一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法技术

本发明专利技术公开了一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法，该方法按照以下步骤具体实施：步骤１、选择高纯铝片，抛光后，在氩气中热处理，随后在氢氧化钠溶液中浸泡，依次用蒸馏水、酒精、丙酮浸泡，再用蒸馏水漂洗，然后在高氯酸与乙醇组成的电解液中进行电抛光；步骤２、设计纳米孔图案，用聚焦离子束在步骤１得到的电抛光铝片上刻蚀设计图案；步骤３、以步骤２完成刻蚀图案的铝片为阳极，以Ｐｔ网为阴极，采用一次阳极氧化法制备氧化铝模板，阳极氧化参数为：保持电解液温度，电解液选用草酸、硫酸或磷酸，相应控制施加电压和阳极氧化时间，最后得到氧化铝模板。本发明专利技术方法制备的氧化铝模板孔径和孔间距调整精确。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法，其特征在于：该方法按照以下步骤具体实施：　　步骤１、选择高纯铝片为原料，经过机械抛光后，在氩气氛围中，４５０－５５０℃热处理１２－２４ｈ，随后在质量浓度为０．４％－０．７％的氢氧化钠溶液中浸泡５－１５ｍｉｎ，依次用蒸馏水、酒精、丙酮浸泡，再用蒸馏水漂洗，然后在由高氯酸与乙醇体积比为１：３．５－４．５组成的电解液中进行电抛光，电抛光电压控制在１２－１５Ｖ；　　步骤２、依据电解液所制备的氧化铝模板的结构尺寸设计纳米孔图案，用聚焦离子束在步骤１得到的电抛光铝片上刻蚀设计图案；　　步骤３、以步骤２完成刻蚀图案的铝片为阳极，以Ｐｔ网为阴极，采用一次阳极氧化法制备氧化...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敬忠，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]