LDI制造技术

本申请涉及曝光机的

【技术实现步骤摘要】
LDI曝光机用防跑位装置


[0001]本申请涉及曝光机的
LDI
曝光机用固定装置
，尤其涉及一种
LDI
曝光机用防跑位装置
。

技术介绍

[0002]LDI
技术，中文全称是激光直接成像技术，用于
PCB
工艺中的曝光工序，是用激光扫描的方法直接将图像在
PCB
上成像，图像更加精细
。
[0003]在
LDI
曝光机的工作过程中，首先需要将待曝光的样品放置在样品台上，并将光敏材料涂覆在样品表面
。
然后，通过控制系统设置曝光参数
。
接着，光源会产生紫外线，并通过光学系统将紫外线聚焦到样品表面上，从而将光敏材料上的图形转移到硅片上
。
[0004]但是将待曝光的样品放置在样品台上，如果没有相应的固定结构，在对待曝光的样品进行曝光的过程中，待曝光的样品会因相关机构移动时的加速减速，以及在设备运转过程中产生的振动等因素而发生位置的改变，从而影响待曝光的样品的曝光效果
。
[0005]可见，如何在通过
LDI
技术对待曝光的样品进行曝光的过程中，对待曝光的样品进行固定，减小待曝光的样品跑位的风险，使曝光效果符合预期是亟待解决的技术问题
。

技术实现思路

[0006]本申请提供的一种
LDI
曝光机用防跑位装置，旨在解决现有技术中如何使在通过
LDI
技术对待曝光的样品进行曝光的过程中，对待曝光的样品进行固定，减小待曝光的样品跑位的风险，使曝光效果符合预期的技术问题
。
[0007]本申请提供的一种
LDI
曝光机用防跑位装置，包括：
[0008]下框组件，所述下框组件包括下台板，所述下台板开设有第一抽真空孔，通过从所述第一抽真空孔处抽真空，使待曝光件吸附于所述下台板；
[0009]上框组件，所述上框组件包括上台板，所述上框组件与所述下框组件合框后，所述上台板将待曝光件压持于所述下台板
。
[0010]更进一步地，所述下台板设置有待曝光件放置区，所述第一抽真空孔设置于待曝光件放置区内
。
[0011]更进一步地，所述下框组件包括下框体，所述下台板固定安装于所述下框体；
[0012]所述上框组件包括上框体，所述上框体与所述下框体枢转连接，所述上框体设置有第一透光槽，所述上台板安装于所述上框体，所述上台板显露于所述第一透光槽，所述上台板为透光材料，以使激光能透过所述上台板对待曝光件进行有效曝光
。
[0013]更进一步地，所述下框体设置有第二透光槽，所述下台板安装于所述下框体，所述下台板显露于所述第二透光槽，所述下台板为透光材料，以使激光能透过所述下台板对待曝光件进行有效曝光
。
[0014]更进一步地，所述上框组件与所述下框组件合框后，所述下框体与所述上框体之间形成有容纳待曝光件的密闭空间，所述下框体开设有第二抽真空孔，通过所述第二抽真
空孔对所述密闭空间进行抽真空
。
[0015]更进一步地，所述第一抽真空孔的数量至少为两个，所述第一抽真空孔沿所述下台板的宽度方向呈矩阵排布
。
[0016]更进一步地，所述第一抽真空孔的数量为三个，所述第一抽真空孔沿所述下台板的宽度方向单排布置
。
[0017]更进一步地，相邻所述第一抽真空孔之间的距离
D
配置为：
50mm≤D≤80mm。
[0018]更进一步地，所有所述第一抽真空孔离所述下台板边缘的距离
d
配置为：
10mm≤d≤20mm。
[0019]更进一步地，所述第一抽真空孔的直径
T
配置为：
4mm≤T≤10mm。
[0020]本申请所达到的有益效果是：
[0021]本申请提出的一种
LDI
曝光机用防跑位装置包括下框组件和上框组件
。
下框组件包括下台板，下台板开设有第一抽真空孔，通过从第一抽真空孔处抽真空，待曝光件吸附于下台板
。
上框组件包括上台板，上框组件与下框组件合框后，上台板将待曝光件压持于下台板
。
通过下台板对待曝光件进行承载，通过在第一抽真空孔处进行抽真空对待曝光件进行吸附，通过上台板对待曝光件进行压持
。
如此，使在通过
LDI
技术对待曝光的样品进行曝光的过程中，对待曝光的样品进行固定，减小待曝光的样品跑位的风险，使曝光效果符合预期
。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例中
LDI
曝光机用防跑位装置的立体结构示意图；
[0023]图2是本技术实施例中
LDI
曝光机用防跑位装置的爆炸视图；
[0024]图3是本技术实施例中
LDI
曝光机用防跑位装置的侧向剖视图；
[0025]图4是本技术实施例中图3中
A
处的放大视图；
[0026]图5是本技术实施例中
LDI
曝光机用防跑位装置开框后的俯视图
。
[0027]主要元件符号说明：
[0028]10、
防跑位装置；
[0029]11、
下框组件；
12、
下台板；
13、
第一抽真空孔；
14、
下框体；
15、
第二透光槽；
16、
第二抽真空孔；
21、
上框组件；
22、
上台板；
23、
上框体；
24、
第一透光槽；
25、
密闭空间
。
具体实施方式
[0030]为了使本技术的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明
。
所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件
。
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制
。
此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术
。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特
定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
LDI
曝光机用防跑位装置，其特征在于，包括：下框组件，所述下框组件包括下台板，所述下台板开设有第一抽真空孔，通过从所述第一抽真空孔处抽真空，使待曝光件吸附于所述下台板；上框组件，所述上框组件包括上台板，所述上框组件与所述下框组件合框后，所述上台板将待曝光件压持于所述下台板
。2.
根据权利要求1所述的
LDI
曝光机用防跑位装置，其特征在于，所述下台板设置有待曝光件放置区，所述第一抽真空孔设置于待曝光件放置区内
。3.
根据权利要求1所述的
LDI
曝光机用防跑位装置，其特征在于，所述下框组件包括下框体，所述下台板固定安装于所述下框体；所述上框组件包括上框体，所述上框体与所述下框体枢转连接，所述上框体设置有第一透光槽，所述上台板安装于所述上框体，所述上台板显露于所述第一透光槽，所述上台板为透光材料，以使激光能透过所述上台板对待曝光件进行有效曝光
。4.
根据权利要求3所述的
LDI
曝光机用防跑位装置，其特征在于，所述下框体设置有第二透光槽，所述下台板安装于所述下框体，所述下台板显露于所述第二透光槽，所述下台板为透光材料，以使激光能透过所述下台板对待曝光件进行有效曝光
。5.
根据权利要求3所述的
LDI
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，陈志特，冯明瑞，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：