延长。此外，有益的是提供一种蒸气产生系统，即使在重新补充有机材料的情况下也能够使蒸气产生装置连续运行。根据本文描述的实施方式，提供了一种用于蒸发材料的蒸发设备。蒸发设备包括用于材料的容器和加热组件。加热组件包括至少部分地布置在容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：/n用于所述材料的容器(105)；以及/n加热组件(110)，包括：/n外部加热单元(115)，所述外部加热单元(115)至少部分地设置在所述容器周围；以及/n网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内；/n所述外部加热单元用于在所述容器内提供温度梯度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：
用于所述材料的容器(105)；以及
加热组件(110)，包括：
外部加热单元(115)，所述外部加热单元(115)至少部分地设置在所述容器周围；以及
网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内；
所述外部加热单元用于在所述容器内提供温度梯度。


2.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：
容器(105)；
加热组件(110)，包括：
外部加热单元(115)，所述外部加热单元(115)至少部分地设置在所述容器周围；
网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内；
所述蒸发设备更包括：
施力单元(125)，所述施力单元(125)耦接到所述网状结构。


3.根据权利要求2所述的蒸发设备(100)，其中所述施力单元(125)经构造以向所述网状结构(120)施加力。


4.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：
容器(105)，所述容器(105)用于储存待蒸发的固体材料；
网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内并布置在所述固体材料的下方；以及
蒸气引导导管，所述蒸气引导导管位于所述网状结构下方。


5.根据权利要求1或4所述的蒸发设备(100)，其中所述网状结构是可移动的。


6.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述网状结构(120)由碳制成，特别是由类玻璃碳制成。


7.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述蒸发设备包括冷却网(122)，所述冷却网被布置为与所述网状结构(120)相邻。


8.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述蒸发设备包括材料供给系统(130)，所述材料供给系统(130)用于将所述材料提供给所述容器(105)。


9.根据权利要求8所...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·龙，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US