直写光刻镜头角度的测量方法技术

本申请提供了一种直写光刻镜头角度的测量方法

【技术实现步骤摘要】
直写光刻镜头角度的测量方法、装置、电子设备及介质


[0001]本申请涉及计算机
，具体而言，涉及一种直写光刻镜头角度的测量方法
、
装置
、
计算机可读介质及电子设备
。

技术介绍

[0002]光刻机的原理是利用光刻机发出的光，通过具有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，使光置上的图形复印到薄片上，从而让薄片具有电子线路图的作用
。
光刻是集成电路最重要的加工工艺，如同金工车间中车床的作用
。
光刻是制造芯片的最关键技术，在整个芯片制造工艺中，几平每个工艺的实施，都离不开光刻的技术
。
在光刻设备的使用过程中需要对光刻镜头进行调整，但现有方式仅仅是通过人为校准的方式进行，这将导致光刻镜头调整不精确的问题
。

技术实现思路

[0003]本申请的实施例提供了一种直写光刻镜头角度的测量方法
、
装置
、
计算机可读介质及电子设备，进而至少在一定程度上可以解决光刻镜头调整不精确的问题
。
[0004]本申请的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本申请的实践而习得
。
[0005]根据本申请的一个方面，提供了一种直写光刻镜头角度的测量方法，包括：控制直写光刻设备的曝光平台横向移动，以带动紫外感光标定尺到所述直写光刻设备的光刻镜头的下方；通过所述直写光刻设备的对位相机，获取所述光刻镜头在所述紫外感光标定尺上对应的初步图像标记；在光刻完成时，控制所述曝光平台带动所述紫外感光标定尺移动到所述直写光刻设备的对位相机的下方，移动所述对位相机以获取所述光刻镜头所述紫外感光标定尺上的目标图像标记；根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度；基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整
。
[0006]在本申请中，基于前述方案，所述紫外感光标定尺固定在所述直写光刻设备的曝光平台的一端
。
[0007]在本申请中，基于前述方案，所述根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度，包括：根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置；基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置以及所述光刻镜头的初始位置，确定光刻镜头的角度
。
[0008]在本申请中，基于前述方案，所述根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置，包括：获取初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置；对所述初步相机位置对应的坐标系和
所述目标相机位置进行对应的坐标系进行坐标系转化，得到相对坐标系；确定所述第一位置信息在所述相对坐标系中的第一相对位置，以及所述第二位置信息在所述坐标系中的第二相对位置
。
[0009]在本申请中，基于前述方案，所述基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置以及所述光刻镜头的初始位置，确定光刻镜头的角度，包括：基于所述光刻镜头的初始位置
、
所述第一相对位置生成第一直线；基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置生成第二直线；计算所述第一直线和所述第二直线之间的角度作为所述光刻镜头的角度
。
[0010]在本申请中，基于前述方案，所述基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整，包括：获取角度调整参数；基于所述角度调整参数和所述光刻镜头的角度之间的差异参数；基于所述差异参数对所述光刻镜头进行调整
。
[0011]在本申请中，基于前述方案，所述基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整之后，还包括：对调整之后的光刻镜头进行测试
。
[0012]根据本申请的一个方面，提供了一种直写光刻镜头角度的测量装置，包括：控制单元，用于控制直写光刻设备的曝光平台横向移动，以带动紫外感光标定尺到所述直写光刻设备的光刻镜头的下方；第一标记单元，用于通过所述直写光刻设备的对位相机，获取所述光刻镜头在所述紫外感光标定尺上对应的初步图像标记；第二标记单元，用于在光刻完成时，控制所述曝光平台带动所述紫外感光标定尺移动到所述直写光刻设备的对位相机的下方，移动所述对位相机以获取所述光刻镜头所述紫外感光标定尺上的目标图像标记；角度单元，用于根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度；调整单元，用于基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整
。
[0013]在本申请中，基于前述方案，所述紫外感光标定尺固定在所述直写光刻设备的曝光平台的一端
。
[0014]在本申请中，基于前述方案，所述根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度，包括：根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置；基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置以及所述光刻镜头的初始位置，确定光刻镜头的角度
。
[0015]在本申请中，基于前述方案，所述根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置，包括：获取初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置；对所述初步相机位置对应的坐标系和所述目标相机位置进行对应的坐标系进行坐标系转化，得到相对坐标系；确定所述第一位置信息在所述相对坐标系中的第一相对位置，以及所述第二位置信息在所述坐标系中的第二相对位置
。
[0016]在本申请中，基于前述方案，所述基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置以及所述光刻镜头的初始位置，确定光刻镜头的角度，包括：基于所述光刻镜头的初始位置
、
所
述第一相对位置生成第一直线；基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置生成第二直线；计算所述第一直线和所述第二直线之间的角度作为所述光刻镜头的角度
。
[0017]在本申请中，基于前述方案，所述基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整，包括：获取角度调整参数；基于所述角度调整参数和所述光刻镜头的角度之间的差异参数；基于所述差异参数对所述光刻镜头进行调整
。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种直写光刻镜头角度的测量方法，其特征在于，包括：控制直写光刻设备的曝光平台横向移动，以带动紫外感光标定尺到所述直写光刻设备的光刻镜头的下方；通过所述直写光刻设备的对位相机，获取所述光刻镜头在所述紫外感光标定尺上对应的初步图像标记；在光刻完成时，控制所述曝光平台带动所述紫外感光标定尺移动到所述直写光刻设备的对位相机的下方，移动所述对位相机以获取所述光刻镜头所述紫外感光标定尺上的目标图像标记；根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度；基于所述光刻镜头的角度对所述光刻镜头进行调整
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述紫外感光标定尺固定在所述直写光刻设备的曝光平台的一端
。3.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述初步图像标记对应的第一位置信息和所述目标图像标记对应的第二位置信息，确定所述光刻镜头的角度，包括：根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置；基于所述第一相对位置
、
所述第二相对位置以及所述光刻镜头的初始位置，确定光刻镜头的角度
。4.
根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置进行坐标转化，确定第一位置信息对应的第一相对位置
、
以及第二位置信息对应的第二相对位置，包括：获取初步图像标记对应的初步相机位置，以及所述目标图像标记对应的目标相机位置；对所述初步相机位置对应的坐标系和所述目标相机位置进行对应的坐标系进行坐标系转化，得到相对坐标系；确定所述第一位置信息在所述相对坐标系中的第一相对位置，以及所述第二位置信息在所述坐标系中的第二相对位置
。5.
根据权利要求3所述的方法，其特征在于，基于所述第一相对位置
、

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志特，王华，黄海浩，张少勋，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：