光刻机中的光束检测装置制造方法及图纸

本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔

【技术实现步骤摘要】
光刻机中的光束检测装置


[0001]本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种光刻机中的光束检测装置
。

技术介绍

[0002]现有的光刻机设备中，在光刻机作业的过程中，如果楼下光束的位置发生变动，需要对变动后的光束的位置进行检测，但是现有的光束位置检测方法，通常是需要楼上拆开光束管路，在楼上光束管道的出口处增加光束检测工具，根据光束检测工具上的位置进行校准，但是这种方法，需要将光束管路拆开，并安装光束检测工具，然后再将光束管路复原，从而导致作业时间较长，不利于快速检测
。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，以解决现有的检测光束位置效率低的问题
。
[0004]本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，所述检测结构活动连接于光路管路内，所述光路管路具有相对设置的入口和出口，所述检测结构具有通孔
、
反射镜和检测槽，所述反射镜与所述通孔在第一方向上不重叠，所述检测槽暴露所述反射镜，光束射入所述反射镜时与所述反射镜之间的夹角为
45
；当所述光刻机正常生产时，驱动所述通孔与所述入口以及所述出口对应设置，光束经所述通孔穿过所述检测结构；当所述光刻机检测所述光束时，驱动所述反射镜与所述入口以及所述出口对应设置，以使经所述入口射入的所述光束照射至所述反射镜，并经所述反射镜反射至所述检测槽，以检测所述光束的位置
。
[0005]其中，所述通孔位于所述反射镜与所述检测槽的槽口之间，所述检测槽与所述通孔连通，并暴露所述反射镜
。
[0006]其中，所述光路管路内设置有与所述检测结构相匹配的滑槽，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动
。
[0007]其中，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的凸起部，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动
。
[0008]其中，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的滚轮，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动
。
[0009]其中，所述通孔的直径均大于或等于所述入口以及所述出口的直径
。
[0010]其中，所述反射镜在所述光路管路内的正投影的宽度大于所述通孔的直径
。
[0011]其中，所述光路管路背离所述检测结构的一侧设置有按钮，所述按钮与所述检测结构连接，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动
。
[0012]其中，与所述检测槽对应设置的部分所述光路管路上设置有量测器
。
[0013]其中，所述反射镜位于所述通孔与所述检测槽的槽口之间
。
[0014]本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于
光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔
、
反射镜和检测槽，反射镜与通孔在第一方向上不重叠，检测槽暴露反射镜，光束射入反射镜时与反射镜之间的夹角为
45
；当光刻机正常生产时，驱动通孔与入口以及出口对应设置，光束经通孔穿过检测结构；当光刻机检测光束时，驱动反射镜与入口以及出口对应设置，以使经入口射入的光束照射至反射镜，并经反射镜反射至检测槽，以检测光束的位置，以提高光束的检测效率
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0016]图1是本申请提供的光刻机中的光束检测装置的第一种结构示意图；
[0017]图2是本申请提供的光刻机中的光束检测装置的第二种结构示意图；
[0018]图3是本申请提供的光刻机中的光束检测装置在光刻机正常作业时的结构示意图；
[0019]图4是本申请提供的光刻机中的光束检测装置检测光束位置时的结构示意图
。
[0020]附图标记：
[0021]10、
光刻机中的光束检测装置；
100、
检测结构；
110、
通孔；
120、
反射镜；
130、
检测槽；
200、
光路管路；
210、
入口；
220、
出口；
230、
按钮
。
具体实施方式
[0022]下面结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例
。
基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围
。
在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合
。
[0023]本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔
、
反射镜和检测槽，反射镜与通孔在第一方向上不重叠，检测槽暴露反射镜，光束射入反射镜时与反射镜之间的夹角为
45
；当光刻机正常生产时，驱动通孔与入口以及出口对应设置，光束经通孔穿过检测结构；当光刻机检测光束时，驱动反射镜与入口以及出口对应设置，以使经入口射入的光束照射至反射镜，并经反射镜反射至检测槽，以检测光束的位置
。
[0024]在本申请中，通过在光路管路内增加检测结构，并在检测结构上设置有用于检测光束位置的反射镜
、
检测槽以及用于使光束正常通过的光束口，以使得光束发生变动之后，可以不用拆开光路管路，再将检测工具安装在光路出口，安装完检测工具，再将光路管路复原，提高了光束位置的检测效率，从而提高了生产的效率，同时保证了光刻机作业的正常进行
。
[0025]请参考图1‑
图4，图1是本申请提供的光刻机中的光束检测装置的第一种结构示意图；图2是本申请提供的光刻机中的光束检测装置的第二种结构示意图；图3是本申请提供的光刻机中的光束检测装置在光刻机正常作业时的结构示意图；图4是本申请提供的光刻
机中的光束检测装置检测光束位置时的结构示意图
。
[0026]本申请提供一种光刻机中的光束检测装置
10
，包括检测结构
100
，检测结构
100
活动连接于光路管路
200
内，光路管路
200
具有相对设置的入口
210
和出口
220
，检测结构
100
具有通孔
110、
反射镜
120
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光刻机中的光束检测装置，其特征在于，包括检测结构，所述检测结构活动连接于光路管路内，所述光路管路具有相对设置的入口和出口，所述检测结构具有通孔
、
反射镜和检测槽，所述反射镜与所述通孔在第一方向上不重叠，所述检测槽暴露所述反射镜，光束射入所述反射镜时与所述反射镜之间的夹角为
45
°
；当所述光刻机正常生产时，驱动所述通孔与所述入口以及所述出口对应设置，光束经所述通孔穿过所述检测结构；当所述光刻机检测所述光束时，驱动所述反射镜与所述入口以及所述出口对应设置，以使经所述入口射入的所述光束照射至所述反射镜，并经所述反射镜反射至所述检测槽，以检测所述光束的位置
。2.
根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述通孔位于所述反射镜与所述检测槽的槽口之间，所述检测槽与所述通孔连通，并暴露所述反射镜
。3.
根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路内设置有与所述检测结构相匹配的滑槽，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动
。4.
根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路内设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳杰，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：