真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空蒸镀设备，其包括传输机构、蒸镀机构、传感控制装置及真空机构，传输机构包括主腔体、闸门，传输组件及驱动器，主腔体两侧开设有闸口，闸门安装于所述闸口处，主腔体底部开设有连接口，驱动器与闸门及传输组件连接，驱动器驱动基板在传输组件上移动；蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟及蒸发源，蒸发舟安装于副腔体内，蒸发源放置于蒸发舟内，副腔体正对主腔体的连接口处开设有对接口，挡板安装于连接口与对接口之间；传感控制装置包括传感器及与控制器，控制器与传输组件及蒸发舟电连接；真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，粗抽管道与副腔体连通，粗抽管道与真空泵相连接。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种有机发光二极管生产行业中的辅助设备，尤其涉及一种有机 发光二极管行业中对基板进行镀膜的真空蒸镀设备。
技术介绍
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力 度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有 机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码 产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都 聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-IXD相提并论的技术，且是目前 所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张 一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-LCD显示屏(液晶显示屏) 并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有 机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省 电能，相应地，制造OLED行业中器件的所有设备必须保证OLED器件的精度要求，其中，对真 空状态下的OLED行业中器件进行蒸镀的蒸镀处理装置即是制造OLED行业中的器件过程中 需要使用的设备之一。目前，在OLED制造领域中，为了对其制造的元器件赋予某种特性，较常使用的方 式是采用“蒸镀处理”工序在元器件表面沉积一层或多层薄膜。所谓“蒸镀处理”主要是通过一个用以执行蒸镀的蒸镀室，一组用以提供蒸镀所需真空 度的真空系统、及一组用以传输玻璃基片的真空动力传输系统等系统所组成。在蒸镀室内 将蒸镀材料设置于蒸发舟内，且蒸发舟与外界的电源相接。当适当的电源流通至蒸发舟内 后，蒸发舟因电阻效应所产生的热，加热蒸发舟内的蒸镀材料，一直到接近蒸镀材料的熔点 使其产生蒸气，蒸镀出来的蒸气，即蒸镀材料分子，能够在离蒸发源上方不远处的基板表 面上进行薄膜沉积，从而完成OLED器件的镀膜。业内熟知的OLED器件的蒸镀方法中，常用的有“点蒸镀”、“线蒸镀”、“有机气相沉 积(Organic vapor Phase D印osition ;0VPD) ” 以及“扫描式沉积制程(D印osition Scan Process ；DSP) ”，其中比较成熟的镀膜技术是“点蒸镀”和“线蒸镀”。现有的点蒸镀技术由 于在蒸镀过程中，蒸气的方向差别较大，因而容易造成膜层厚度均勻性变差。如要提高膜层 厚度均勻性，已知的技术方案是不断旋转待镀基板，而基板的旋转又会涉及到掩模板的对 位问题，从而使得蒸镀处理装置的结构设计变得相对复杂，且膜层厚度均勻性也难有效保 证。而对于线蒸镀技术而言，其相对于点蒸镀技术对膜层厚度均勻性会有一定的提高，但是 已知的传统线蒸镀技术为了提升蒸镀膜层的精密性需要移动用于装载蒸发源的蒸发舟，进一步的需要额外配置，例如蒸发源移动的滑轨等，因此线蒸镀装置体积较大，在增加线蒸 镀装置成本的同时，也占用了无尘室的建造成本。因此，亟待一种结构精简，可提高镀膜精密度的真空蒸镀设备，以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空蒸镀设备，所述真空蒸镀设备结构简单紧 凑，且能够有效提高镀膜精密度。为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种真空蒸镀设备，适用于有 机发光二极管行业中基板的蒸镀工艺，其特征在于，所述真空蒸镀设备包括传输机构、蒸镀 机构、传感控制装置以及真空机构，所述传输机构包括主腔体、闸门，传输组件以及驱动器， 所述主腔体呈中空结构，所述主腔体两侧分别正对开设有闸口，两闸门分别安装于两所述 闸口处，所述主腔体的底部还开设有连接口，所述传输组件连接于两所述间口之间，所述驱 动器与所述间门及所述传输组件连接，所述驱动器驱动所述间门相对所述间口的打开或关 闭，所述驱动器驱动所述基板在所述传输组件上移动；所述蒸镀机构包括副腔体、挡板、动 力组件、蒸发舟以及至少一个蒸发源，所述副腔体呈中空结构，所述蒸发舟安装于所述副腔 体内，所述蒸发源放置于所述蒸发舟内，所述副腔体正对所述主腔体的所述连接口处开设 有对接口，所述挡板安装于所述连接口与所述对接口之间，且所述挡板与所述动力组件连 接，所述挡板与所述副腔体的中空结构形成副密封空腔，所述挡板与所述主腔体的中空结 构形成主密封空腔，所述驱动器驱动所述挡板打开或关闭；当所述挡板打开，所述主密封空 腔与所述副密封空腔相互连通；当所述挡板关闭，所述主密封空腔与所述副密封空腔相互 独立密封；所述传感控制装置包括传感器及与所述传感器电连接的控制器，所述传感器安 装于所述主腔体内，所述控制器与所述传输组件及蒸发舟电连接；所述真空机构包括粗抽 管道、真空泵以及间阀，所述粗抽管道的一端与所述副腔体连通，所述粗抽管道的另一端与 所述真空泵相连接，所述间阀安装在所述真空泵与所述副腔体之间。本技术与现有技术相比，本技术的真空蒸镀设备包括蒸镀机构、传输机 构、传感器以及真空机构4部分，整体结构简单紧凑，一定程度上降低了真空蒸镀设备的制 造与运行成本。此外，所述真空蒸镀设备由于采用了传感器，可以自动控制蒸发舟的温度以 及控制传输组件的运行速度，从而控制该真空蒸镀设备对基板的镀膜程度，有效地控制基 板的膜厚。因此，本技术适用于有机发光二极管行业中基板的蒸镀工艺的真空蒸镀设 备，其不仅结构简单紧凑，而且能够实现全自动监控基板的蒸镀膜厚，从而有效提高镀膜精 密度、提高真空蒸镀工艺的效率以及镀膜质量。在本技术的一个实施例中，所述真空蒸镀设备还包括减震机构，所述减震机 构与所述真空泵相连接。可选地，所述真空蒸镀设备中的所述减震机构包括弹簧和波纹管， 所述弹簧和所述波纹管均安装在所述闸阀与所述真空泵之间。当所述真空泵工作时，具有 弹簧和波纹管的减震机构有利于将所述真空蒸镀设备置于一个稳定的工作环境，从而提高 了蒸镀膜层的质量，并提高了整体真空蒸镀设备的使用寿命。较佳地，本技术真空蒸镀设备还包括真空规，所述真空规适用于检测所述真 空蒸镀设备的真空状态。所述真空规可依在任何时间检测真空蒸镀设备的真空状态，将其 转换为实时的真空相关数据，以便即时调整真空参数。在本技术的另一个实施例中，所述传输组件包括输入部件、传动部件以及齿 条，所述输入部件连接所述传动部件，所述传动部件枢接于所述齿条，所述齿条承载并传送 所述基板。较佳地，所述传动部件包括第一传动轴、数个锥齿轮、数个第二传动轴以及传动 齿轮，所述第一传动轴枢接于所述输入部件，所述锥齿轮枢接于所述第一传动轴上，每一所 述锥齿轮与每一所述第二传动轴的一端相连接，每一所述第二传动轴的另一端与所述传动 齿轮相连接，所述传动齿轮与所述齿条相枢接。所述传输组件结构简单紧凑，有利于节省本 技术真空蒸镀设备的成本。可选地，本技术真空蒸镀设备还包括磁流体，所述磁流体连接所述驱动器与 所述输入部件。较佳地，本技术真空蒸镀设备中的所述传感器是晶体振荡传感器。较佳地，本技术真空蒸镀设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸镀设备，适用于有机发光二极管行业中基板的蒸镀工艺，其特征在于，所述真空蒸镀设备包括：传输机构，所述传输机构包括主腔体、闸门，传输组件以及驱动器，所述主腔体呈中空结构，所述主腔体两侧分别正对开设有闸口，两闸门分别安装于两所述闸口处，所述主腔体的底部还开设有连接口，所述传输组件连接于两所述闸口之间，所述驱动器与所述闸门及所述传输组件连接，所述驱动器驱动所述闸门相对所述闸口的打开或关闭，所述驱动器驱动所述基板在所述传输组件上移动；蒸镀机构，所述蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟以及至少一个蒸发源，所述副腔体呈中空结构，所述蒸发舟安装于所述副腔体内，所述蒸发源放置于所述蒸发舟内，所述副腔体正对所述主腔体的所述连接口处开设有对接口，所述挡板安装于所述连接口与所述对接口之间，且所述挡板与所述动力组件连接，所述挡板与所述副腔体的中空结构形成副密封空腔，所述挡板与所述主腔体的中空结构形成主密封空腔，所述驱动器驱动所述挡板打开或关闭；当所述挡板打开，所述主密封空腔与所述副密封空腔相互连通；当所述挡板关闭，所述主密封空腔与所述副密封空腔相互独立密封；传感控制装置，所述传感控制装置包括传感器及与所述传感器电连接的控制器，所述传感器安装于所述主腔体内，所述控制器与所述传输组件及蒸发舟电连接；以及真空机构，所述真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，所述粗抽管道的一端与所述副腔体连通，所述粗抽管道的另一端与所述真空泵相连接，所述闸阀安装在所述真空泵与所述副腔体之间。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，王曼媛，刘惠森，范继良，王勇，张华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]