一种多晶硅表面制绒方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池的制作领域，尤其是一种太阳能电池用的多晶硅表面制绒方法。本发明专利技术的技术方案是：一种多晶硅表面制绒方法，其特征在于：依次采用如下步骤：一、对硅片进行预清洗和去损伤层；二、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；三、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；四、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。通过采用上述方案，本发明专利技术克服现有工艺存在的缺点与不足，提供一种多晶硅表面制绒方法，采用该方法可以制作高性能多晶硅表面绒面，并且具有产业化前景，使硅片表面反射率得到有效降低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池的制作领域，尤其是一种太阳能电池用的多晶硅表面制绒 方法。
技术介绍
在太阳能光伏领域，晶体硅太阳能电池的转换效率较高，原材料来源简单，是太阳 能电池行业的主力军，占据着市场的主导地位。在晶体硅太阳能电池的生产工艺中，通过制 备硅片的表面绒面结构，能够有效的提高电池表面的光吸收，从而提高电池的转换效率。目 前常用的硅片制绒方法是化学腐蚀，具体来说是将单晶硅片直接置于碱性溶液中进行各向 异性腐蚀得到“金字塔”绒面结构，将多晶硅片直接置于酸性溶液中进行各向同性腐蚀得到 类似于半球形状的“凹陷”绒面结构。这种无掩膜直接对多晶硅进行化学腐蚀的制绒工艺 得到的绒面结构都是随机分布的，均勻性较低，不能达到很好的减反射效果，并且不平整的 表面也会给丝网印刷电极带来一定的难度。
技术实现思路
本专利技术针对上述制绒工艺存在的缺点与不足，提供，采 用该方法可以制作高性能多晶硅表面绒面，并且具有产业化前景，使硅片表面反射率得到 有效降低。本专利技术的技术方案是，其特征在于依次采用如下步 骤一、对硅片进行预清洗和去损伤层；二、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜 作为掩膜；三、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；四、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。与现有技术相比，本专利技术具有的有益效果是本专利技术采用超声雾化或喷涂工艺在 硅片表面形成了一层具有保护作用的塑料颗粒作为掩膜，使硅片的制绒具有选择性腐蚀功 能，能够有效控制绒面结构的均勻性，降低硅片的表面反射率，并且有塑料颗粒掩膜保护的 部分硅片表面平整，有利于太阳能电池丝网印刷电极，从而有效收集电池光电转换产生的 电流。具体实施例下面结合具体实施例对本专利技术作进一步说明，但本专利技术不局限于以下实施例。实施例一样品采用厚度为200微米的多晶硅片，首先采用常规方法对硅片进行预清洗和去 损伤层，然后将塑料溶于丙酮中，采用超声雾化工艺在硅片表面沉积单层不连续的塑料颗粒掩膜，烘干硅片使有机溶剂挥发，将带有塑料颗粒掩膜的硅片置于酸性溶液中化学腐蚀5 分钟进行制绒，氢氟酸与硝酸的配比为HF HNO3 = 12 1，并在溶液中加入适量的CH3COOH 以降低反应速度，然后用丙酮清洗掉塑料颗粒，再用去离子水清洗，烘干硅片，即形成半球 状的“凹陷”结构，被塑料颗粒覆盖的硅片表面平整结构，完成制绒。实施例二样品采用厚度为200微米的多晶硅片，首先采用常规方法对硅片进行预清洗和去 损伤层，然后采用静电喷涂工艺将粒径为微米级的塑料粉末喷涂在硅片表面，接着进行热 熔，形成单层的不连续的塑料颗粒掩膜，然后先用酸溶液(HF HNO3 = 5 1)腐蚀0.5分 钟，再用质量分数为25%的NaOH溶液在80°C时腐蚀4分钟进行制绒，然后用丙酮清洗掉塑 料颗粒，再用去离子水清洗，烘干硅片，即形成硅片表面绒面结构，完成制绒。权利要求，其特征在于依次采用如下步骤(1)、对硅片进行预清洗和去损伤层；(2)、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；(3)、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；(4)、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。2.根据权利要求1所述的多晶硅表面制绒方法，其特征在于所述的超声雾化工艺为 首先将塑料溶于丙酮中，然后超声雾化在硅片表面沉积单层不连续的塑料颗粒掩膜，最后 烘干硅片使丙酮挥发。3.根据权利要求1所述的多晶硅表面制绒方法，其特征在于所述的静电喷涂工艺为 将粒径为微米级的塑料粉末喷涂在硅片表面，接着进行热熔，形成单层的不连续的塑料颗 粒掩膜。4.根据权利要求2所述的多晶硅表面制绒方法，其特征在于步骤(3)为将带有塑料 颗粒掩膜的硅片置于由氢氟酸与硝酸的配比的酸性溶液中化学腐蚀，并在溶液中加入适量 的CH3COOH以降低反应速度。5.根据权利要求3所述的多晶硅表面制绒方法，其特征在于步骤(3)为将带有塑 料颗粒掩膜的硅片置于由氢氟酸与硝酸的配比的酸溶液腐蚀0. 5分钟，再用质量分数为 20-30%的NaOH溶液在70_90°C时腐蚀进行制绒。全文摘要本专利技术涉及太阳能电池的制作领域，尤其是一种太阳能电池用的多晶硅表面制绒方法。本专利技术的技术方案是，其特征在于依次采用如下步骤一、对硅片进行预清洗和去损伤层；二、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；三、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；四、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。通过采用上述方案，本专利技术克服现有工艺存在的缺点与不足，提供，采用该方法可以制作高性能多晶硅表面绒面，并且具有产业化前景，使硅片表面反射率得到有效降低。文档编号C23F1/02GK101805929SQ20101014411公开日2010年8月18日 申请日期2010年4月2日 优先权日2010年4月2日专利技术者万青, 方旭昶, 郑策 申请人:日强光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅表面制绒方法，其特征在于：依次采用如下步骤：　　（１）、对硅片进行预清洗和去损伤层；　　（２）、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；　　（３）、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；　　（４）、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万青，郑策，方旭昶，
申请(专利权)人：日强光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]