一种原子层沉积实验机的上料机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种原子层沉积实验机的结构改进，特别涉及一种原子层沉积实验机的上料机构，可以更好的实现上料的同时，降低原子层沉积实验机内部的环境波动影响，包括外腔体

【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积实验机的上料机构


[0001]本技术涉及一种原子层沉积实验机的结构改进，特别涉及一种原子层沉积实验机的上料机构
。

技术介绍

[0002]目前的原子层沉积实验机，包括外腔体和内腔体，在外腔体内壁设有电热丝，内腔体内摆放有测试材料，对原子层沉积测试中外腔体保持负压并进行加热，内腔体内通入多种反应气体，对内腔体中摆放的测试材料表面上形成纳米薄膜，对于内腔体中的测试材料上料动作，传统的方式是外腔体和内腔体中均设有仓门，直接将外腔体和内腔体的仓门打开并将材料取出，但这样的方式比较容易造成外腔体和内腔体中的温度和压力的波动，一方面增加了能耗，一方面也对下次测试的环境造成比较大的波动，容易造成测试结果的不稳定性
。
[0003]综上所述，现有技术如何实现原子沉积实验机的上料结构优化是一个有待解决的技术问题
。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种原子层沉积实验机的上料机构，可以更好的实现上料的同时，降低原子层沉积实验机内部的环境波动影响
。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种原子层沉积实验机的上料机构，包括外腔体和内腔体，所述内腔体通过定位柱与外腔体连接从而使内腔体位于外腔体的中心位置，所述内腔体的底部设有开口，还包括上料盘一
、
伺服电缸
、
固定件
、
连接件和顶杆，所述伺服电缸的伸缩端通过万向节与固定件连接，所述固定件安装在外腔体的底部且处于外腔体的中心位置，所述伺服电缸的缸身通过连接件与顶杆的底部连接，所述顶杆穿过外腔体的底部中心位置并与上料盘一连接，所述上料盘一的边缘设有坡口一，所述内腔体的底部开口边缘设有坡口二，所述上料盘一可以通过坡口一与内腔体的坡口二处相抵形成密封
。
[0006]作为优选，所述上料盘一上还设有支撑件和上料盘二，所述上料盘二通过支撑件安装在上料盘一的中心位置
。
[0007]作为优选，所述上料盘二与支撑件之间还设有加热盘
。
[0008]作为优选，所述上料盘二底部的边缘设有坡口三
。
[0009]作为优选，所述外腔体的侧壁上设有用于自动上料装置进入的仓门，所述仓门的高度位于内腔体底部与外腔体底部之间
。
[0010]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：本技术的原子层沉积实验机的上料机构可以实现对自动上料下料动作，并且保证自动上料和下料过程中对设备中环境温度的变化影响降至最低，无需人工干预就可完成上料和下料，并且将反应后的基材可从设备中自动取出，大大的提高了使用效率和测试的稳定性
。
上下滑动，进而使得上料盘一5自外腔体1的底部逐渐向内腔体2靠近，所述上料盘一5上还设有支撑件
13
和上料盘二
14
，所述上料盘二
14
通过支撑件
13
安装在上料盘二
14
的中心位置；上料盘二
14
的大小与自动上料装置
20
的夹爪大小相同，可以使得上料盘二
14
直接将自动上料装置
20
上的反应基材顶起后，自动上料装置
20
从仓门
17
处离开并回到原始位置，仓门
17
关闭，上料盘一5继续向上运动，当坡口一
11
与坡口二
12
相抵时，伺服电缸6受力达到预定值伺服电缸6关闭，此时内腔体2保持密封，坡口一
11
和坡口二
12
的设计可以进一步的保证上料盘一5在多次进行上下运动过程中不会出现偏移，不仅可实现密封效果，还可实现位置矫正，所述上料盘二
14
底部的边缘设有坡口三
16
，即便上料盘二
14
与自动上料装置
20
的夹爪之间位置存在一定误差，可以保证上料盘二
14
可向下移动不会被阻挡
。
[0021]当原子层沉积实验机完成反应后，伺服电缸6开始伸长，使得上料盘一5自内腔体2中向下运动，中间过程时打开仓门
17
，使得自动上料装置
20
对上料盘二
14
上完成反应后的基材进行收料动作
。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化
、
修改
、
替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定
。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种原子层沉积实验机的上料机构，包括外腔体（1）和内腔体（2），所述内腔体（2）通过定位柱（3）与外腔体（1）连接从而使内腔体（2）位于外腔体（1）的中心位置，所述内腔体（2）的底部设有开口（4），其特征在于，还包括上料盘一（5）
、
伺服电缸（6）
、
固定件（7）
、
连接件（8）和顶杆（9），所述伺服电缸（6）的伸缩端通过万向节（
10
）与固定件（7）连接，所述固定件（7）安装在外腔体（1）的底部且处于外腔体（1）的中心位置，所述伺服电缸（6）的缸身通过连接件（8）与顶杆（9）的底部连接，所述顶杆（9）穿过外腔体（1）的底部中心位置并与上料盘一（5）连接，所述上料盘一（5）的边缘设有坡口一（
11
），所述内腔体（2）的底部开口（4）边缘设有坡口二（
12
），所述上料盘一（5）可以通过坡口一（
11
）与内腔体（2）的坡口二（
12
）处相抵形成密封
。2.
如权利要求1所述的原子层沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，左雪芹，
申请(专利权)人：江苏迈纳德微纳技术有限公司，
类型：新型
国别省市：